一种冷却效果好的单晶硅棒线切割装置制造方法及图纸

技术编号:28771271 阅读:24 留言:0更新日期:2021-06-09 10:58
本发明专利技术涉及一种冷却效果好的单晶硅棒线切割装置,包括水箱、固定杆、横板、定滑轮、切割线、滚筒、调节机构和冷却机构,所述调节机构包括滚轮、螺纹块、丝杆、轴承、支杆、转动板和抵靠组件,所述冷却机构包括电机、转杆、从动组件和转动组件,该冷却效果好的单晶硅棒线切割装置通过调节机构实现对切割线的调节,使得切割线始终处于绷紧的状态,同时还能实现对切割线上的灰尘进行清洁,实现对切割线的保护,防止在进行切割时卡死,提高了使用的实用性,通过冷却机构实现对水箱内切削液的搅拌,使得从入水口流入的切削液更好的混合,同时加快水箱内切削液的流动速度,从而提高散热效果。从而提高散热效果。从而提高散热效果。

【技术实现步骤摘要】
一种冷却效果好的单晶硅棒线切割装置


[0001]本专利技术特别涉及一种冷却效果好的单晶硅棒线切割装置。

技术介绍

[0002]现有由于单晶硅棒的线切割装置在进行对其切割时,会产生高温和火花,需要通过切削液实现对切割线的降温,通过入水孔使得切削液流入水箱内,这时的切削液不能很好的与水箱内的切削液混合,多次循环之后,水箱内的切削液温度就会升高,降低冷区效果,同时长时间在进行对单晶硅棒的切割,会使得切割线松动,从动提高切割线的损坏率,提高加工成本。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题是:为了克服现有技术的不足,提供一种冷却效果好的单晶硅棒线切割装置。
[0004]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种冷却效果好的单晶硅棒线切割装置,包括水箱、固定杆、横板、定滑轮、切割线、滚筒、调节机构和冷却机构,所述水箱水平设置,所述横板水平设置在水箱的上方,所述固定杆竖向设置在水箱顶端的一侧,所述横板通过固定杆与水箱连接,所述滚筒水平设置在底座远离固定杆的一端上,所述定滑轮有三个,其中两个定滑轮均设置在横板上,另一个定滑轮设置在水箱上且位于固定杆和滚筒之间,所述切割线的一端与滚筒的一端连接,所述切割线的另一端依次绕过三个定滑轮与滚筒的另一端连接,所述冷却机构设置在水箱内,所述调节机构设置在横板上,所述调节机构位于横板上的两个定滑轮之间;
[0005]所述调节机构包括滚轮、螺纹块、丝杆、轴承、支杆、转动板和抵靠组件,所述滚轮设置在横板的下方,所述轴承设置在横板的上方,所述支杆有两根,两根支杆分别设置在滚轮的两侧,所述支杆的一端与滚轮连接,所述支杆的另一端与轴承靠近滚轮的一端的外圈的端面连接,所述滚轮远离轴承的一端与切割线抵靠,所述螺纹块设置在横板上,所述转动板设置在螺纹块的上方,所述丝杆设置在轴承和转动板之间,所述螺纹块上设有与丝杆相匹配的螺纹孔,所述丝杆的一端通过螺纹孔与转动板连接,所述丝杆的另一端通过横板与轴承的内圈连接,所述丝杆与螺纹孔螺纹连接;
[0006]所述抵靠组件设置在轴承和滚轮之间,所述抵靠组件包括抵靠板、抵靠杆、第一弹簧和拉动板,所述抵靠板水平设置滚轮的上方,所述抵靠板的两端分别与两根支杆连接,所述拉动板设置在抵靠板的上方,所述抵靠杆竖向设置在滚轮和拉动板之间,所述抵靠杆的一端与滚轮抵靠,所述抵靠杆的另一端通过抵靠板与拉动板连接,所述抵靠杆与抵靠板滑动连接,所述第一弹簧设置在抵靠板和拉动板之间,所述第一弹簧套设在抵靠杆上,所述第一弹簧的一端与拉动板连接,所述第一弹簧的另一端与抵靠板连接;
[0007]所述冷却机构包括电机、转杆、从动组件和转动组件,所述电机水平设置在滚筒的一侧,所述转杆安装在电机上,所述转杆穿过滚筒,所述转杆与滚筒固定连接,所述滚筒通
