下载扩散泵降温冷却装置的技术资料

文档序号:28833897

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本实用新型提供一种扩散泵降温冷却装置,包括:泵体,其为凸腔结构,所述泵体为白钢材质,所述泵体包括带有中空的油腔,进气口和出气口的外罩,设置在油腔底部的加热装置及设置在加热装置上方泵芯,泵芯上端设有伞形喷嘴;进水管路,其固定设置在所述泵体上端...
该专利属于沈阳蓝菱真空设备制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳蓝菱真空设备制造有限公司授权不得商用。

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