氟利昂水冷挡板制造技术

本实用新型专利技术提供一种氟利昂水冷挡板，包括：第一子板，其具有第一夹层结构；第二子板，其具有第二夹层结构；第三子板，其具有第三夹层结构；第四子板，其具有第四夹层结构；其中，第一夹层结构、第二夹层结构、第三夹层结构、第四夹层结构和连接管连通形成密封的连通管路，连通管道中设置有氟利昂冷却液；本实用新型专利技术所述的氟利昂水冷挡板，使挡片的表面温度迅速地降下来并能持续保持，当油汽经过时立即冷却液化，不会返到真空室。不会返到真空室。不会返到真空室。

【技术实现步骤摘要】
氟利昂水冷挡板


[0001]本技术涉及真空室冷却挡板
，且特别涉及一种氟利昂水冷挡板。

技术介绍

[0002]水冷挡板正常是通过铜管通水冷却。因为铜管与挡片接触面积有限，导致挡片的温度较高，油汽不能完全液化，所以出现返油问题。工作过程中，油汽上升到水冷挡板部位，水冷挡板的挡片没有让油汽及时冷却下来，导致油汽通过水冷挡板进入真空室，从而对真空室中的工件造成污染，使生产出的工件不理想。
[0003]因此，如何提供一种能够快速降低表面温度的挡板，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0004]为了解决至少部分上述技术问题，本技术提供一种氟利昂水冷挡板，其包括：
[0005]第一子板，其具有第一夹层结构；所述第一子板上开设有多个第一通孔；
[0006]第二子板，其具有第二夹层结构；所述第二子板上开设有多个第二通孔；
[0007]第三子板，其具有第三夹层结构；所述第三子板上开设有多个第三通孔；
[0008]第四子板，其具有第四夹层结构；
[0009]其中，所述第一夹层结构、所述第二夹层结构、所述第三夹层结构和所述第四夹层结构通过连接管连通；所述第一夹层结构、所述第二夹层结构、所述第三夹层结构、所述第四夹层结构和所述连接管形成密封的连通管路；所述第一夹层结构、所述第二夹层结构、所述第三夹层结构和所述第四夹层结构中设置有氟利昂冷却液；
[0010]所述第一通孔、所述第二通孔和所述第三通孔交错设置，所述第一通孔穿过所述第一夹层结构，所述第一夹层结构在所述第一通孔相对应的位置处设置第一密封壁，所述第二通孔穿过所述第二夹层结构，所述第二夹层结构在所述第二通孔相对应的位置处设置第二密封壁，所述第三通孔穿过所述第三夹层结构，所述第三夹层结构在所述第三通孔相对应的位置处设置第三密封壁。
[0011]在某些实施方式中，所述的氟利昂水冷挡板中，所述第三子板上开设有注入口，所述注入口与所述第三夹层结构连通。
[0012]在某些实施方式中，所述的氟利昂水冷挡板中，所述第四子板上开设有出气口。
[0013]在某些实施方式中，所述的氟利昂水冷挡板中，所述出气口中设置温度检测装置。
[0014]在某些实施方式中，所述的氟利昂水冷挡板中，所述第四子板上设有报警装置，当所述温度检测装置检测温度过高，所述报警装置报警。
[0015]在某些实施方式中，所述的氟利昂水冷挡板中，所述第一子板厚度、所述第二子板厚度和所述第三子板厚度均为0.9cm～2cm。。
[0016]在某些实施方式中，所述的氟利昂水冷挡板中，所述第四子板厚度为 1cm～3cm。
[0017]在某些实施方式中，所述的氟利昂水冷挡板中，所述第一子板、第二子板、所述第
三子板和第四子板均水平设置。
[0018]本技术的有益效果如下：
[0019]本技术所述的氟利昂水冷挡板，降低挡片的温度，把原来的水冷挡板冷却介质改为氟利昂，使挡片的表面温度迅速地降下来并能持续保持，当油汽经过时立即冷却液化，不会返到真空室。
[0020]2.本技术所述的氟利昂水冷挡板，其具有多层结构，第一夹层结构、第二夹层结构、第三夹层结构、第四夹层结构和连接管形成的连通管路中设置有氟利昂冷却液，油汽上升到水冷挡板部位，第一夹层结构中的氟利昂冷却液对油气进行冷却，少量油气通过第一通孔到达第二夹层，第二夹层结构中的氟利昂冷却对油气进行冷却，以此类推，第三夹层和第四夹层都对油气进行冷却，保证冷却效果，同时第四、第三和第二夹层中可补充第一夹层的氟利昂冷却液。
附图说明
[0021]图1为本技术所述的氟利昂水冷挡板的结构示意图。
[0022]附图标记：
