用于板式PECVD的铝杯及板式PECVD设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于板式PECVD的铝杯及板式PECVD设备，其中，用于板式PECVD的铝杯包括：主体，所述主体形成为中空的圆柱体，所述主体的一端沿所述主体的周向设置有用于容纳密封圈的环形槽；环形挡边，所述环形挡边在所述一端沿所述主体的内径设置且沿所述主体的轴向延伸。根据本实用新型专利技术的用于板式PECVD的铝杯，能够避免由于微波的作用造成的密封圈烧坏漏气，提升了电池片的良品率，减少了设备故障，降低了更换备件的成本。

【技术实现步骤摘要】
用于板式PECVD的铝杯及板式PECVD设备
本技术涉及太阳能电池领域，具体涉及一种用于板式PECVD的铝杯及板式PECVD设备。
技术介绍
板式PECVD(等离子体增强化学气相沉积)设备的作用是通过石英管内发出微波电离氨气和硅烷进而生成氮化硅膜沉积在硅片上，从而完成对硅片的镀膜，石英管安装在铝杯上，由于微波的作用常常会出现铝杯上密封圈烧坏的情况，造成设备漏气，影响电池片的良品率，增加了更换备件的成本。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供一种用于板式PECVD的铝杯及板式PECVD设备，能够避免由于微波的作用造成的密封圈烧坏漏气，提升了电池片的良品率，减少了设备故障，降低了更换备件的成本。为解决上述技术问题，一方面，本技术提供一种用于板式PECVD的铝杯，包括：主体，所述主体形成为中空的圆柱体，所述主体的一端沿所述主体的周向设置有用于容纳密封圈的环形槽；环形挡边，所述环形挡边在所述一端(上述所述主体的一端，即沿所述主体的周向设置有用于容纳密封圈的环形槽的一端)沿所述主体的内径设置且沿所述主体的轴向延伸。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于板式PECVD的铝杯，其特征在于，包括：/n主体，所述主体形成为中空的圆柱体，所述主体的一端沿所述主体的周向设置有用于容纳密封圈的环形槽；/n环形挡边，所述环形挡边在所述一端沿所述主体的内径设置且沿所述主体的轴向延伸。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于板式PECVD的铝杯，其特征在于，包括：
主体，所述主体形成为中空的圆柱体，所述主体的一端沿所述主体的周向设置有用于容纳密封圈的环形槽；
环形挡边，所述环形挡边在所述一端沿所述主体的内径设置且沿所述主体的轴向延伸。


2.根据权利要求1所述的用于板式PECVD的铝杯，其特征在于，所述环形挡边为金属制件。


3.根据权利要求1所述的用于板式PECVD的铝杯，其特征在于，所述环形挡边与所述主体一体形成。


4.根据权利要求1所述的用于板式PECVD的铝杯，其特征在于，所述环形挡边在所述主体的轴向上突出所述环形槽的开口3-5mm。


5.根据权利要求1所述的用于板式PECVD的铝杯，其特征在于，所述环形槽的开口至少一侧壁设置有凹口，以方便拆卸所述密封圈。


6.根据权利要求1所述的用于板式PECVD的铝杯...

【专利技术属性】
技术研发人员：白进谦，郑伟，赵阳，
申请(专利权)人：晶澳太阳能有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13