【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆转移，具体为一种晶圆切割批量负压转移装置。
技术介绍
1、晶圆在制造完成后需要通过划片机对其进行切割操作，使其形成芯片，此时，需要使用转移装置装置将制造完成后的晶圆转移至划片机上进行切割，为了保证切割的产量，通常设置有多个划片机进行切割操作，而转移装置主要为机器手带动气动吸盘移动，并通过真空设备对气动吸盘抽真空操作，从而实现对晶圆进行负压吸附并转移。
2、然而，现有的晶圆转移装置在使用时，在对晶圆进行吸附时，需要对晶圆进行一片一片依次吸附转移，不便于对晶圆进行批量吸附和转移，从而影响切割的效率，并且，需要连接外部真空设备，不够方便快捷、不够节能环保。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种晶圆切割批量负压转移装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种晶圆切割批量负压转移装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有放置台，且底板的顶部固定连接有机械手，所述机械手上固定连接有安装板，所述安装板的底部设置有用于对晶圆本体进行吸附的第一吸附组件、第二吸附组件以及第三吸附组件，所述第一吸附组件包括固定连接在安装板底部的两个对称设置的第一支撑板，且各个第一支撑板的侧壁通过第一转轴转动连接有第一吸管，所述第一吸管的下端固定连接有第一吸盘，且第二吸附组件包括固定连接在安装板底部的两个对称设置的第二支撑板，且第二支撑板的侧壁通过第二转轴转动连接有第二吸管，所述第二吸管的下端固定连接有第二吸盘，且第三吸附组
3、所述抽气机构包括固定连接在安装板底部的u形板，且u形板的顶部固定插设有出气管，所述出气管内设置有第一单向阀，且出气管的下端固定连接有第一连接管，所述第一连接管的下端固定连接有第二连接管，且第二连接管内设置有第二单向阀，所述第二连接管的下端固定连接有第三连接管，且第三连接管的侧壁固定连接有多个软管，所述软管的侧壁设置有第一电磁阀，且软管的下端与第一吸管、第二吸管以及第三吸管的顶部固定，所述第一吸管、第二吸管以及第三吸管的顶部固定连接有第二电磁阀，所述第一连接管的侧壁固定连接有工作管，且工作管内通过移动组件连接有活塞。
4、优选的，所述第一驱动机构包括固定套设在第一转轴侧壁的第一齿轮，且第一支撑板的侧壁通过第一复位机构连接有第一齿条，所述第一齿条的移动通过第一推动机构进行推动。
5、优选的，所述第一复位机构包括固定连接在第一支撑板侧壁的两个对称设置的第一连接块，且第一连接块的侧壁固定连接有两个对称设置的第一导向杆，所述第一齿条套设在第一导向杆的侧壁，且第一导向杆的侧壁套设有第一弹簧。
6、优选的，所述第一推动机构包括移动板，且移动板通过移动机构与安装板的底部连接，所述移动板的侧壁固定连接有第一连接板，且第一连接板的顶部固定连接有第一推动板，所述第一推动板包括两个对称设置的第一斜面，且第一齿条的侧壁固定连接有第一l形板，所述第一l形板的侧壁固定连接有第一推动杆。
7、优选的，所述移动机构包括固定连接在安装板底部的固定板，且固定板的侧壁固定连接有套管，所述套管内插设有套杆，且套杆的另一端与移动板的侧壁固定，所述移动板的侧壁转动连接有螺纹杆，且螺纹杆的侧壁螺纹连接有螺纹管，所述螺纹管的另一端与固定板的侧壁固定，且移动板的侧壁固定连接有电机。
8、优选的，所述第二驱动机构包括固定套设在第二转轴侧壁的第二齿轮，且第二支撑板的侧壁通过第二复位机构连接有第二齿条，所述第二齿条的移动通过第二推动机构进行推动。
9、优选的，所述第二复位机构包括固定连接在第二支撑板侧壁的两个对称设置的第二连接块，且第二连接块的侧壁固定连接有两个对称设置的第二导向杆，所述第二齿条套设在第二导向杆的侧壁，且第二导向杆的侧壁套设有第二弹簧。
10、优选的，所述第二推动机构包括固定连接在移动板侧壁的第二连接板，且第二连接板的顶部固定连接有第二推动板，所述第二推动板包括两个对称设置的第二斜面，且第二齿条的侧壁固定连接有第二l形板，所述第二l形板的侧壁固定连接有第二推动杆。
11、优选的，所述移动组件包括固定连接在活塞端部的第三推动杆，且第三推动杆的另一端固定连接有移动块，所述移动块的侧壁插设有两个对称设置的t形导杆，且t形导杆的侧壁固定套设有挡环，所述t形导杆的侧壁套设有第三弹簧，且移动块的移动通过第三推动机构进行推动。
