【技术实现步骤摘要】
扩散泵降温冷却装置
本技术属于扩散泵领域，特别是扩散泵降温冷却装置。
技术介绍
扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。通常的油扩散泵采用水冷却系统，主要由泵体、扩散喷嘴、喷射喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、水冷却系统和前级挡油器部分组成。当油扩散泵用前级泵预抽到低于7帕真空时，油锅可开始加热。油沸腾时沿蒸气导管上升至喷嘴处喷出高速的油蒸气射流，被抽气体分子扩散到蒸气射流中，与定向运动的油蒸气分子碰撞。气体分子因此而获得动量，产生和油蒸气分子运动方向相同的定向流动。射流射向被冷却的泵壁，油蒸气被冷凝，释出气体分子，并被逐级的携带、压缩最后被前级泵抽走而达到抽气目的。现在市场上使用的油扩散泵基本是碳钢泵壳结构，冷却方式为泵体表面盘制不锈钢圆形冷水管进行冷却，碳钢材料遇水后容易生锈，使用一段时间后导致设备冷却效果下降，圆形的冷水管冷却效果差。
技术实现思路
为了实现上述目的，本技术提出了一种扩散泵降温冷却装置，包括：泵体，其为凸腔结构，...
【技术保护点】
1.扩散泵降温冷却装置，其特征在于，包括：/n泵体，其为凸腔结构，所述泵体为白钢材质，所述泵体包括带有中空的油腔，进气口和出气口的外罩，设置在油腔底部的加热装置及设置在加热装置上方泵芯，泵芯上端设有伞形喷嘴；/n进水管路，其固定设置在所述泵体上端；/n排水管路，其固定设置在所述泵体下端；/n冷却水管，其为矩形的白钢管，呈螺旋型缠绕在所述泵体的外壁上，所述冷却水管一端与所述进水管路连接，另一端与所述排水管路连接。/n
【技术特征摘要】
1.扩散泵降温冷却装置，其特征在于，包括：
泵体，其为凸腔结构，所述泵体为白钢材质，所述泵体包括带有中空的油腔，进气口和出气口的外罩，设置在油腔底部的加热装置及设置在加热装置上方泵芯，泵芯上端设有伞形喷嘴；
进水管路，其固定设置在所述泵体上端；
排水管路，其固定设置在所述泵体下端；
冷却水管，其为矩形的白钢管，呈螺旋型缠绕在所述泵体的外壁上，所述冷却水管一端与所述进水管路连接，另一端与所述排水管路连接。
2.根据权利要求1所述的扩散泵降温冷却装置，其特征在于，所述冷却水管焊接在所述泵体的外壁上。
3.根据权利要求1所述的扩散泵降温冷却装置，其特征在于，所述的泵体的下部设有观察窗和测温电阻，其中观察窗由白钢制造。
4.根据权利要求1所述的扩散泵降温冷却装置，其特征在于，还设置由循环水箱，所述循环水箱包括进水口和出水口，所述进水口与所述排水管路连接，所述出水口与所述进水管路连接，所述进水管路上设置有...
【专利技术属性】
技术研发人员：张继辉，刘春雷，孙会民，
申请(专利权)人：沈阳蓝菱真空设备制造有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21
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