本实用新型涉及一种微波等离子体化学气相沉积设备的新型微波屏蔽装置、观察筒及MPCVD设备，包括屏蔽装置本体1，还包括第一挡板2和第二挡板3，所述第一挡板2和第二挡板3分别设置在屏蔽装置本体1的两端，所述第一挡板2与第二挡板3之间设置有容...

本实用新型涉及微波等离子体技术领域，具体而言，涉及一种用于MPCVD设备的反应腔，包括钼台1、样品台2、上空腔3和下空腔4，所述上空腔3和下空腔4均呈圆柱体状，所述上空腔3和下空腔4同轴，所述上空腔3的直径大于下空腔4的直径，所述上空腔...

本实用新型提供了一种放电腔组件及气相沉积设备，属于微波等离子体领域。上述放电腔组件包括放电腔以及观察筒，观察筒与放电腔的外壁连接，并与放电腔的内腔连通；观察筒的内壁上设置有至少一个环形凹槽或者环形凸起。由于在观察筒的内壁上设置了环形凹槽...

本实用新型涉及微波等离子体技术领域，具体涉及一种微波等离子体化学气相沉积设备的门钮及采用该门钮的内导体组件，所述门钮设置有安装孔1，所述安装孔1的圆周上设置有可弹性开合的条形开口2，所述条形开口2沿安装孔1的轴向延伸，提供了一种结构简单...

本实用新型涉及一种微波等离子体化学气相沉积设备的反应腔底板，包括贯穿厚度方向的第一通孔1，还包括贯穿厚度方向的第二通孔2、和贯穿厚度方向的第三通孔3，所述第二通孔2围绕并靠近第一通孔1设置，所述第三通孔3围绕并远离第一通孔1设置，提供了...

本实用新型提供了一种波导组件及微波等离子体设备，属于微波传输领域。上述波导组件包括波导、销轴及冷却腔体，波导上设置有波导通孔；销轴可滑动地设置在波导通孔中；销轴与波导通孔的内壁密封配合；销轴上设置有水流通道，水流通道包括进水口和出水口。...

本实用新型提供了一种反应腔装置及微波等离子体气相沉积系统，属于微波等离子体领域。上述反应腔装置包括反应腔壳体，反应腔壳体一端设置有调节组件另一端设置有封堵组件；或者，反应腔壳体的两端均设置有调节组件。调节组件包括滑块，滑块滑动插接在反应...

本实用新型涉及一种微波屏蔽装置、观察筒及MPCVD设备，包括微波屏蔽装置本体1，所述微波屏蔽装置本体1为管道结构，所述管道结构交错贯通呈网格状或弯屈绕制成饼状，所述管道结构中设置有电性液体2，提供了一种结构简单、便于加工制作、易于人们观...

本发明提供了一种微波传输装置及微波等离子体设备，属于微波传输领域。上述微波传输装置包括波导、冷却组件及销轴，波导为矩形管结构，波导上设置有波导通孔。冷却组件包括冷却腔体，冷却腔体一端与波导的管壁密封连接，并罩设在波导通孔上，另一端设置有...

本实用新型涉及一种微波等离子体化学气相沉积设备的电子阱结构，包括电子阱本体1和至少1件电子阱2，所述电子阱本体1上设置有第一通孔3，所述电子阱2包括第一电子阱4和第二电子阱5，所述第一电子阱4上设置有第二通孔6，所述第二电子阱5上设置有...

本发明提供了一种调节组件、反应腔装置及微波等离子体气相沉积系统，属于微波等离子体领域。上述反应腔装置包括反应腔壳体，反应腔壳体一端设置有调节组件另一端设置有封堵组件；或者，反应腔壳体的两端均设置有调节组件。调节组件包括滑块，滑块滑动插接...

本发明提供了一种微波等离子体化学气相沉积设备，属于微波等离子体领域。上述沉积设备包括微波源、微波传输装置及放电腔组件，微波源通过微波传输装置与放电腔组件连接。放电腔组件包括放电腔以及观察筒，观察筒与放电腔的外壁连接，并与放电腔的内腔连通...

本申请提供一种等离子体气相沉积系统，涉及微波等离子体领域。该系统包括：微波模块、等离子体工作腔、气体质量流量控制器、测量模块和控制柜；等离子体工作腔分别连接微波模块与气体质量流量控制器，控制柜分别连接微波模块、等离子体工作腔、气体质量流...

本申请公开了一种悬挂组件、升降旋转装置以及气相沉积设备，属于微波电磁聚焦技术领域，悬挂组件包括悬挂结构和连接结构，连接结构包括万向节和连接块，万向节与悬挂结构滑动连接，悬挂结构通过螺杆连接在万向节上，万向节连接在连接板上，连接板安装在腔...

本实用新型提供了一种样品托、样品托组件及等离子化学气相沉积设备，属于等离子体设备领域。样品托组件包括基底及样品托，基体上设置有安装凹槽，样品托固定设置在安装凹槽中。上述样品托包括一体成型的样品托本体及导热凸台，导热凸台设置在样品托本体的...

本申请提供一种微波等离子体化学气相沉积MPCVD系统的保护电路，设置于MPCVD系统，该MPCVD系统包括真空泵，保护电路包括自动控制开关、手动控制开关、控制器和触摸屏，控制器与触摸屏电连接；真空泵通过自动控制开关以及手动控制开关与电源...

本实用新型实施例提出一种电源保护电路、电源模块及等离子体化学气相沉积系统，涉及电源技术领域。该电源保护电路包括相序保护单元和控制器，相序保护单元与控制器电连接，相序保护单元与供电电源电连接，控制器与受控模块电连接；相序保护单元用于采集供...

本申请公开了一种转动组件、悬臂装置以及等离子体化学气相沉积设备，属于控制结构技术领域，转动组件包括固定轴、转动座、涡轮、蜗杆以及电机，涡轮与固定轴连接，转动座与固定轴之间转动连接，蜗杆与转动座转动连接，且蜗杆与涡轮啮合，电机驱动连接蜗杆...

一种微波滑动短路器，包括设置有端盖11的波导管1、设置在波导管1腔体内的活塞体2、推拉杆3、设置在端盖11上的锁止结构4，和推拉部5，所述端盖11上设置有第一通孔111，所述推拉杆3穿过第一通孔111，其特征在于：所述推拉杆3一端与活塞...

本申请公开了一种腔盖、腔体以及等离子体化学气相沉积设备，属于微波电磁聚焦技术领域，腔盖包括主体和覆盖片，主体包括至少两个同轴的腔体，这些腔体的直径沿他们的轴线方向依次增大；在主体的外壁上设置有供冷却水流动的第一凹槽，覆盖片与主体可拆卸连...