本实用新型专利技术提供了一种反应腔装置及微波等离子体气相沉积系统，属于微波等离子体领域。上述反应腔装置包括反应腔壳体，反应腔壳体一端设置有调节组件另一端设置有封堵组件；或者，反应腔壳体的两端均设置有调节组件。调节组件包括滑块，滑块滑动插接在反应腔壳体内，并能够被固定于预设位置；反应腔壳体内能够形成密闭腔体。使用时，先将封堵组件打开，并将待镀膜杆件放入到反应腔壳体内。然后通过适当移动调节组件的滑块来调整反应腔壳体内的长度空间，从而使得反应腔壳体内部空间与待镀膜杆件的长度相适应。上述调节组件的设置，使得反应腔装置能够在一定范围内适应不同长度的待镀膜杆件，提高了其使用范围。提高了其使用范围。提高了其使用范围。
【技术实现步骤摘要】
一种反应腔装置及微波等离子体气相沉积系统
[0001]本技术涉及微波等离子体设备领域，具体而言，涉及一种反应腔装置及微波等离子体气相沉积系统。
技术介绍
[0002]微波气相等离子体沉积系统是利用微波在真空腔腔体中进行放电，从而将反应气中的碳元素沉积到待镀膜表面形成金刚石镀膜。而现有的真空腔腔体一般尺寸固定，难以适应不同长度的杆状待镀膜件。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种反应腔装置，其反应腔壳体内部空间可以根据实际需要调节，从而适应不同长度的待镀膜杆件。
[0004]本技术的另一目的在于提供一种微波等离子体气相沉积系统，其采用了上述反应腔装置。
[0005]本技术是这样实现的：
[0006]一种反应腔装置，包括反应腔壳体，所述反应腔壳体一端设置有调节组件另一端设置有封堵组件；或者，所述反应腔壳体的两端均设置有调节组件；
[0007]所述调节组件包括滑块，所述滑块滑动插接在所述反应腔壳体内，并能够被固定于预设位置；所述反应腔壳体内能够形成密闭腔体。
[0008]进一步地，所述调节组件还包括套筒、端盖和内筒；
[0009]所述套筒套设在所述滑块上，所述套筒一端与所述反应腔壳体端部连接，另一端与所述端盖连接；
[0010]所述内筒一端与所述端盖密封连接，另一端与所述滑块密封连接；所述内筒轴向可伸缩。
[0011]进一步地，所述调节组件还包括外筒，所述外筒设置在所述套筒内，并套设在所述内筒上；所述外筒一端与所述端盖密封连接，另一端与所述反应腔壳体端部连接。
[0012]进一步地，所述内筒为轴向可压缩的弹性筒。
[0013]进一步地，所述反应腔壳体的两端均设置有所述调节组件；
[0014]所述反应腔装置还包括拉动组件，所述拉动组件包括卷筒及两根拉绳，所述卷筒分别通过两个拉绳与两个所述滑块连接，所述卷筒收绳时，所述滑块能够相互远离。
[0015]进一步地，至少一个所述调节组件处设置有进气组件；
[0016]所述进气组件包括分气盘及进气管，所述分气盘与对应所述调节组件的滑块外端面连接，所述分气盘上设置有多个气孔，对应的滑块上设置有多个气道，所述多个气道与所述反应腔壳体内腔连通，并分别与所述多个气孔连通；
[0017]所述进气管可滑动地穿过对应所述调节组件端盖中部，所述进气管的内端设置有分气罩，所述分气罩罩设在所述分气盘上形成气体缓存空间；所述进气管与所述气体缓存
空间连通。
[0018]进一步地，所述分气罩中部设置有通孔，所述通孔靠近所述分气盘的一端设置有倒角，另一端与所述进气管连通；
[0019]所述分气盘的中部设置有锥形凸部，所述锥形凸部的端部位于所述通孔内，所述锥形凸部的锥形面与所述倒角的内面间隙设置。
[0020]进一步地，所述滑块的内端面上设置有安装筒，所述安装筒一端密封设置有安装板，另一端与所述滑块密封连接；所述安装板的外端面用于固定待镀膜杆件；
[0021]所述安装筒内还设置有进水管，所述进水管一端与所述滑块的内端面连接，另一端与所述安装板间隙设置；所述进水管的外圆周面与所述安装筒的内圆周面之间形成水流夹层；
[0022]所述滑块上还设置有进水通道及出水通道，所述进水通道与所述进水管连通，所述出水通道与所述水流夹层连通。
[0023]进一步地，所述封堵组件包括拆卸杆；所述拆卸杆与所述反应腔壳体可拆卸连接，所述拆卸杆的内端端面设置有固定筒，所述固定筒用于固定待镀膜杆件。
[0024]一种微波等离子体气相沉积系统，包括微波源、微波传输组件及所述的反应腔装置，所述微波源通过所述微波传输组件与所述反应腔装置连接。上述微波源及微波传输组件均可以直接采用现有技术中的结构。
[0025]本技术的有益效果至少包括以下方面：
[0026]上述设计得到的反应腔装置及微波等离子体气相沉积系统，使用时，先将封堵组件打开，并将待镀膜杆件放入到反应腔壳体内。然后通过适当移动调节组件的滑块来调整反应腔壳体内的长度空间，从而使得反应腔壳体内部空间与待镀膜杆件的长度相适应。上述调节组件的设置，使得反应腔装置能够在一定范围内适应不同长度的待镀膜杆件，提高了其使用范围。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0028]图1是本技术实施例1提供的反应腔装置立体图；
[0029]图2是本技术实施例1提供的反应腔装置的剖视图；
[0030]图3是本技术实施例1提供的图3的局部放大图；
[0031]图4是本技术实施例2提供的反应腔装置的立体图；
[0032]图5是本技术实施例2提供的反应腔装置的剖视图。
[0033]图标：100
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反应腔装置；110
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反应腔壳体；112
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矩形板；120
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调节组件；121
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套筒；122
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端盖；123
