本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，尤其为一种便于更换卡具的电子枪蒸镀装置，包括蒸镀框体，所述蒸镀框体的一侧固定有控制柜，且蒸镀框体的正面一侧安装有密封盖板，所述蒸镀框体的内部中上端位置固定有支撑顶板，且支撑顶板的内部两侧均安装有电子枪体，所述支撑顶板的顶部正上方安装有保护罩，且保护罩的内部固定有离子源，所述保护罩的底部位置安装有遮挡罩，本实用新型专利技术中，通过设置的短杆、第二弹簧、凸块和卡块，当单一卡具发生受损时，受牵引作用后的短杆在克服第二弹簧的回弹作用力后，使得凸块与卡块之间实现分离，后期该装置只需借助向外抽拉的方式，即可实现对单一卡具的拆卸操作，后期进行更换操作将会更加便捷。后期进行更换操作将会更加便捷。后期进行更换操作将会更加便捷。
【技术实现步骤摘要】
一种便于更换卡具的电子枪蒸镀装置
[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体为一种便于更换卡具的电子枪蒸镀装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜技术是一项应用范围很广的先进技术，中国的真空镀膜技术是从20世纪60年底开始发展的，从模仿设计、自行研制到技术引进，并在技术引进的基础上促进了自行研制的和发展，并且在进行真空镀膜操作时，电子枪蒸镀装置是常使用到的一种镀膜设置。
[0003]市面上的电子枪蒸镀装置在通过对称卡具的方式定位产品，实现对应的镀膜操作时，单一卡具的不便于拆卸，极其容易增大后期进行更换操作时的困难度，并且在进行镀膜过程中，受环境因素的干扰，薄膜沉积的质量无法得到保障。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种便于更换卡具的电子枪蒸镀装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种便于更换卡具的电子枪蒸镀装置，包括蒸镀框体，所述蒸镀框体的一侧固定有控制柜，且蒸镀框体的正面一侧安装有密封盖板，所述蒸镀框体的内部中上端位置固定有支撑顶板，且支撑顶板的内部两侧均安装有电子枪体，所述支撑顶板的顶部正上方安装有保护罩，且保护罩的内部固定有离子源，所述保护罩的底部位置安装有遮挡罩，且遮挡罩通过固定套环和保护罩的底部螺旋连接，所述支撑顶板的底部中端活动连接有竖向轴，且竖向轴的外端通过套管套接安装有翻转板，所述翻转板的中部位置固定有支撑板，且支撑板的顶部两侧均安装有定位杆，所述定位杆的中部位置契合插接有定位支架，且定位支架的一侧焊接有半圆卡具，所述支撑板的一侧位置固定有第一弹簧，且支撑板的底部固定有卡块，所述卡块的外端开设有凹槽，且卡块的底部契合连接有凸块，所述凸块的底部固定有短杆，且短杆的中下端位置交错连接有限位套环，所述短杆的外端套接有第二弹簧。
[0007]优选的，所述蒸镀框体通过内部中设有的行走机构和电子枪体滑动连接，且蒸镀框体通过内部中设有的旋转机构和竖向轴的底端固定连接。
[0008]优选的，所述密封盖板通过合页和蒸镀框体活动连接，且蒸镀框体通过短管和蒸汽送入系统相接通。
[0009]优选的，所述保护罩通过内嵌和蒸镀框体固定连接，且保护罩和离子源的连接构成嵌套结构，所述保护罩的底部正下方设置有外形呈喇叭口状结构的遮挡罩，且遮挡罩通过一体成型设置和固定套环固定连接。
[0010]优选的，所述半圆卡具的一侧固定有外形呈“L”型结构的定位支架，所述定位支架的顶部一侧和第一弹簧固定连接，且定位支架通过中空槽体和支撑板的连接构成交错结构，所述支撑板通过卡块、凹槽和支撑板卡合连接，且支撑板通过一次性切削加工和凹槽固
定连接，所述卡块的底部契合连接有外形呈球状结构的凸块，且凸块的底部和第二弹簧的顶部固定连接，所述凸块通过短杆和第二弹簧的连接构成弹性结构，且第二弹簧通过中空槽体和支撑板内嵌连接。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、本技术中，通过设置的短杆、第二弹簧、凸块和卡块，当单一卡具发生受损时，受牵引作用后的短杆在克服第二弹簧的回弹作用力后，使得凸块与卡块之间实现分离，后期该装置只需借助向外抽拉的方式，即可实现对单一卡具的拆卸操作，后期进行更换操作将会更加便捷；
[0013]2、本技术中，通过设置的固定套环、保护罩和离子源，结合在固定套环的固定连接配合下，受到保护罩隔离保护的离子源将会利用气体放电产生等离子，并被引出成束，来辅助产品的镀膜操作，并且通过在镀膜过程中采用CCR辅助离子源系统，可改善镀膜环境，提升薄膜沉积质量。
附图说明
[0014]图1为本技术整体结构示意图；
[0015]图2为本技术半圆卡具安装结构示意图；
