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本实用新型涉及一种无仓门式微波等离子化学气相沉积系统，包括上下分离式腔体与升降托架，上下分离式腔体包括上腔体以及位于上腔体下方的下腔体，上腔体与下腔体采用胶圈密封对接。升降托架在上腔体需要打开时，用于将上腔体抬升从下腔体上分离开，升降托架在...
该专利属于上海昇泓科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海昇泓科技有限公司授权不得商用。

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