扩散泵制造技术

本实用新型专利技术提供一种扩散泵，包括：壳体；冷却装置；泵芯，在泵芯的不同高度上开设有多个喷嘴；喷嘴与泵芯之间的呈40度～70度夹角；喷嘴的外壁上开设有沿喷嘴长度方向的滑槽；转动组件，包括通过滑块设置在滑槽上的连接件和设置在连接件上的叶片；加热装置。本实用新型专利技术所述的扩散泵具有喷嘴喷射出的气流扩散性好，扩散泵的抽吸力和极限真空度好的优点。

【技术实现步骤摘要】
扩散泵
本技术涉及真空泵领域，且特别涉及一种扩散泵。
技术介绍
真空扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，扩散泵主要由泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统等部分组成，在前级真空泵所形成的低真空条件下，蒸发系统使泵油沸腾蒸发，生成的蒸气以极高速度通过喷射系统喷出，使泵内上部的气体分子扩散到蒸气中，通过冷却系统使油蒸气在泵下部被冷凝，释放出的气体分子，即被前级泵抽走，而冷凝后的泵油又返回到蒸发系统中重新被加热，如此循环工作达到抽气的目的。现有扩散泵的喷嘴是固定不动的伞帽形扩散喷嘴，蒸气从喷嘴喷出后形成稳定的伞状气流，依靠扩散运动使被抽取的空气分子进入蒸气流中，其不足之处是蒸气与空气的接触面小、结合方式被动、抽取力小、抽真空效率低、极限真空低和返油率高等。
技术实现思路
为了解决至少部分上述技术问题，本技术提供一种扩散泵，其包括：具有中空结构的壳体；设置在所述壳体外部的冷却装置；设置在所述中空结构中的泵芯；设置在所述泵芯的不同高度上的多个喷嘴；所述喷嘴与所述泵芯之间的呈40度～70度夹角；所述喷嘴的外壁上开设有沿所述喷嘴长度方向的滑槽；转动组件，所述转动组件包括通过滑块设置在所述滑槽上的连接件和设置在所述连接件上的叶片；所述连接件为圆台体，所述连接件上开设有通孔，所述滑块固定在所述通孔内壁上，所述滑块位于所述连接件的小头端；所述连接件的大头端的外壁上开设圆周凹槽；所述叶片能转动的设置在所述圆周凹槽中；设置在所述中空结构中的加热装置；驱动装置，其驱动所述叶片在所述圆周凹槽中圆周转动；其中，所述喷嘴制作工艺为冲压工艺。在某些实施方式中，所述的扩散泵中，位于不同高度的所述喷嘴与所述泵芯之间的夹角不同；在竖直方向上，从上至下，所述喷嘴与所述泵芯之间的夹角逐渐增加。在某些实施方式中，所述的扩散泵中，在竖直方向上，从上至下，所述喷嘴的出口端与所述壳体内壁之间的距离逐渐增加。在某些实施方式中，所述的扩散泵中，所述叶片上开设多个通气孔。在某些实施方式中，所述的扩散泵中，所述通气孔的直径不相等。在某些实施方式中，所述的扩散泵中，所述加热装置包括设置在所述泵芯下部的第一加热部和设置在所述泵芯中的第二加热部。在某些实施方式中，所述的扩散泵中，所述第二加热部为加热棒，其一端位于所述泵芯的下部，所述第二加热部的另一端邻近所述泵芯顶部。在某些实施方式中，所述的扩散泵中，从下至上，所述第二加热部的直径逐渐减小。在某些实施方式中，所述的扩散泵中，所述第二加热部包括相互独立工作多个加热子件，多个所述加热子件从下至上相叠设置。在某些实施方式中，所述的扩散泵中，该扩散泵还包括温度传感器和控制器；所述温度传感器用于检测不同高度处所述喷嘴喷出的蒸气的温度值；所述控制器根据所述温度值控制所述加热子件工作。本技术的有益效果如下：1.本技术所述的扩散泵，利用转动组件将喷嘴喷出的气流进行分散，气流被分割成更小的部分，且分割后的气流分散性更好，提高扩散泵的抽吸力和极限真空度。2.本技术所述的扩散泵，结构简单，生产成本低。附图说明图1为本技术所述的扩散泵的结构示意图；图2为本技术所述的扩散泵中喷嘴的结构示意图；图3为本技术所述的扩散泵中转动组件的结构示意图。附图标记：1代表壳体，2代表冷却装置，3代表泵芯，31代表喷嘴，311代表滑槽，4代表转动组件，41代表连接件，42代表通孔，43代表滑块，44代表叶片，441代表通气孔，45代表圆周凹槽，5代表加热装置，51代表第一加热部，52代表第二加热部，6代表温度传感器，7代表控制器。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。如图1至图3所示，本技术提供一种扩散泵，其包括：具有中空结构的壳体1；设置在所述壳体1外部的冷却装置2；设置在所述中空结构中的泵芯3，在所述泵芯3的不同高度上开设有多个喷嘴31；所述喷嘴31与所述泵芯3之间的呈40度～70度夹角；所述喷嘴31的外壁上开设有沿所述喷嘴31长度方向的滑槽311；转动组件4，所述转动组件4包括通过滑块43设置在所述滑槽311上的连接件41和设置在所述连接件41上的叶片44；所述连接件41为圆台体，所述连接件41上开设有通孔42，所述滑块43固定在所述通孔42内壁上，所述滑块43位于所述连接件41的小头端；所述连接件41的大头端的外壁上开设圆周凹槽45；所述叶片44能转动的设置在所述圆周凹槽45中；设置在所述中空结构中的加热装置5；驱动装置，其驱动所述叶片44在所述圆周凹槽45中圆周转动；其中，所述喷嘴31制作工艺为冲压工艺。本技术所述的扩散泵在工作时，可选择地将转动组件4运动至喷嘴31的喷射端，叶片44在圆周凹槽45中转动，将喷嘴31喷射出的气流分割成更小的部分，且在叶片44转动的过程成分割后的气流向更多方向射散，提高扩散泵的抽吸力和极限真空度。上述方案中，位于不同高度的所述喷嘴31与所述泵芯3之间的夹角不同；在竖直方向上，从上至下，所述喷嘴31与所述泵芯3之间的夹角逐渐增加。从上至下，喷嘴31成逐渐打开的状态，上部喷嘴31喷射的气流会在下部喷嘴31上进行折射，延长提高气流的路径，提高气流的扩散性。上述方案中，在竖直方向上，从上至下，所述喷嘴31的出口端与所述壳体1内壁之间的距离逐渐增加。下部喷嘴31占用较少的内部空间，保证气流有足够的运动空间，保证气流的扩散性。上述方案中，所述叶片44上开设多个通气孔441。气流可以从通气孔441穿过，保证气流的多路径和扩散性。上述方案中，所述通气孔441的直径不相等。上述方案中，所述加热装置5包括设置在所述泵芯3下部的第一加热部51和设置在所述泵芯3中的第二加热部52。上述方案中，所述第二加热部52为加热棒，其一端位于所述泵芯3的下部，所述第二加热部52的另一端邻近所述泵芯3顶部。第二加热部52可以对泵芯3内部的进行加热，更好地控制温度上述方案中，从下至上，所述第二加热部52的直径逐渐减小。上述方案中，所述第二加热部52包括相互独立工作多个加热子件，多个所述加热子件从下至上相叠设置。多个加热子件独立工作，哪部分需要加热时，对应的加热之间就开始工作。上述方案中，该扩散泵还包括温度传感器6和控制器7；所述温度传感器6用于检测不同高度处所述喷嘴31喷出的蒸气的温度值；所述控制器7根据所述温度值控制所述加热子件工作。当某高度温度传感器6检测的温度值不达标是，控制本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩散泵，其特征在于，包括：/n具有中空结构的壳体；/n设置在所述壳体外部的冷却装置；/n设置在所述中空结构中的泵芯；/n设置在所述泵芯的不同高度上的多个喷嘴；所述喷嘴与所述泵芯之间的呈40度～70度夹角；所述喷嘴的外壁上开设有沿所述喷嘴长度方向的滑槽；/n转动组件，所述转动组件包括通过滑块设置在所述滑槽上的连接件和设置在所述连接件上的叶片；所述连接件为圆台体，所述连接件上开设有通孔，所述滑块固定在所述通孔内壁上，所述滑块位于所述连接件的小头端；所述连接件的大头端的外壁上开设圆周凹槽；所述叶片能转动的设置在所述圆周凹槽中；/n设置在所述中空结构中的加热装置；/n驱动装置，其驱动所述叶片在所述圆周凹槽中圆周转动；/n其中，所述喷嘴制作工艺为冲压工艺。/n

