【技术实现步骤摘要】
一种微波等离子体化学气相沉积系统
本专利技术涉及等离子体设备领域，具体而言，涉及一种微波等离子体化学气相沉积系统。
技术介绍
金刚石具有高硬度、高热导率、低膨胀系数、高透光性、高电阻率以及高载流迁移率等优异性能，促使其在军事、航天航空、生物工程、计算机芯片和电子信息工程等高新领域有个广阔的应用前景。与直流、高频、热丝发射法比较，微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)被认为是当今国际上制备高质量金刚石膜的首选、最先进方法；而上述方法需要用到专用的微波等离子体化学气相沉积系统。上述系统的核心部件之一为真空谐振腔，而真空谐振腔是由腔盖扣在真空腔基座上并密封，然后抽真空形成的。对于较小功率的沉积设备，其腔盖相对较小，通过人工打开和扣合比较容易；而对于较大功率的沉积设备，由于其腔盖尺寸较大，重量比较重，其打开和扣合比较困难。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种微波等离子体化学气相沉积系统，其能够腔盖的打开和扣合采用升降装置进行操作，从而使得其操纵简单方便。本专利技术是这样实现的：一...
【技术保护点】
1.一种微波等离子体化学气相沉积系统，其特征在于，包括微波源、微波传输装置及等离子体设备主机，所述微波源通过所述微波传输装置与所述等离子体设备主机连接；/n所述等离子体设备主机包括：/n机架；/n真空腔基座，所述真空腔基座与所述机架连接，所述真空腔基座的中部设置有样品基片台；/n腔盖，所述腔盖能够与所述真空基座进行密封配合；/n升降装置，所述升降装置的底部与所述机架连接，上部与所述腔盖连接，所述升降装置能够带动所述腔盖上下移动。/n
【技术特征摘要】
1.一种微波等离子体化学气相沉积系统，其特征在于，包括微波源、微波传输装置及等离子体设备主机，所述微波源通过所述微波传输装置与所述等离子体设备主机连接；
所述等离子体设备主机包括：
机架；
真空腔基座，所述真空腔基座与所述机架连接，所述真空腔基座的中部设置有样品基片台；
腔盖，所述腔盖能够与所述真空基座进行密封配合；
升降装置，所述升降装置的底部与所述机架连接，上部与所述腔盖连接，所述升降装置能够带动所述腔盖上下移动。
2.根据权利要求1所述的微波等离子体化学气相沉积系统，其特征在于，所述升降装置包括升降机构及悬挂组件，所述悬挂组件与所述升降机构连接，所述升降机构与所述机架连接；
所述悬挂组件为弧形结构，包括悬臂及三个连接件，所述三个连接件沿所述悬臂的弧形方向间隔排布，所述悬臂通过所述三个连接件与所述腔盖连接。
3.根据权利要求2所述的微波等离子体化学气相沉积系统，其特征在于，所述悬臂包括底板、立板和盖板，所述底板通过所述立板与所述盖板连接；
所述底板上设置有三个安装孔，所述三个连接件分别安装在所述三个安装孔中，并能够沿所述安装孔自由移动；所述连接件的上端设置有限位端头，所述限位端头能够防止所述连接件从所述安装孔中脱落。
4.根据权利要求3所述的微波等离子体化学气相沉积系统，其特征在于，所述连接件采用了万向节结构。
5.根据权利要求3所述的微波等离子体化学气相沉积系统，其特征在于，所述升降装置还包括旋转机构，所述旋转机构与所述悬挂组件及所述升降机构连接，用于驱动所述悬挂组件绕竖直轴转动。
6.根据权利要求1所述的微波等离子体化学气相沉积系统，其特征在于，还包括模式转换器，所述模式转换器包括矩形波导、圆形波导、门钮、内导体；
所述真空腔基座的中部设置有安装通孔，所述矩形波导的上盖板上设置有上部通孔，所述圆形波导的上端连接于所述安装通孔处，下端连接于所述上部通孔处；所述内导体的上端穿过所述安装通孔，下端与所述门钮连接；
所述门钮为与所述内导体同轴的曲面回转体，所述门钮通过下端面边缘的圆周刃边与所述矩形波导下盖板的内表面配合；
所述样品基片台的底部设置有中部通孔；所述内导体的上端延伸至所述中部通孔处。
7.根据权利要求6所述的微波等离子体化学气相沉积系统，其特征在于，所述中部通孔处设置有爪型轴套；
所述爪型轴套包括朝下延伸的锥形套管，所述锥形套管上设置有多个开槽，所述多个开槽沿所述爪型轴套的轴向延伸；
所述锥形套管套设在所述内导体上。
8.根据权利要求6所述的微波等离子体化学气相沉积系统，其特征在于，所述门钮的下端面设置有圆柱状凸台，所述矩形波导下盖板的内表面上设置有凹部，所述凸台嵌设在所述凹部中；
所述凸台的圆周面与所述门钮下端面呈锐角设置，从而使得所述门钮下端面边缘形成所述刃边。
9.根据权利要求8所述的微波等离子体化学气相沉积系统，其特征在于，所述矩...
【专利技术属性】
技术研发人员：季宇，刘文科，季天仁，
申请(专利权)人：成都纽曼和瑞微波技术有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51
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