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微振动部件、光偏转器和成像设备制造技术
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文档序号:2753044
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本发明提供一种能够抑制角速度的波动的共振型微振动部件,具体地说提供一种微振动部件,该微振动部件为一种套装微振动部件,其中存在着基准振动模式和偶数振动模式,所述基准振动模式是基准频率的特征振动模式,所述偶数振动模式是频率近似为基准频率的偶数倍...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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