下载一种微波传输装置及微波等离子体设备的技术资料

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本发明提供了一种微波传输装置及微波等离子体设备,属于微波传输领域。上述微波传输装置包括波导、冷却组件及销轴,波导为矩形管结构,波导上设置有波导通孔。冷却组件包括冷却腔体,冷却腔体一端与波导的管壁密封连接,并罩设在波导通孔上,另一端设置有盖板...
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