过转杆与电机传动连接;
[0008]所述从动组件有两个,两个从动组件分别设置在滚筒的两端,所述从动组件包括凸轮、滑动杆、齿条和第二弹簧,所述凸轮套设在转杆上,所述凸轮与转杆键连接,所述滑动杆竖向设置在凸轮的下方上,所述第二弹簧竖向设置在水箱内部的底端,所述滑动杆的顶端与凸轮抵靠,所述滑动杆的底端通过水箱与第二弹簧的顶端连接,所述滑动杆与水箱滑动连接,所述齿条竖向设置在滑动杆的一侧;
[0009]所述转动组件设置在齿条的一侧,所述转动组件包括从动杆、搅拌板和连接单元,所述从动杆水平设置在滑动杆的一侧,所述从动杆与转杆平行,所述搅拌板有两块,两块搅拌板分别设置在从动杆的两侧,两块搅拌板关于从动杆的轴线对称设置,所述连接单元有两个,两个连接单元分别设置在从动杆的两端,所述连接单元包括套环、连杆和齿轮,所述套环套设在从动杆上,所述套环与从动杆滑动连接,所述齿轮套设在从动杆上,所述齿轮位于套环和搅拌板之间,所述齿轮与从动杆键连接,所述齿轮与齿条啮合,所述连杆竖向设置在水箱内部的底端,所述连杆的顶端与套环的外圈连接。
[0010]为了更好的实现对切割线的限位,所述抵靠杆远离拉动板的一端设有半圆形凹槽,所述凹槽的圆心位于滚轮上。
[0011]为了防止切割线的偏离,所述滚轮上设有V形环形限位槽,所述抵靠杆与限位槽的底端抵靠。
[0012]为了减少摩擦,所述丝杆上涂有润滑油。
[0013]为了更好的实现对滑动杆的移动,所述滑动杆靠近凸轮的一端设有弧形倒角,所述倒角的圆心位于滑动杆上。
[0014]为了提高散热效果,所述搅拌板上设有若干通孔,各通孔均匀设置。
[0015]为了防止腐蚀,提高使用寿命,所述水箱上涂有防腐镀锌层。
[0016]为了增加牢固度,所述丝杆与转动板为一体成型结构。
[0017]为了便捷,所述电机为伺服电机。
[0018]为了减少摩擦,增加表面硬度,所述凸轮的外圈涂有铬。
[0019]本专利技术的有益效果是,该冷却效果好的单晶硅棒线切割装置通过调节机构实现对切割线的调节,使得切割线始终处于绷紧的状态,同时还能实现对切割线上的灰尘进行清洁,实现对切割线的保护,防止在进行切割时卡死,提高了使用的实用性,通过冷却机构实现对水箱内切削液的搅拌,使得从入水口流入的切削液更好的混合,同时加快水箱内切削液的流动速度,从而提高散热效果。
附图说明
[0020]下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。
[0021]图1是本专利技术的冷却效果好的单晶硅棒线切割装置的结构示意图;
[0022]图2是图1的A部放大图;
[0023]图3是本专利技术的冷却效果好的单晶硅棒线切割装置支撑、支杆、滚轮和抵靠组件的连接结构示意图;
[0024]图4是图3的B部放大图;
[0025]图5是本专利技术的冷却效果好的单晶硅棒线切割装置电机、凸轮、转杆和滚筒的连接
结构示意图;
[0026]图6是本专利技术的冷却效果好的单晶硅棒线切割装置从动组件的结构示意图;
[0027]图中:1.水箱,2.固定杆,3.横板,4.定滑轮,5.切割线,6.滚筒,7.滚轮,8.螺纹块,9.丝杆,10.轴承,11.支杆,12.转动板,13.抵靠板,14.抵靠杆,15.第一弹簧,16.拉动板,17.电机,18.转杆,19.凸轮,20.滑动杆,21.齿条,22.第二弹簧,23.从动杆,24.搅拌板,25.套环,26.连杆,27.齿轮。
具体实施方式
[0028]现在结合附图对本专利技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本专利技术的基本结构,因此其仅显示与本专利技术有关的构成。
[0029]如图1