【技术特征摘要】
1.一种扩散泵，其特征在于，包括：
具有中空结构的壳体；
设置在所述壳体外部的冷却装置；
设置在所述中空结构中的泵芯；
设置在所述泵芯的不同高度上的多个喷嘴；所述喷嘴与所述泵芯之间的呈40度～70度夹角；所述喷嘴的外壁上开设有沿所述喷嘴长度方向的滑槽；
转动组件，所述转动组件包括通过滑块设置在所述滑槽上的连接件和设置在所述连接件上的叶片；所述连接件为圆台体，所述连接件上开设有通孔，所述滑块固定在所述通孔内壁上，所述滑块位于所述连接件的小头端；所述连接件的大头端的外壁上开设圆周凹槽；所述叶片能转动的设置在所述圆周凹槽中；
设置在所述中空结构中的加热装置；
驱动装置，其驱动所述叶片在所述圆周凹槽中圆周转动；
其中，所述喷嘴制作工艺为冲压工艺。


2.根据权利要求1所述的扩散泵，其特征在于，位于不同高度的所述喷嘴与所述泵芯之间的夹角不同；在竖直方向上，从上至下，所述喷嘴与所述泵芯之间的夹角逐渐增加。


3.根据权利要求2所述的扩散泵，其特征在于，在竖直方向上，从上至下，所述喷嘴的出口端与所述壳体内...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙会民，张继辉，刘春雷，
申请(专利权)人：沈阳蓝菱真空设备制造有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21