【技术实现步骤摘要】
一种大处理量微波等离子体反应腔
本专利技术属于等离子体
，具体涉及一种大处理量微波等离子体反应腔。
技术介绍
等离子体产生的原因一般认为是无规则的热运动，而温度和外加电磁场是造成这种无规则运动的两大主要因素。由温度变化而产生的等离子体类似于蜡烛中的火焰，电离度较低；由外加电磁场产生并维持的等离子体，结构多变，实用性强，是人造等离子体的主要组成部分。当激发等离子体的外加电磁场频率达到微波波段时，这种等离子体被称为微波等离子体。相比于直流、交流和射频等离子体，微波等离子体无需电极，电子密度、电子温度和气体温度更高，从微波到等离子体的能量转换效率也较高。这些优势使得微波等离子体在日常生活、能源、化工和材料等领域得到了广泛的应用。微波等离子体的研究历史大致可以追溯上世纪四五十年代。起初麻省理工科学家发现微波同轴结构能够产生等离子体，但是由于等离子体体积较小，内导体易腐蚀，使用寿命不长。此后很多高校实验室与公司对微波等离子体装置不断改进，向着腔体体积更大，强度更大，实验要求更低努力。但现有模型的腔体可作用的气体体...
【技术保护点】
1.一种大处理量微波等离子体反应腔，其特征在于，包括上圆柱耦合腔、下圆柱耦合腔、波导和石英管；上圆柱耦合腔固定连通在下圆柱耦合腔的上端；波导固定连通在下圆柱耦合腔的侧壁；石英管竖向贯穿上圆柱耦合腔和下圆柱耦合腔；下圆柱耦合腔的下端固定有与石英管对应的入口接头，入口接头具有均与石英管相连通的点火装置入口和进气孔。/n
【技术特征摘要】
1.一种大处理量微波等离子体反应腔，其特征在于，包括上圆柱耦合腔、下圆柱耦合腔、波导和石英管；上圆柱耦合腔固定连通在下圆柱耦合腔的上端；波导固定连通在下圆柱耦合腔的侧壁；石英管竖向贯穿上圆柱耦合腔和下圆柱耦合腔；下圆柱耦合腔的下端固定有与石英管对应的入口接头，入口接头具有均与石英管相连通的点火装置入口和进气孔。
2.根据权利要求1所述的大处理量微波等离子体反应腔，其特征在于，所述上圆柱耦合腔、下圆柱耦合腔和石英管同轴设置。
3.根据权利要求1所述的大处理量微波等离子体反应腔，其特征在于，所述进气孔为多个，并对称设置在点火装置入口的两侧。
4.根据权利要求1或3所述的大处理量微波等离子体反应腔，其特...
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