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内筒；124
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外筒；125
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滑块；1251
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滑块本体；1252
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端部板；126
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安装筒；127
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进水管；128
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冷却水管；129
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圆形板；130
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进气组件；131
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分气盘；132
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进气管；133
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分气罩；134
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锥形凸部；140
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封堵组件；141
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拆卸杆；142
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固定筒；143
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圆形筒；150
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中部筒；160
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移动筒；170
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拉动组件；171
‑
卷筒；172
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拉绳；173
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定滑轮；180
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升降杆；190
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输入波导；200
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待
镀膜杆件。
具体实施方式
[0034]本申请中，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。
[0035]实施例1：
[0036]请参考图1
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图2，本实施例提供了一种反本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种反应腔装置，其特征在于，包括反应腔壳体，所述反应腔壳体一端设置有调节组件另一端设置有封堵组件；或者，所述反应腔壳体的两端均设置有调节组件；所述调节组件包括滑块，所述滑块滑动插接在所述反应腔壳体内，并能够被固定于预设位置；所述反应腔壳体内能够形成密闭腔体。2.根据权利要求1所述的反应腔装置，其特征在于，所述调节组件还包括套筒、端盖和内筒；所述套筒套设在所述滑块上，所述套筒一端与所述反应腔壳体端部连接，另一端与所述端盖连接；所述内筒一端与所述端盖密封连接，另一端与所述滑块密封连接；所述内筒轴向可伸缩。3.根据权利要求2所述的反应腔装置，其特征在于，所述调节组件还包括外筒，所述外筒设置在所述套筒内，并套设在所述内筒上；所述外筒一端与所述端盖密封连接，另一端与所述反应腔壳体端部连接。4.根据权利要求2所述的反应腔装置，其特征在于，所述内筒为轴向可压缩的弹性筒。5.根据权利要求4所述的反应腔装置，其特征在于，所述反应腔壳体的两端均设置有所述调节组件；所述反应腔装置还包括拉动组件，所述拉动组件包括卷筒及两根拉绳，所述卷筒分别通过两个拉绳与两个所述滑块连接，所述卷筒收绳时，所述滑块能够相互远离。6.根据权利要求1所述的反应腔装置，其特征在于，至少一个所述调节组件处设置有进气组件；所述进气组件包括分气盘及进气管，所述分气盘与对应所述调节组件的滑块外端面连接，所述分气盘上设置有多个气孔，对应的滑块上设置有多个气道...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄春林，陈森林，李俊宏，季宇，
申请(专利权)人：成都纽曼和瑞微波技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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