微波等离子体化学气相沉积MPCVD系统的保护电路技术方案

本申请提供一种微波等离子体化学气相沉积MPCVD系统的保护电路，设置于MPCVD系统，该MPCVD系统包括真空泵，保护电路包括自动控制开关、手动控制开关、控制器和触摸屏，控制器与触摸屏电连接；真空泵通过自动控制开关以及手动控制开关与电源连接；自动控制开关和手动控制开关均与控制器电连接。其中，手动控制开关的闭合与断开只能由运维人员手动控制，运维人员可以在控制程序故障且不能通过控制面板控制系统的运行时，手动控制手动控制开关断开，提高系统的安全性。自动控制开关可以在真空泵运行出现异常时自动断开，进一步提高的安全性。并且，触摸屏可以显示上述控制开关的通断状态，能够直观地提示上述保护电路的运行状况。况。况。

【技术实现步骤摘要】
微波等离子体化学气相沉积MPCVD系统的保护电路


[0001]本申请涉及电子
，具体而言，涉及一种微波等离子体化学气相沉积MPCVD系统的保护电路。

技术介绍

[0002]MPCVD(Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition，微波等离子体化学气相沉积)系统，是一种应用于化学、材料科学、冶金工程技术、物理学领域的仪器。例如，MPCVD系统可以用于高速率制备高品质金刚石及其多种材料。
[0003]目前，如何优化MPCVD系统，使得其具有微波功率高、沉积面积大、沉积速度快、性能先进、稳定性高、使用方便、长时间运行安全可靠等特点，是亟需解决的问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请的目的在于提供一种微波等离子体化学气相沉积MPCVD系统的保护电路，以提高MPCVD系统的安全性。
[0005]为了实现上述目的，本申请采用的技术方案如下：
[0006]第一方面，本申请提供一种微波等离子体化学气相沉积MPCVD系统的保护电路，设置于MPCVD系统，MPCVD系统包括真空泵，保护电路包括自动控制开关、手动控制开关、控制器和触摸屏，控制器与触摸屏电连接；真空泵通过自动控制开关以及手动控制开关与电源连接；自动控制开关和手动控制开关均与控制器电连接。
[0007]在可选的实施例中，真空泵包括前级机械泵、维持机械泵、罗茨泵和分子泵，自动控制开关包括第一自动控制开关、第二自动控制开关、第三自动控制开关和第四自动控制开关，手动控制开关包括第一手动控制开关、第二手动控制开关、第三手动控制开关和第四手动控制开关；前级机械泵通过第一自动控制开关、第一手动控制开关与电源连接；维持机械泵通过第二自动控制开关、第二手动控制开关与电源连接；罗茨泵通过第三自动控制开关、第三手动控制开关与电源连接；分子泵通过第四自动控制开关、第四手动控制开关与电源连接。
[0008]在可选的实施例中，第一自动控制开关包括第一空气开关和第一热继电器，第二自动控制开关包括第二空气开关和第二热继电器，第三自动控制开关包括第三空气开关和第三热继电器，第四自动控制开关包括第四空气开关和第四热继电器；前级机械泵依次通过第一空气开关、第一手动控制开关以及第一热继电器与电源连接；维持机械泵依次通过第二空气开关、第二手动控制开关以及第二热继电器与电源连接；罗茨泵依次通过第三空气开关、第三手动控制开关以及第三热继电器与电源连接；分子泵依次通过第四空气开关、第四手动控制开关以及第四热继电器与电源连接。
[0009]在可选的实施例中，保护电路还包括温度传感器，温度传感器设置于真空泵，温度传感器与控制器电连接。
[0010]在可选的实施例中，保护电路还包括振动传感器，振动传感器设置于真空泵，振动
传感器与控制器电连接。
[0011]在可选的实施例中，保护电路还包括扬声器，控制器与扬声器电连接；自动控制开关和手动控制开关均与扬声器电连接。
[0012]在可选的实施例中，保护电路还包括LED灯，控制器与LED灯电连接；自动控制开关和手动控制开关均与LED灯电连接。
[0013]在可选的实施例中，真空泵与电源之间的导线的横截面积大于或等于1平方毫米。
[0014]相较于现有技术，本申请提供一种微波等离子体化学气相沉积MPCVD系统的保护电路，设置于MPCVD系统，MPCVD系统包括真空泵，保护电路包括自动控制开关、手动控制开关、控制器和触摸屏，控制器与触摸屏电连接；真空泵通过自动控制开关以及手动控制开关与电源连接；自动控制开关和手动控制开关均与控制器电连接。
[0015]其中，手动控制开关的闭合与断开只能由运维人员手动控制，因此，运维人员可以在MPCVD系统的控制程序故障且不能通过控制面板控制MPCVD系统的运行时，直接手动控制手动控制开关断开，避免MPCVD系统出现更多的故障，提高MPCVD系统的安全性。自动控制开关可以在真空泵(如前级机械泵、维持机械泵、罗茨泵和分子泵)运行出现异常(例如过载)时，自动断开，能够进一步提高MPCVD系统的安全性。自动控制开关和手动控制开关可以在闭合或断开时，向控制器发送信号，以指示控制器控制触摸屏显示自动控制开关和手动控制开关的通断状态，从而可以直观地显示上述保护电路的运行状况，提升运维和预警效率。
