氟利昂水冷挡板制造技术

本实用新型专利技术提供一种氟利昂水冷挡板，包括：第一子板，其具有第一夹层结构；第二子板，其具有第二夹层结构；第三子板，其具有第三夹层结构；第四子板，其具有第四夹层结构；其中，第一夹层结构、第二夹层结构、第三夹层结构、第四夹层结构和连接管连通形成密封的连通管路，连通管道中设置有氟利昂冷却液；本实用新型专利技术所述的氟利昂水冷挡板，使挡片的表面温度迅速地降下来并能持续保持，当油汽经过时立即冷却液化，不会返到真空室。不会返到真空室。不会返到真空室。

【技术实现步骤摘要】
氟利昂水冷挡板


[0001]本技术涉及真空室冷却挡板
，且特别涉及一种氟利昂水冷挡板。

技术介绍

[0002]水冷挡板正常是通过铜管通水冷却。因为铜管与挡片接触面积有限，导致挡片的温度较高，油汽不能完全液化，所以出现返油问题。工作过程中，油汽上升到水冷挡板部位，水冷挡板的挡片没有让油汽及时冷却下来，导致油汽通过水冷挡板进入真空室，从而对真空室中的工件造成污染，使生产出的工件不理想。
[0003]因此，如何提供一种能够快速降低表面温度的挡板，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0004]为了解决至少部分上述技术问题，本技术提供一种氟利昂水冷挡板，其包括：
[0005]第一子板，其具有第一夹层结构；所述第一子板上开设有多个第一通孔；
[0006]第二子板，其具有第二夹层结构；所述第二子板上开设有多个第二通孔；
[0007]第三子板，其具有第三夹层结构；所述第三子板上开设有多个第三通孔；
[0008]第四子板，其具有第四夹层结构；
[0009]其中，所述第一夹层结构、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氟利昂水冷挡板，其特征在于，包括：第一子板，其具有第一夹层结构；所述第一子板上开设有多个第一通孔；第二子板，其具有第二夹层结构；所述第二子板上开设有多个第二通孔；第三子板，其具有第三夹层结构；所述第三子板上开设有多个第三通孔；第四子板，其具有第四夹层结构；其中，所述第一夹层结构、所述第二夹层结构、所述第三夹层结构和所述第四夹层结构通过连接管连通；所述第一夹层结构、所述第二夹层结构、所述第三夹层结构、所述第四夹层结构和所述连接管形成密封的连通管路；所述第一夹层结构、所述第二夹层结构、所述第三夹层结构和所述第四夹层结构中设置有氟利昂冷却液；所述第一通孔、所述第二通孔和所述第三通孔交错设置，所述第一通孔穿过所述第一夹层结构，所述第一夹层结构在所述第一通孔相对应的位置处设置第一密封壁，所述第二通孔穿过所述第二夹层结构，所述第二夹层结构在所述第二通孔相对应的位置处设置第二密封壁，所述第三通孔穿过所述第三...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙会民，刘春雷，
申请(专利权)人：沈阳蓝菱真空设备制造有限公司，
类型：新型
国别省市：