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本发明提供了一种新型扩散泵冷却装置，包括：泵体(1)、油锅保温罩(2)、环状冷却水管组(3)、笔直型冷却水管组(4)、线圈型冷却水管(5)、冷却水夹层壳体(6)、环状冷却水管组进水口(7)、环状冷却水管组出水口(8)、冷却水夹层壳体进水口(...
该专利属于深圳第三代半导体研究院所有，仅供学习研究参考，未经过深圳第三代半导体研究院授权不得商用。

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