一种无仓门式微波等离子化学气相沉积系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种无仓门式微波等离子化学气相沉积系统，包括上下分离式腔体与升降托架，上下分离式腔体包括上腔体以及位于上腔体下方的下腔体，上腔体与下腔体采用胶圈密封对接。升降托架在上腔体需要打开时，用于将上腔体抬升从下腔体上分离开，升降托架在上腔体需要闭合时，将上腔体盖合在下腔体上。相比于现有的微波等离子化学气相沉积系统，该系统取消了开合取样的仓门，改为抬升上腔体获得开放空间形式。使得放置样品的升降基台从非常狭窄、局促的空间变为开放式空间，大大方便了样品的取放。活动的空间大大增强，不在局限于仓门狭小的通道，使腔体能够彻底清理干净，且非常易于操作，减少了大量人力与污染几率，提高成品良率。

【技术实现步骤摘要】
一种无仓门式微波等离子化学气相沉积系统
本技术涉及化学气相沉积系统
，尤其是涉及一种无仓门式微波等离子化学气相沉积系统。
技术介绍
国际已经形成公认，使用圆柱式微波等离子化学气相沉积技术可以获得高品质纯净金刚石，可以用于制造人工钻石和电子级金刚石材料，但是目前的圆柱式微波等离子化学气相沉积系统均在圆柱式工艺腔体侧面设置仓门以便于取放样品。参照图1，目前普遍使用的圆柱式微波等离子化学气相沉积系统由微波发射源33，传输模块32(含环形器、水负载、三销钉匹配器等)，耦合天线31，滑动活塞34，转换腔体3，工艺腔体20，升降基台4组成。在工作时，从工艺腔的侧面开孔设置的仓门5取放样品，放置好后再合上仓门并锁紧。其工艺过程是：抽真空，输入工艺气体，启动微波发射源33，高能微波将工艺气体电离形成稳定等离子，离化后的气体在样品表面沉积生长，生长达到一定厚度时，关闭微波发射源33，停止输入工艺气体，再对工艺腔内充气，达到大气压力后，再从工艺腔侧面打开仓门5取样生长完成的样品。上述中的现有技术方案存在以下缺陷：由于微波系统的特殊性，圆柱形的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种无仓门式微波等离子化学气相沉积系统，其特征在于：包括上下分离式腔体与升降托架(2)，所述上下分离式腔体包括上腔体(11)以及位于所述上腔体(11)下方的下腔体(12)，所述上腔体(11)与所述下腔体(12)采用胶圈密封对接；/n所述升降托架(2)在所述上腔体(11)需要打开时，用于将所述上腔体(11)从所述下腔体(12)上分离开，所述升降托架(2)在所述上腔体(11)需要闭合时，用于将所述上腔体(11)盖合在所述下腔体(12)上。/n

【技术特征摘要】
1.一种无仓门式微波等离子化学气相沉积系统，其特征在于：包括上下分离式腔体与升降托架(2)，所述上下分离式腔体包括上腔体(11)以及位于所述上腔体(11)下方的下腔体(12)，所述上腔体(11)与所述下腔体(12)采用胶圈密封对接；
所述升降托架(2)在所述上腔体(11)需要打开时，用于将所述上腔体(11)从所述下腔体(12)上分离开，所述升降托架(2)在所述上腔体(11)需要闭合时，用于将所述上腔体(11)盖合在所述下腔体(12)上。


2.根据权利要求1所述的一种无仓门式微波等离子化学气相沉积系统，其特征在于：所述升降托架(2)包括执行机构与支架(22)，所述支架(22)的一侧与所述上腔体(11)的外侧壁固定连接，所述执行机构用于驱动所述支架(22)从而带动所述上腔体(11)上下移动。


3.根据权利要求2所述的一种无仓门式微波等离子化学气相沉积系统，其特征在于：所述执行机构配置为气缸(21)，所述气缸(21)的推杆的顶端设置有支撑块(23)，所述支撑块(23)的上方设置有驱动板(24)，所述驱动板(24)固定在所述支架(22)上，所述支撑块(23)与所述驱动板(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱振龙，
申请(专利权)人：上海昇泓科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31