12、优选的，所述第三推动机构包括固定连接在第一连接板顶部的第三l形板，且第三l形板的侧壁固定连接有第三连接板，所述第三连接板的侧壁固定连接有多个阵列设置的三角块，且移动块的侧壁固定连接有推动块。
13、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
14、该种晶圆切割批量负压转移装置，通过设置第一吸附机构、第二吸附机构、第三吸附机构和抽气机构等，便于对多个晶圆本体进行批量转移，并能够避免多个晶圆本体干涉，从而使得切割更加方便、切割的效率更高，并且，能够对第一吸盘、第二吸盘以及第三吸盘进行自动抽气负压处理，使用更加方便快捷，更加节能环保。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种晶圆切割批量负压转移装置，包括底板（1），所述底板（1）的顶部固定连接有放置台（11），且底板（1）的顶部固定连接有机械手（13），所述机械手（13）上固定连接有安装板（14），其特征在于：所述安装板（14）的底部设置有用于对晶圆本体（12）进行吸附的第一吸附组件（15）、第二吸附组件（16）以及第三吸附组件（17），所述第一吸附组件（15）包括固定连接在安装板（14）底部的两个对称设置的第一支撑板（1501），且各个第一支撑板（1501）的侧壁通过第一转轴（1502）转动连接有第一吸管（1503），所述第一吸管（1503）的下端固定连接有第一吸盘（1504），且第二吸附组件（16）包括固定连接在安装板（14）底部的两个对称设置的第二支撑板（1601），且第二支撑板（1601）的侧壁通过第二转轴（1602）转动连接有第二吸管（1603），所述第二吸管（1603）的下端固定连接有第二吸盘（1604），且第三吸附组件（17）包括固定连接在安装板（14）底部的两个对称设置的第三支撑板（1701），且第三支撑板（1701）的侧壁固定连接有固定杆（1702），所述固定杆（1702）
2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割批量负压转移装置，其特征在于：所述第一驱动机构（2）包括固定套设在第一转轴（1502）侧壁的第一齿轮（201），且第一支撑板（1501）的侧壁通过第一复位机构（18）连接有第一齿条（202），所述第一齿条（202）的移动通过第一推动机构（3）进行推动。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割批量负压转移装置，其特征在于：所述第一复位机构（18）包括固定连接在第一支撑板（1501）侧壁的两个对称设置的第一连接块（1801），且第一连接块（1801）的侧壁固定连接有两个对称设置的第一导向杆（1802），所述第一齿条（202）套设在第一导向杆（1802）的侧壁，且第一导向杆（1802）的侧壁套设有第一弹簧（1803）。
4.根据权利要求2所述的一种晶圆切割批量负压转移装置，其特征在于：所述第一推动机构（3）包括移动板（301），且移动板（301）通过移动机构（7）与安装板（14）的底部连接，所述移动板（301）的侧壁固定连接有第一连接板（302），且第一连接板（302）的顶部固定连接有第一推动板（303），所述第一推动板（303）包括两个对称设置的第一斜面（304），且第一齿条（202）的侧壁固定连接有第一L形板（305），所述第一L形板（305）的侧壁固定连接有第一推动杆（306）。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆切割批量负压转移装置，其特征在于：所述移动机构（7）包括固定连接在安装板（14）底部的固定板（706），且固定板（706）的侧壁固定连接有套管（701），所述套管（701）内插设有套杆（702），且套杆（702）的另一端与移动板（301）的侧壁固定，所述移动板（301）的侧壁转动连接有螺纹杆（704），且螺纹杆（704）的侧壁螺纹连接有螺纹管（703），所述螺纹管（703）的另一端与固定板（706）的侧壁固定，且移动板（301）的侧壁固定连接有电机（705）。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆切割批量负压转移装置，其特征在于：所述第二驱动机构（4）包括固定套设在第二转轴（1602）侧壁的第二齿轮（401），且第二支撑板（1601）的侧壁通过第二复位机构（5）连接有第二齿条（402），所述第二齿条（402）的移动通过第二推动机构（6）进行推动。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆切割批量负压转移装置，其特征在于：所述第二复位机构（5）包括固定连接在第二支撑板（1601）侧壁的两个对称设置的第二连接块（501），且第二连接块（501）的侧壁固定连接有两个对称设置的第二导向杆（502），所述第二齿条（402）套设在第二导向杆（502）的侧壁，且第二导向杆（502）的侧壁套设有第二弹簧（503）。