[0023]1代表第一子板，11代表第一夹层结构，12代表第一通孔，2代表第二子板，21代表第二夹层结构，22代表第二通孔，3代表第三子板，31代表第三夹层结构，32代表第三通孔，33代表注入口，4代表第四子板，41代表第四夹层结构，42代表出气口，43代表温度检测装置，44代表报警装置。
具体实施方式
[0024]下面结合附图对本技术做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
[0025]应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。
[0026]如图1所示，本技术提供一种氟利昂水冷挡板，包括：
[0027]第一子板1，其具有第一夹层结构11；所述第一子板1上开设有多个第一通孔12；
[0028]第二子板2，其具有第二夹层结构21；所述第二子板2上开设有多个第二通孔22；
[0029]第三子板3，其具有第三夹层结构31；所述第三子板3上开设有多个第三通孔32；
[0030]第四子板4，其具有第四夹层结构41；
[0031]其中，所述第一夹层结构11、所述第二夹层结构21、所述第三夹层结构 31和所述第四夹层结构41通过连接管连通；所述第一夹层结构11、所述第二夹层结构21、所述第三夹层结构31、所述第四夹层结构41和所述连接管形成密封的连通管路；所述第一夹层结构11、所述第二夹层结构21、所述第三夹层结构31和所述第四夹层结构41中设置有氟利昂冷却液；
[0032]所述第一通孔12、所述第二通孔22和所述第三通孔32交错设置，所述第一通孔12穿过所述第一夹层结构11，所述第一夹层结构11在所述第一通孔12 相对应的位置处设置第一密封壁，所述第二通孔22穿过所述第二夹层结构21，所述第二夹层结构21在所述第二通孔22相对应的位置处设置第二密封壁，所述第三通孔32穿过所述第三夹层结构31，所述
第三夹层结构31在所述第三通孔32相对应的位置处设置第三密封壁。
[0033]本技术所述的氟利昂水冷挡板，降低挡片的温度，把原来的水冷挡板冷却介质改为氟利昂，使挡片的表面温度迅速地降下来并能持续保持，当油汽经过时立即冷却液化，不会返到真空室。
[0034]本技术所述的氟利昂水冷挡板，其具有多层结构，第一夹层结构11、第二夹层结构21、第三夹层结构31、第四夹层结构41和连接管形成的连通管路中设置有氟利昂冷却液，油汽上升到水冷挡板部位，第一夹层结构11中的氟利昂冷却液对油气进行冷却，少量油气通过第一通孔到达第二夹层结构21，第二夹层结构21中的氟利昂冷却对油气进行冷却，以此类推，第三夹层结构 31和第四夹层结构41都对油气进行冷却，保证冷却效果，同时第四、第三和第二夹层结构中可补充第一夹层的氟利昂冷却液。
[0035]上述方案中，所述第三子板3上开设有注入口33，所述注入口33与所述第三夹层结构31连通。
[0036]当氟利昂冷却液没有时，可通过注入口33进行补充，可持久使用。
[0037]上述方案中，所述第四子板4上开设有出气口42。
[0038]上述方案中，所述出气口本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氟利昂水冷挡板，其特征在于，包括：第一子板，其具有第一夹层结构；所述第一子板上开设有多个第一通孔；第二子板，其具有第二夹层结构；所述第二子板上开设有多个第二通孔；第三子板，其具有第三夹层结构；所述第三子板上开设有多个第三通孔；第四子板，其具有第四夹层结构；其中，所述第一夹层结构、所述第二夹层结构、所述第三夹层结构和所述第四夹层结构通过连接管连通；所述第一夹层结构、所述第二夹层结构、所述第三夹层结构、所述第四夹层结构和所述连接管形成密封的连通管路；所述第一夹层结构、所述第二夹层结构、所述第三夹层结构和所述第四夹层结构中设置有氟利昂冷却液；所述第一通孔、所述第二通孔和所述第三通孔交错设置，所述第一通孔穿过所述第一夹层结构，所述第一夹层结构在所述第一通孔相对应的位置处设置第一密封壁，所述第二通孔穿过所述第二夹层结构，所述第二夹层结构在所述第二通孔相对应的位置处设置第二密封壁，所述第三通孔穿过所述第三...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙会民，刘春雷，
申请(专利权)人：沈阳蓝菱真空设备制造有限公司，
类型：新型
国别省市：