4所示,一种冷却效果好的单晶硅棒线切割装置,包括水箱1、固定杆2、横板3、定滑轮4、切割线5、滚筒6、调节机构和冷却机构,所述水箱1水平设置,所述横板3水平设置在水箱1的上方,所述固定杆2竖向设置在水箱1顶端的一侧,所述横板3通过固定杆2与水箱1连接,所述滚筒6水平设置在底座远离固定杆2的一端上,所述定滑轮4有三个,其中两个定滑轮4均设置在横板3上,另一个定滑轮4设置在水箱1上且位于固定杆2和滚本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种冷却效果好的单晶硅棒线切割装置,其特征在于,包括水箱(1)、固定杆(2)、横板(3)、定滑轮(4)、切割线(5)、滚筒(6)、调节机构和冷却机构,所述水箱(1)水平设置,所述横板(3)水平设置在水箱(1)的上方,所述固定杆(2)竖向设置在水箱(1)顶端的一侧,所述横板(3)通过固定杆(2)与水箱(1)连接,所述滚筒(6)水平设置在底座远离固定杆(2)的一端上,所述定滑轮(4)有三个,其中两个定滑轮(4)均设置在横板(3)上,另一个定滑轮(4)设置在水箱(1)上且位于固定杆(2)和滚筒(6)之间,所述切割线(5)的一端与滚筒(6)的一端连接,所述切割线(5)的另一端依次绕过三个定滑轮(4)与滚筒(6)的另一端连接,所述冷却机构设置在水箱(1)内,所述调节机构设置在横板(3)上,所述调节机构位于横板(3)上的两个定滑轮(4)之间;所述调节机构包括滚轮(7)、螺纹块(8)、丝杆(9)、轴承(10)、支杆(11)、转动板(12)和抵靠组件,所述滚轮(7)设置在横板(3)的下方,所述轴承(10)设置在横板(3)的上方,所述支杆(11)有两根,两根支杆(11)分别设置在滚轮(7)的两侧,所述支杆(11)的一端与滚轮(7)连接,所述支杆(11)的另一端与轴承(10)靠近滚轮(7)的一端的外圈的端面连接,所述滚轮(7)远离轴承(10)的一端与切割线(5)抵靠,所述螺纹块(8)设置在横板(3)上,所述转动板(12)设置在螺纹块(8)的上方,所述丝杆(9)设置在轴承(10)和转动板(12)之间,所述螺纹块(8)上设有与丝杆(9)相匹配的螺纹孔,所述丝杆(9)的一端通过螺纹孔与转动板(12)连接,所述丝杆(9)的另一端通过横板(3)与轴承(10)的内圈连接,所述丝杆(9)与螺纹孔螺纹连接;所述抵靠组件设置在轴承(10)和滚轮(7)之间,所述抵靠组件包括抵靠板(13)、抵靠杆(14)、第一弹簧(15)和拉动板(16),所述抵靠板(13)水平设置滚轮(7)的上方,所述抵靠板(13)的两端分别与两根支杆(11)连接,所述拉动板(16)设置在抵靠板(13)的上方,所述抵靠杆(14)竖向设置在滚轮(7)和拉动板(16)之间,所述抵靠杆(14)的一端与滚轮(7)抵靠,所述抵靠杆(14)的另一端通过抵靠板(13)与拉动板(16)连接,所述抵靠杆(14)与抵靠板(13)滑动连接,所述第一弹簧(15)设置在抵靠板(13)和拉动板(16)之间,所述第一弹簧(15)套设在抵靠杆(14)上,所述第一弹簧(15)的一端与拉动板(16)连接,所述第一弹簧(15)的另一端与抵靠板(13)连接;所述冷却机构包括电机(17)、转杆(18)、从动组件和转动组件,所述电机(17)水平设置在滚筒(6)的一侧,所述转杆(18)安装在电机(17)上,所述转杆(18)穿过滚筒(6),所述转杆(18)与滚筒(6)固定连接,所述滚筒(6)通过转...

【专利技术属性】
技术研发人员:邓含朋
申请(专利权)人:南京欧伊工程技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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