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本发明公开了一种大处理量微波等离子体反应腔，属于等离子体技术领域，包括上圆柱耦合腔、下圆柱耦合腔、波导和石英管；上圆柱耦合腔固定连通在下圆柱耦合腔的上端；波导固定连通在下圆柱耦合腔的侧壁；石英管竖向贯穿上圆柱耦合腔和下圆柱耦合腔；下圆柱耦合...
该专利属于四川大学所有，仅供学习研究参考，未经过四川大学授权不得商用。

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