本发明专利技术提供了一种微波传输装置及微波等离子体设备，属于微波传输领域。上述微波传输装置包括波导、冷却组件及销轴，波导为矩形管结构，波导上设置有波导通孔。冷却组件包括冷却腔体，冷却腔体一端与波导的管壁密封连接，并罩设在波导通孔上，另一端设置有盖板。销轴可滑动地设置在波导通孔中，并能够相对于波导通孔固定；销轴与波导通孔的内壁密封配合；销轴上设置有水流通道，水流通道包括进水口和出水口。进水口和出水口均位于冷却腔体的内腔中。上述设计使得冷却水在流动过程中，不仅能够将销轴表面的热量带走，还能够将销轴内部的热量带走，从而实现销轴整体的降温。由于有效降低了销轴的温度，因此，上述微波传输装置的传输稳定性更高。传输稳定性更高。传输稳定性更高。
A microwave transmission device and microwave plasma equipment
【技术实现步骤摘要】
一种微波传输装置及微波等离子体设备
[0001]本专利技术涉及微波传输领域，具体而言，涉及一种微波传输装置及微波等离子体设备。
技术介绍
[0002]微波等离子体设备包括微波源、微波传输装置及反应腔，微波源通过微波传输装置与反应腔连接，并将微波传输到反应腔中。而微波传输装置的核心部件就是波导，而为了调节波导阻抗，一般会在波导的管壁上设置通孔，将销轴插接在上述通孔中。通过调节销轴在波导中的深度，能够调节波导阻抗。而由于销轴本身的发热量比较大，当其温度过高时，会影响波导传输的稳定性。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的在于提供一种微波传输装置，其能够有效缓解上述问题。
[0004]本专利技术的另一目的在于提供一种微波等离子体设备，其采用了上述微波传输装置。
[0005]本专利技术是这样实现的：一种微波传输装置，包括：波导，所述波导为矩形管结构，所述波导上设置有波导通孔；冷却组件，所述冷却组件包括冷却腔体，所述冷却腔体一端与所述波导的管壁密封连接，并罩设在所述波导通孔上，另一端设置有盖板；所述冷却腔体上设置有两个水管接口；销轴，所述销轴可滑动地设置在所述波导通孔中，并能够相对于所述波导通孔固定；所述销轴与所述波导通孔的内壁密封配合；所述销轴上设置有水流通道，所述水流通道包括进水口和出水口；所述进水口和所述出水口均位于所述冷却腔体的内腔中。
[0006]进一步地，所述冷却组件还包括隔板，所述隔板设置在所述冷却腔体中，将所述冷却腔体的内腔隔开形成相互独立的进水腔和出水腔；所述两个水管接口分别设置在所述进水腔和所述出水腔的外壁上；所述隔板上设置有隔板通孔，所述销轴可滑动地设置在所述隔板通孔中；所述进水口位于所述进水腔内，所述出水口位于所述出水腔内；所述出水口设置有螺旋形导流管。
[0007]进一步地，所述盖板上设置有盖板通孔，所述销轴可滑动地设置在所述盖板通孔中；所述微波传输装置包括升降组件，所述升降组件包括提升部分及第一弹簧，所述提升部分安装在所述冷却腔体上，并与所述销轴连接，用于使得所述销轴朝远离所述波导的方向运动；
所述第一弹簧一端与所述冷却腔体连接，另一端与所述销轴连接，用于使得所述销轴朝靠近所述波导的方向运动。
[0008]进一步地，其中一个所述水管接口处设置有阀门，所述阀门包括阀杆；所述微波传输装置还包括自动控制组件，所述自动控制组件包括连杆和移动杆；所述移动杆一端与所述销轴固定连接，所述连杆一端与所述移动杆铰接，另一端与所述阀杆铰接；所述销轴朝远离所述波导的方向移动时，能够通过所述自动控制组件带动所述阀杆转动，使得所述阀门开度变小；所述销轴朝靠近所述波导的方向移动时，所述自动控制组件能够带动所述阀杆转动，使得所述阀门开度变大。
[0009]进一步地，所述移动杆为可弯曲变形的柔性杆，所述阀杆的摆动角度为90
°
。
[0010]进一步地，所述提升部分包括安装板、拉绳、转轴及锁定结构，所述安装板与所述冷却腔体固定连接，所述转轴与所述安装板可转动连接，所述拉绳的一端缠绕在所述转轴上，另一端与所述销轴连接；所述锁定结构用于锁定所述转轴。
[0011]进一步地，所述锁定结构包括锁钩及锁定盘，所述锁定盘套设连接在所述转轴上；所述锁钩的一端与所述安装板连接，另一端用于与所述锁定盘可拆卸连接；所述转轴上还套设有第二弹簧，所述第二弹簧一端与所述安装板抵接，另一端与所述转轴连接；所述第二弹簧用于使得所述锁定盘抵接于所述锁钩上。
[0012]进一步地，所述锁定盘上设置有多个锥形孔，所述多个锥形孔均匀环绕在所述锁定盘的中心；所述锁钩的端部设置有锥形尖端，所述锥形尖端能够与对应的所述锥形孔配合。
[0013]进一步地，所述销轴设置有限位件，所述限位件用于限制所述销轴的两个极限位置；所述限位件与所述波导抵接时，所述销轴伸入到所述波导内的长度为所述波导内腔高度的1/2；所述限位件与所述冷却腔体抵接时，所述销轴伸入到所述波导内的长度为0。
[0014]一种微波等离子体设备，包括微波源及所述的微波传输装置，所述微波源与所述波导连接。
