一种扩散泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扩散泵，包括一结构主体，其特征在于，所述结构主体包括泵体及设于泵体外部的冷水层，所述冷水层内设有冷却管道，所述冷却管道缠绕于所述泵体上，所述泵体底部设有油腔，所述所述油腔底部设有加热装置，所述加热装置设有加热柱，所述加热柱穿透于所述油腔内部，所述加热装置上部设有泵芯，所述泵芯上设有喷嘴；本实用新型专利技术便于观察油腔油位，通过加热柱与冷却管道的设置，大大提高了冷却效果与加热速度，进而提高了抽气效率。

A diffusion pump

【技术实现步骤摘要】
一种扩散泵
本技术涉及机械
，具体涉及一种扩散泵。
技术介绍
扩散泵是目前获得高真空的最主要的工具之一。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵，扩散泵中的油在真空中加热到沸腾温度(约为200度)时产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出，由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强，这样，被抽气体分子沿着蒸气方向高速运动，气体分子碰到泵壁又反射回来，再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁，经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气进气多级压缩，最后由前级泵抽走，而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热，如此循环工作达到抽气目的。扩散泵在使用过程中，加热和冷却是形成高速蒸汽射流与油液体之间循环的动力，热源不足会形成高速蒸汽射流不够影响抽气效率，而冷却不够也会对蒸汽产生冷凝不及时，影响油蒸汽与气体分离，同样影响真空度。在很多场合中，采用电风扇直接风吹真空油扩散泵的弯头部位，来改善扩散泵局部位置的冷却，提高抽气效率，采用电风扇直接吹冷的制冷效果不是很理想，会直接影响蒸汽本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩散泵，包括一结构主体，其特征在于，所述结构主体包括泵体(6)及设于泵体(6)外部的冷水层(5)，所述冷水层(5)内设有冷却管道(10)，所述冷却管道(10)缠绕于所述泵体(6)上，所述泵体(6)底部设有油腔(3)，所述油腔(3)底部设有加热装置(1)，所述加热装置(1)设有加热柱(4)，所述加热柱(4)穿透于所述油腔(3)内部，所述加热装置(1)上部设有泵芯(9)，所述泵芯(9)上设有喷嘴(8)。/n

【技术特征摘要】
1.一种扩散泵，包括一结构主体，其特征在于，所述结构主体包括泵体(6)及设于泵体(6)外部的冷水层(5)，所述冷水层(5)内设有冷却管道(10)，所述冷却管道(10)缠绕于所述泵体(6)上，所述泵体(6)底部设有油腔(3)，所述油腔(3)底部设有加热装置(1)，所述加热装置(1)设有加热柱(4)，所述加热柱(4)穿透于所述油腔(3)内部，所述加热装置(1)上部设有泵芯(9)，所述泵芯(9)上设有喷嘴(8)。


2.根据权利要求1所述的一种扩散泵，其特征在于：所述加热柱...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖祥江，
申请(专利权)人：东莞鸿威润滑油有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44