[0016]图3为本技术图2的A处结构示意图。
[0017]图中：1-蒸镀框体、2-控制柜、3-密封盖板、4-支撑顶板、5-电子枪体、6-保护罩、7-离子源、8-遮挡罩、9-固定套环、10-竖向轴、11-翻转板、12-支撑板、13-定位杆、14-定位支架、15-半圆卡具、16-第一弹簧、17-卡块、18-凹槽、19-凸块、20-短杆、21-限位套环、22-第二弹簧。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：
[0020]一种便于更换卡具的电子枪蒸镀装置，包括蒸镀框体1，蒸镀框体1的一侧固定有控制柜2，且蒸镀框体1的正面一侧安装有密封盖板3，蒸镀框体1的内部中上端位置固定有支撑顶板4，且支撑顶板4的内部两侧均安装有电子枪体5，支撑顶板4的顶部正上方安装有保护罩6，且保护罩6的内部固定有离子源7，保护罩6的底部位置安装有遮挡罩8，且遮挡罩8通过固定套环9和保护罩6的底部螺旋连接，支撑顶板4的底部中端活动连接有竖向轴10，且竖向轴10的外端通过套管套接安装有翻转板11，翻转板11的中部位置固定有支撑板12，且支撑板12的顶部两侧均安装有定位杆13，定位杆13的中部位置契合插接有定位支架14，且定位支架14的一侧焊接有半圆卡具15，支撑板12的一侧位置固定有第一弹簧16，且支撑板12的底部固定有卡块17，卡块17的外端开设有凹槽18，且卡块17的底部契合连接有凸块19，凸块19的底部固定有短杆20，且短杆20的中下端位置交错连接有限位套环21，短杆20的外端套接有第二弹簧22。
[0021]蒸镀框体1通过内部中设有的行走机构和电子枪体5滑动连接，且蒸镀框体1通过内部中设有的旋转机构和竖向轴10的底端固定连接，伴随着在27套卡具的配合下，多个所需加工的产品被投放到蒸镀框体1的内部，当整个装置处于工作状态且蒸汽持续通过蒸镀框体1底部安置的短管持续被送入真空箱体的内部时，在行走机构的驱动配合下，实现上下往复动作的电子枪体5将纳米粉末快速带出，使得处于旋转状态的产品得到镀膜处理，从而实现整个产品镀膜加工，并且该项结构涉及到的电子枪蒸镀装置的工作原理为现有技术；密封盖板3通过合页和蒸镀框体1活动连接，且蒸镀框体1通过短管和蒸汽送入系统相接通，当实现蒸镀操作前，在合页构件的配合下，该装置在通过翻转的动作，在使得密封盖板3完全覆盖着蒸镀框体1的正面中部后，该装置借助完全覆盖的状态，使得蒸镀框体1的内部处于一种密封的状态；保护罩6通过内嵌和蒸镀框体1固定连接，且保护罩6和离子源7的连接构成嵌套结构，保护罩6的底部正下方设置有外形呈喇叭口状结构的遮挡罩8，且遮挡罩8通过一体成型设置和固定套环9固定连接，伴随着整个镀膜操作的顺利进行，在固定套环9的固定连接配合下，受到保护罩6隔离保护的离子源7将会利用气体放电产生等离子本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种便于更换卡具的电子枪蒸镀装置，包括蒸镀框体(1)，其特征在于：所述蒸镀框体(1)的一侧固定有控制柜(2)，且蒸镀框体(1)的正面一侧安装有密封盖板(3)，所述蒸镀框体(1)的内部中上端位置固定有支撑顶板(4)，且支撑顶板(4)的内部两侧均安装有电子枪体(5)，所述支撑顶板(4)的顶部正上方安装有保护罩(6)，且保护罩(6)的内部固定有离子源(7)，所述保护罩(6)的底部位置安装有遮挡罩(8)，且遮挡罩(8)通过固定套环(9)和保护罩(6)的底部螺旋连接，所述支撑顶板(4)的底部中端活动连接有竖向轴(10)，且竖向轴(10)的外端通过套管套接安装有翻转板(11)，所述翻转板(11)的中部位置固定有支撑板(12)，且支撑板(12)的顶部两侧均安装有定位杆(13)，所述定位杆(13)的中部位置契合插接有定位支架(14)，且定位支架(14)的一侧焊接有半圆卡具(15)，所述支撑板(12)的一侧位置固定有第一弹簧(16)，且支撑板(12)的底部固定有卡块(17)，所述卡块(17)的外端开设有凹槽(18)，且卡块(17)的底部契合连接有凸块(19)，所述凸块(19)的底部固定有短杆(20)，且短杆(20)的中下端位置交错连接有限位套环(21)，所述短杆(20)的外端套接有第二弹簧(22)。2.根据权利要求1所述的一种便于更换卡具的电子枪蒸镀装置，其特征在于：所述蒸镀框体(1)通过内部中设有的行走机...
【专利技术属性】
技术研发人员：乔建栋，黄坚，常洪兴，徐胜，
申请(专利权)人：杰莱特苏州精密仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：
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