一种专门用于真空镀膜设备内部加热烘烤用新型灯罩制造技术

本实用新型专利技术公开了一种专门用于真空镀膜设备内部加热烘烤用新型灯罩，包括灯罩本体外壳、夹具、押元、加热灯管、第二防着板和加热灯玻璃，本实用新型专利技术其优点为：本灯罩结构设计简单，便于拆卸，密封性好，选材合理，金属颗粒，薄膜沉积时的金属分子难以进入等诸多优势，实用性很强，能够在真空镀膜设备内部长时间稳定工作；通过在加热灯管内部设置了加热调控器，220V电压输入给加热调控器后，经过调控器控制后，输出220v电压，220v电压经过隔离变压器T2变压后，输出110v电压加载在加热灯管两端电压导入端，钨丝通过电流电压来加热，使灯丝微微发亮，起预热材料和产品表面除水份，使被蒸发出来的金属材料的原子和基板之间结合更好。出来的金属材料的原子和基板之间结合更好。出来的金属材料的原子和基板之间结合更好。

【技术实现步骤摘要】
一种专门用于真空镀膜设备内部加热烘烤用新型灯罩


[0001]本技术涉及真空镀膜设备相关领域，具体是一种专门用于真空镀膜设备内部加热烘烤用新型灯罩。

技术介绍

[0002]真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]在真空镀膜设备中加热烘烤机构是重要的部件之间，尤其是加热烘烤机构上的灯罩，目前主流的镀膜厂家的加热烘烤机构上的灯罩，大多数都是结构复杂，维修困难，选材不合理等现象，由于真空设备长时间金属薄膜沉积时会产生很多金属颗粒进入内部，另外，也会被金属薄膜沉积过程中的薄膜分子污染，日积月累地使得加热灯罩机构内部陶瓷的绝缘性日趋衰减，从而使得负载加大，轻则烧毁保险丝，过载报警，重则导致故障频发，烧毁加热调控器主板，对产能产生严重的影响。

