一种新型扩散泵冷却装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种新型扩散泵冷却装置，包括：泵体(1)、油锅保温罩(2)、环状冷却水管组(3)、笔直型冷却水管组(4)、线圈型冷却水管(5)、冷却水夹层壳体(6)、环状冷却水管组进水口(7)、环状冷却水管组出水口(8)、冷却水夹层壳体进水口(9)、冷却水夹层壳体出水口(10)、外接冷却水管(11)。本发明专利技术提供的冷却装置通过多种冷却水管的设计方式，贴合泵体设计使得其比普通的扩散泵使用的冷却系统冷却效率高，可在短时间内达到冷却效果。通过使用外接冷却水管连接两个冷却部件，使得冷却装置实现水循环冷却，不需要其他冷却方式和化学试剂，不会对环境造成污染。

【技术实现步骤摘要】
一种新型扩散泵冷却装置
本专利技术涉及扩散泵
，特别涉及一种新型扩散泵冷却装置。
技术介绍
扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。该装置利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。扩散泵一般由泵体、扩散喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、扩散器、冷却系统和喷射喷嘴等部分组成。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。当油扩散泵用前级泵预抽到低于1帕真空时，油锅开始加热。沸腾时喷嘴喷出高速的蒸气流，热运动的气体分子扩散到蒸气流中，与定向运动的油蒸气分子碰撞。气体分子因此而获得动量，产生和油蒸气分子运动方向相同的定向流动。到前级，油蒸气被冷凝，释出气体分子，即被前级泵抽走而达到抽气目的。在使用扩散泵抽气过程中，油锅中加热器对油加热，使油锅保温罩外壳和泵体产生极高热量，不但对扩散泵的组成材料造成损耗，而且会扩散泵所在真空系统的某些易燃部件造成威胁，比如电线的绝缘层、各种塑料材质的气、水管路等，如果靠近扩散泵产生大量热量的油锅等部件，可能会造成火灾等严重后果。目前扩散泵的冷却系统普遍是在泵体外缠绕冷却本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型扩散泵冷却装置，其特征在于，包括：泵体(1)、油锅保温罩(2)、环状冷却水管组(3)、笔直型冷却水管组(4)、线圈型冷却水管(5)、冷却水夹层壳体(6)、环状冷却水管组进水口(7)、环状冷却水管组出水口(8)、冷却水夹层壳体进水口(9)、冷却水夹层壳体出水口(10)、外接冷却水管(11)；/n所述环形冷却水管组(3)包括围绕所述泵体(1)设置的上端环形冷却水管和下端环形冷却水管；/n所述笔直型冷却水管组(4)包括设置在所述上端环形冷却水管和下端环形冷却水管之间的多个笔直型冷却水管；/n所述线圈型冷却水管(5)设置在所述泵体(1)外壳的内壁上，所述泵体(1)外壳、所述线圈型冷却水管(...

【技术特征摘要】
1.一种新型扩散泵冷却装置，其特征在于，包括：泵体(1)、油锅保温罩(2)、环状冷却水管组(3)、笔直型冷却水管组(4)、线圈型冷却水管(5)、冷却水夹层壳体(6)、环状冷却水管组进水口(7)、环状冷却水管组出水口(8)、冷却水夹层壳体进水口(9)、冷却水夹层壳体出水口(10)、外接冷却水管(11)；
所述环形冷却水管组(3)包括围绕所述泵体(1)设置的上端环形冷却水管和下端环形冷却水管；
所述笔直型冷却水管组(4)包括设置在所述上端环形冷却水管和下端环形冷却水管之间的多个笔直型冷却水管；
所述线圈型冷却水管(5)设置在所述泵体(1)外壳的内壁上，所述泵体(1)外壳、所述线圈型冷却水管(5)、笔直型冷却水管组(4)和环状冷却水管组(3)为一体化密封连接；
所述油锅保温罩(2)设置在所述泵体(1)下端，所述冷却水夹层壳体(6)固定于所述油锅保温罩(2)外侧。


2.根据权利要求1所述的一种新型扩散泵冷却装置，其特征在于，所述上端环状冷却水管和下端环状冷却水管嵌入在泵体(1)外壳，所述环状冷却水管组进水口(7)设置在所述上端环状冷却水管，所述环状冷却水管组出水口(8)设置在所述下端环状冷却水管。


3.根据权利要求1所述的一种新型扩散泵冷却装置，其特征在于，所述环状冷却水管组(3)的冷却水管横截面内径为2.0～2.2cm，外径为2.7～3.0cm。


4.根据权利要求1所述的一种新型扩散泵冷却装置，其特征在于，所述线圈型冷却水管(5)为多匝线圈式结构，每两...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：深圳第三代半导体研究院，
类型：发明
国别省市：广东;44