一种新材料反应装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于材料科学设备技术领域，具体涉及一种新材料反应装置，其包括：水平设置的管状的石英腔体，在所述石英腔体内的底面上设置有长直的座板，所述座板靠近所述进料盖的一侧滑动连接有第一移动板，和/或所述座板靠近所述观察窗的一侧滑动连接有第二移动板；套设在所述石英腔体外的谐振腔；装置外壁；连通所述进气管接口的进气装置；以及连通所述石英腔体靠近所述观察窗一端的抽气装置。基于本实用新型专利技术，通过第一移动板的抽取和插入，可以方便的放入沿着石英腔体长度方向布置的各个原料载台，和/或通过第二移动板的抽取和插入，可以方便的放入沿着石英腔体长度方向布置的各基片。基片。基片。

【技术实现步骤摘要】
一种新材料反应装置


[0001]本技术属于材料科学设备
，具体涉及一种新材料反应装置。

技术介绍

[0002]目前制备二维新材料的方法主要分为机械法、液相法、物理气相沉积法和化学气相沉积法。现有技术中，例如实验室合成用的设备有微波等离子体化学气相沉积装置。该类装置多为长直的管状，为提高效率，可沿着装置的长度方向放入多个基片。基片数量越多，放入和取出的操作就越麻烦。因此，有必要解决这个问题，以提高效率。

技术实现思路

[0003]为解决现有技术的不足，本技术提供了一种新材料反应装置。
[0004]本技术所提供的技术方案如下：
[0005]一种新材料反应装置，包括：
[0006]水平设置的管状的石英腔体，所述石英腔体的一端转动连接有进料盖，其上设置有进气管接口，所述石英腔体的另一端转动连接有观察窗，在所述石英腔体内的底面上设置有长直的座板，所述座板靠近所述进料盖的一侧滑动连接有第一移动板，和/或所述座板靠近所述观察窗的一侧滑动连接有第二移动板，所述第一移动板上依次设置有第一原料载台和第二原料载台，所述第二移本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新材料反应装置，其特征在于，包括：水平设置的管状的石英腔体(4)，所述石英腔体(4)的一端转动连接有进料盖(14)，其上设置有进气管接口，所述石英腔体(4)的另一端转动连接有观察窗(5)，在所述石英腔体(4)内的底面上设置有长直的座板(15)，所述座板(15)靠近所述进料盖(14)的一侧滑动连接有第一移动板，和/或所述座板(15)靠近所述观察窗(5)的一侧滑动连接有第二移动板(17)，所述第一移动板上依次设置有第一原料载台(11)和第二原料载台(10)，所述第二移动板(17)上依次设置有若干基片(9)；套设在所述石英腔体(4)外的谐振腔(12)，在所述谐振腔(12)的外壁上沿着所述谐振腔(12)的长度方向设置有若干微波源(13)；装置外壁(3)，用于固定所述石英腔体(4)和所述谐振腔(12)；连通所述进气管接口的进气装置；以及连通所述石英腔体(4)靠近所述观察窗(5)一端的抽气装置。2.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚勇，吴田，李杰，陈功轩，
申请(专利权)人：湖北第二师范学院，
类型：新型
国别省市：