技术实现思路

[0004]因此，为了解决上述不足，本技术在此提供一种专门用于真空镀膜设备内部加热烘烤用新型灯罩。
[0005]本技术是这样实现的，构造一种专门用于真空镀膜设备内部加热烘烤用新型灯罩，该装置包括灯罩本体外壳、夹具、押元、加热灯管、绝缘陶瓷、第一防着板、U型发射内衬、第二防着板和加热灯玻璃，所述灯罩本体外壳通过螺钉与夹具上下两端锁紧固定，所述夹具通过螺钉与押元右端锁紧固定，所述夹具上端固定有加热灯管，所述夹具右端固定有绝缘陶瓷，所述灯罩本体外壳上端左右两侧相对设置有第一防着板，所述灯罩本体外壳内部右端固定有U型发射内衬，所述灯罩本体外壳与第二防着板下端固定连接，所述灯罩本体外壳与加热灯玻璃右端相固定。
[0006]优选的，所述加热灯管共设置有三根，并且加热灯管沿夹具上端等距分布。
[0007]优选的，所述夹具共设置有两个，并且夹具沿灯罩本体外壳内部左右两侧呈对称状分布。
[0008]优选的，所述绝缘陶瓷共设置有五个，并且绝缘陶瓷沿灯罩本体外壳内部右端等距分布。
[0009]优选的，所述第一防着板共设置有两个，并且第一防着板沿灯罩本体外壳上端左右两侧呈对称状分布。
[0010]优选的，三根所述加热灯管内部均设置有加热调控器。
[0011]优选的，两个所述第一防着板下端均设置有承接杆，并且承接杆与第一防着板下端固定为一体。
[0012]优选的，所述加热灯管为110v电压的卤素灯管。
[0013]本技术具有如下优点：本技术通过改进在此提供一种专门用于真空镀膜设备内部加热烘烤用新型灯罩，与同类型设备相比，具有如下改进：
[0014]优点一：本技术所述一种专门用于真空镀膜设备内部加热烘烤用新型灯罩，其优点为：本灯罩结构设计简单，便于拆卸，密封性好，选材合理，金属颗粒，薄膜沉积时的金属分子难以进入等诸多优势，实用性很强，能够在真空镀膜设备内部长时间稳定工作。
[0015]优点二：本技术所述一种专门用于真空镀膜设备内部加热烘烤用新型灯罩，通过在加热灯管内部设置了加热调控器，220V电压输入给加热调控器后，经过调控器控制后，输出220v电压，220v电压经过隔离变压器T2变压后，输出110v电压加载在加热灯管两端电压导入端，钨丝通过电流电压来加热，使灯丝微微发亮，起预热材料和产品表面除水份，使被蒸发出来的金属材料的原子和基板之间结合更好。
[0016]优点三：本技术所述一种专门用于真空镀膜设备内部加热烘烤用新型灯罩，通过在灯罩本体外壳上端设置了第一防着板和第二防着板，通过第一防着板和第二防着板将灯罩本体外壳裸露处进行包裹，能够有效防止金属颗粒粘附的优点。
附图说明
[0017]图1是本技术结构示意图；
[0018]图2是本技术灯罩俯视结构示意图；
[0019]图3是本技术灯罩正视结构示意图；
[0020]图4是本技术加热灯管电路连接示意图。
[0021]其中：灯罩本体外壳
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1、夹具
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2、押元
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3、加热灯管
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4、绝缘陶瓷
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5、第一防着板
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6、U型发射内衬
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7、第二防着板
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8、加热灯玻璃
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9、加热调控器
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41、承接杆
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61。
具体实施方式
[0022]下面将结合附图1
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4对本技术进行详细说明，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]本技术通过改进在此提供一种专门用于真空镀膜设备内部加热烘烤用新型灯罩，包括灯罩本体外壳1、夹具2、押元3、加热灯管4、绝缘陶瓷5、第一防着板6、U型发射内衬7、第二防着板8和加热灯玻璃9，灯罩本体外壳1通过螺钉与夹具2上下两端锁紧固定，夹具2通过螺钉与押元3右端锁紧固定，夹具2上端固定有加热灯管4，夹具2右端固定有绝缘陶瓷5，灯罩本体外壳1上端左右两侧相对设置有第一防着板6，灯罩本体外壳1内部右端固定有U型发射内衬7，灯罩本体外壳1与第二防着板8下端固定连接，灯罩本体外壳1与加热灯玻璃9右端相固定。
[0024]进一步的，所述加热灯管4共设置有三根，并且加热灯管4沿夹具2上端等距分布，当然，加热灯管4的数量还可以为更少，也可以是一根或者两根，在此不作限定。
[0025]进一步的，所述夹具2共设置有两个，并且夹具2沿灯罩本体外壳1内部左右两侧呈对称状分布，利于起到对加热灯管4进行安装固定的作用。
[0026]进一步的，所述绝缘陶瓷5共设置有五个，并且绝缘陶瓷5沿灯罩本体外壳1内部右
端等距分布，利于起到进行绝缘的作用。
[0027]进一步的，所述第一防着板6共设置有两个，并且第一防着板6沿灯罩本体外壳1上端左右两侧呈对称状分布，利于起到防止金属颗粒粘附的作用。
[0028]进一步的，三根所述加热灯管4内部均设置有加热调控器41，利于起到对加热灯管4电压进行调节的作用。
[0029]进一步的，两个所述第一防着板6下端均设置有承接杆61，并且承接杆61与第一防着板6下端固定为一体，利于起到对第一防着板6进行固定支撑的作用。
[0030]进一步的，所述加热灯管4为110v电压的卤素灯管。
[0031]本技术通过改进提供一种专门用于真空镀膜设备内部加热烘烤用新型灯罩，其工作原理如下；
[0032]第一，在使用前，将专门用于真空镀膜设备内部加热烘烤用新型灯罩固定于真空镀膜设备上端合适的位置上；
[0033]第二，在使用时，当PLC程序发出指令，让KQ9开关的辅助触点X1D得电，使得本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种专门用于真空镀膜设备内部加热烘烤用新型灯罩，其特征在于，其结构包括灯罩本体外壳(1)、夹具(2)、押元(3)、加热灯管(4)、绝缘陶瓷(5)、第一防着板(6)、U型发射内衬(7)、第二防着板(8)和加热灯玻璃(9)，所述灯罩本体外壳(1)通过螺钉与夹具(2)上下两端锁紧固定，所述夹具(2)通过螺钉与押元(3)右端锁紧固定，所述夹具(2)上端固定有加热灯管(4)，所述夹具(2)右端固定有绝缘陶瓷(5)，所述灯罩本体外壳(1)上端左右两侧相对设置有第一防着板(6)，所述灯罩本体外壳(1)内部右端固定有U型发射内衬(7)，所述灯罩本体外壳(1)与第二防着板(8)下端固定连接，所述灯罩本体外壳(1)与加热灯玻璃(9)右端相固定。2.根据权利要求1所述一种专门用于真空镀膜设备内部加热烘烤用新型灯罩，其特征在于：所述加热灯管(4)共设置有三根，并且加热灯管(4)沿夹具(2)上端等距分布。3.根据权利要求1所述一种专门用...

【专利技术属性】
技术研发人员：王祥，信建岭，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：