下载一种扩散泵的技术资料

文档序号:24089122

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本实用新型公开了一种扩散泵,包括一结构主体,其特征在于,所述结构主体包括泵体及设于泵体外部的冷水层,所述冷水层内设有冷却管道,所述冷却管道缠绕于所述泵体上,所述泵体底部设有油腔,所述所述油腔底部设有加热装置,所述加热装置设有加热柱,所述加热...
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