[0016]为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0018]图1为本申请实施例提供的一种MPCVD系统的结构示意图；
[0019]图2为本申请实施例提供的一种MPCVD系统的保护电路的结构示意图。
[0020]图标：11
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微波功率源；12
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微波传输系统；13
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微波耦合系统及模式转换器；14
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等离子体工作腔；15
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真空及测量系统；16
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气体质量流量MFC系统；17
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温度测量及监测系统；18
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冷却水系统；19
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系统控制柜；191
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控制面板；20
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机架。
具体实施方式
[0021]下面将结合本申请实施例中附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0022]首先，请参照图1，为本申请实施例提供的一种MPCVD系统的结构示意图。该MPCVD系统包括如下单元：微波功率源11、微波传输系统12、微波耦合系统及模式转换器13、等离子体工作腔14、真空及测量系统15、气体质量流量MFC系统16、温度测量及监测系统17、冷却水系统18、系统控制柜19以及机架20。上述各个单元的功能及实现方式可以参照相关的现
有技术，在此不再赘述。
[0023]其中，真空及测量系统15包括前级机械泵、维持机械泵、罗茨泵和分子泵，这些泵均可以被称为真空泵。另外，前级机械泵、维持机械泵、罗茨泵和分子泵的功能及实现方式可以参照相关的现有技术，在此不再赘述。
[0024]目前，前级机械泵、维持机械泵、罗茨泵和分子泵与电源(如上述微波功率源11)之间是通过导线连接的，当微波功率源11被启动时，前级机械泵、维持机械泵、罗茨泵和分子泵随之上电，如果前级机械泵、维持机械泵、罗茨泵或分子泵出现过载等异常情况时，运维人员不能直接停止前级机械泵、维持机械泵、罗茨泵和分子泵的运行，只本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微波等离子体化学气相沉积MPCVD系统的保护电路，其特征在于，设置于MPCVD系统，所述MPCVD系统包括真空泵，所述保护电路包括自动控制开关、手动控制开关、控制器和触摸屏，所述控制器与所述触摸屏电连接；所述真空泵通过所述自动控制开关以及所述手动控制开关与电源连接；所述自动控制开关和所述手动控制开关均与所述控制器电连接。2.根据权利要求1所述的保护电路，其特征在于，所述真空泵包括前级机械泵、维持机械泵、罗茨泵和分子泵，所述自动控制开关包括第一自动控制开关、第二自动控制开关、第三自动控制开关和第四自动控制开关，所述手动控制开关包括第一手动控制开关、第二手动控制开关、第三手动控制开关和第四手动控制开关；所述前级机械泵通过所述第一自动控制开关、所述第一手动控制开关与电源连接；所述维持机械泵通过所述第二自动控制开关、所述第二手动控制开关与电源连接；所述罗茨泵通过所述第三自动控制开关、所述第三手动控制开关与电源连接；所述分子泵通过所述第四自动控制开关、所述第四手动控制开关与电源连接。3.根据权利要求2所述的保护电路，其特征在于，所述第一自动控制开关包括第一空气开关和第一热继电器，所述第二自动控制开关包括第二空气开关和第二热继电器，所述第三自动控制开关包括第三空气开关和第三热继电器，所述第四自动控制开关包括第四空气开关和第四热继电器；所述前级机械泵依次通过所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：张宏，李杰，季宇，
申请(专利权)人：成都纽曼和瑞微波技术有限公司，
类型：新型
国别省市：