8.根据权利要求6所述的一种晶圆切割批量负压转移装置，其特征在于：所述第二推动机构（6）包括固定连接在移动板（301）侧壁的第二连接板（601），且第二连接板（601）的顶部固定连接有第二推动板（602），所述第二推动板（602）包括两个对称设置的第二斜面（603），且第二齿条（402）的侧壁...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆切割批量负压转移装置，包括底板（1），所述底板（1）的顶部固定连接有放置台（11），且底板（1）的顶部固定连接有机械手（13），所述机械手（13）上固定连接有安装板（14），其特征在于：所述安装板（14）的底部设置有用于对晶圆本体（12）进行吸附的第一吸附组件（15）、第二吸附组件（16）以及第三吸附组件（17），所述第一吸附组件（15）包括固定连接在安装板（14）底部的两个对称设置的第一支撑板（1501），且各个第一支撑板（1501）的侧壁通过第一转轴（1502）转动连接有第一吸管（1503），所述第一吸管（1503）的下端固定连接有第一吸盘（1504），且第二吸附组件（16）包括固定连接在安装板（14）底部的两个对称设置的第二支撑板（1601），且第二支撑板（1601）的侧壁通过第二转轴（1602）转动连接有第二吸管（1603），所述第二吸管（1603）的下端固定连接有第二吸盘（1604），且第三吸附组件（17）包括固定连接在安装板（14）底部的两个对称设置的第三支撑板（1701），且第三支撑板（1701）的侧壁固定连接有固定杆（1702），所述固定杆（1702）的另一端固定连接有第三吸管（1703），且第三吸管（1703）的下端固定连接有第三吸盘（1704），所述第一转轴（1502）的转动通过第一驱动机构（2）进行驱动，且第二转轴（1602）的转动通过第二驱动机构（4）进行驱动，所述安装板（14）的底部设置有用于对第一吸盘（1504）、第二吸盘（1604）以及第三吸盘（1704）进行抽气的抽气机构（8）；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割批量负压转移装置，其特征在于：所述第一驱动机构（2）包括固定套设在第一转轴（1502）侧壁的第一齿轮（201），且第一支撑板（1501）的侧壁通过第一复位机构（18）连接有第一齿条（202），所述第一齿条（202）的移动通过第一推动机构（3）进行推动。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割批量负压转移装置，其特征在于：所述第一复位机构（18）包括固定连接在第一支撑板（1501）侧壁的两个对称设置的第一连接块（1801），且第一连接块（1801）的侧壁固定连接有两个对称设置的第一导向杆（1802），所述第一齿条（202）套设在第一导向杆（1802）的侧壁，且第一导向杆（1802）的侧壁套设有第一弹簧（1803）。
4.根据权利要求2所述的一种晶圆切割批量负压转移装置，其特征在于：所述第一推动机构（3）包括移动板（301），且移动板（301）通过移动机构（7）与安装板（14）的底部连接，所述移动板（301）的侧壁固定连接有第一连接板（302），且第一连接板（302）的顶部固定连接有第一推动板（303），所述第一推动板（303）包括两个对称设置的第一斜面（304），且第一齿条（202）的侧壁固定连接有第一l形板（305）...
【专利技术属性】
技术研发人员：殷泽安，殷志鹏，
申请(专利权)人：苏州译品芯半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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