[0015]本专利技术的有益效果是：本专利技术通过上述设计得到的微波传输装置及微波等离子体设备，使用时，将两个水管接口分别与进水管和出水管连接。冷却水通过进水管进入到冷却腔体中后，其能够在冷却腔体中流动，并能够在水流通道中流动；最终通过出水管流出。上述设计使得冷却水在流动过程中，不仅能够将销轴表面的热量带走，还能够将销轴内部的热量带走，从而实现销轴整体的降温。由于有效降低了销轴的温度，因此，上述微波传输装置的传输稳定性更高。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本专利技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根
据这些附图获得其他相关的附图。
[0017]图1是本专利技术实施方式提供的微波传输装置的结构示意图；图2是本专利技术实施方式提供的图1中A
‑
A的剖视图。
[0018]图3是本专利技术实施方式提供的锁定盘在图1中的左视图；图标：100
‑
微波传输装置；110
‑
波导；120
‑
冷却组件；121
‑
冷却腔体；1211
‑
进水腔；1212
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出水腔；122
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隔板；123
‑
盖板；130
‑
销轴；131
‑
限位件；132
‑
水流通道； 141
‑
提升部分；1411
‑
安装板；1412
‑
拉绳；1413
‑
转轴；1414
‑
锁钩；1415
‑
锁定盘；1416
‑
锥形孔；1417
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第二弹簧；142
‑
第一弹簧；150
‑
进水管；160
‑
阀杆；170
‑
出水管；180
‑
自动控制组件；182
‑
连杆；184
‑
移动杆；190
‑
导流管。
具体实施方式
[0019]为使本专利技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施方式中的附图，对本专利技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0020]在本专利技术的描述中，需要理解的是，指示方位或位置关系的术语为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0021]除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微波传输装置，其特征在于，包括：波导，所述波导为矩形管结构，所述波导上设置有波导通孔；冷却组件，所述冷却组件包括冷却腔体，所述冷却腔体一端与所述波导的管壁密封连接，并罩设在所述波导通孔上，另一端设置有盖板；所述冷却腔体上设置有两个水管接口；销轴，所述销轴可滑动地设置在所述波导通孔中，并能够相对于所述波导通孔固定；所述销轴与所述波导通孔的内壁密封配合；所述销轴上设置有水流通道，所述水流通道包括进水口和出水口；所述进水口和所述出水口均位于所述冷却腔体的内腔中；升降组件，所述升降组件安装在所述冷却腔体上，并与所述销轴连接，用于使得所述销轴沿所述波导通孔滑动。2.根据权利要求1所述的微波传输装置，其特征在于：所述冷却组件还包括隔板，所述隔板设置在所述冷却腔体中，将所述冷却腔体的内腔隔开形成相互独立的进水腔和出水腔；所述两个水管接口分别设置在所述进水腔和所述出水腔的外壁上；所述隔板上设置有隔板通孔，所述销轴可滑动地设置在所述隔板通孔中；所述进水口位于所述进水腔内，所述出水口位于所述出水腔内；所述出水口设置有螺旋形导流管。3.根据权利要求1或2所述的微波传输装置，其特征在于：所述盖板上设置有盖板通孔，所述销轴可滑动地设置在所述盖板通孔中；所述升降组件包括提升部分及第一弹簧，所述提升部分安装在所述冷却腔体上，并与所述销轴连接，用于使得所述销轴朝远离所述波导的方向运动；所述第一弹簧一端与所述冷却腔体连接，另一端与所述销轴连接，用于使得所述销轴朝靠近所述波导的方向运动。4.根据权利要求3所述的微波传输装置，其特征在于：其中一个所述水管接口处设置有阀门，所述阀门包括阀杆；所述微波传输装置还包括自动控制组件，所述自动控制组件包括连杆和移动杆；所述移动杆一端与所述销轴固定连接，所述连杆一端与所述移动杆铰接，另一端与所述阀杆铰...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈森林，李俊宏，李东亚，
申请(专利权)人：成都纽曼和瑞微波技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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