微振动部件、光偏转器和成像设备制造技术

本发明专利技术提供一种能够抑制角速度的波动的共振型微振动部件，具体地说提供一种微振动部件，该微振动部件为一种套装微振动部件，其中存在着基准振动模式和偶数振动模式，所述基准振动模式是基准频率的特征振动模式，所述偶数振动模式是频率近似为基准频率的偶数倍的特征振动模式。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种属于微结构
的微振动部件，具体地说涉 及一种适合于光偏转器的微振动部件，和使用该微振动部件的光偏转 器。此外，本专利技术涉及一种成像设备，例如使用该光偏转器的扫描型 显示器、激光束打印机、数字复印机。
技术介绍
迄今为止，已经提出共振驱动反射镜的各种光偏转器。通常，与 使用例如多角镜的多角旋转镜的光扫描光学系统相比，共振型光偏转 器的特征在于，可以在很大程度上使光偏转器小型化，并且可以减少 其耗费功率，以及理论上不存在面混乱(face tangle)，特别地，包 含通过半导体加工工艺制造的硅单晶的光偏转器理论上没有金属疲 劳，并且耐用性优异(见日本专利申请特许公开No.S57 - 8520 ),同时，在共振型反射镜中，有一个问题是因为反射镜的扫描角原 则上按正弦方式变化，因此角速度不是常量。为校正本特征，已经提 出几种方法。例如，在日本专利申请特许公开]\0.119-230276、 H9 - 230277、 H9 ■ 230278、以及H9 - 230279中， 一种反正弦透镜被用作成像光学 系统(成像透镜)，因此在被扫描表面上实现等速扫描。此外，在日本专利本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微振动部件，包含：支撑部分；可移动系统，所述可移动系统包括第一可移动元件、将所述第一可移动元件连接到所述支撑部分以使得所述第一可移动元件能够围绕振动轴振动的第一扭力弹簧、第二可移动元件、将所述第二可移动元件连接到所述第一可移动元件以使得所述第二可移动元件能够围绕所述振动轴振动的第二扭力弹簧；用于使所述第一可移动元件和第二可移动元件围绕所述振动轴振动的驱动部分；以及用于控制所述驱动部分的驱动控制部分，其中，所述可移动系统具有基准振动模式和偶数振动模式，所述基准振动模式是基准频率的特征振动模式，所述偶数振动模式是频率为基准频率的１．９８ｎ倍或更高～２．０２ｎ倍或更低的特征振动模式，其中ｎ为１或...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：安田进，岛田康弘，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]