本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，尤其为一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机，包括底座和箱体，所述底座上端面固定连接有箱体，所述箱体上端面固定连接有固定箱，所述箱体下端面内侧固定连接有支撑架，所述支撑架上端面固定连接有转动装置，所述固定箱上端面内侧左侧固定连接有升降电机，所述升降电机主轴末端固定连接有螺旋杆，所述螺旋杆下端面固定连接有支撑杆；本实用新型专利技术中，通过设置的固定壳、从动齿轮、转动轴和固定台，通过设置的六个从动齿轮可以带动转动轴转动，从而带动固定台上方的基板转动，可以使正电荷的离子均匀轰击阴极表面，使阴极表面材料原子化，从而在试样表面上形成一层均匀的薄膜，保证镀膜质量。保证镀膜质量。保证镀膜质量。
【技术实现步骤摘要】
一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机
[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体为一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机。
技术介绍
[0002]真空镀膜技术是一项应用范围很广的先进技术，中国的真空镀膜技术是从20世纪60年底开始发展的，从模仿设计、自行研制到技术引进，并在技术引进的基础上促进了自行研制的和发展，目前国内主要生产厂家有北京北仪、上海曙光机器厂、广东振华等，国外主要生产厂家有日本新科龙SHINCRON、日本光驰OPTORUN、德国莱宝Leybold Optics等。
[0003]离子溅射镀膜是在部分真空的溅射室中辉光放电，产生正的气体离子；在阴极(靶)和阳极(试样)间电压的加速作用下，正电荷的离子轰击阴极表面，使阴极表面材料原子化；形成的中性原子，从各个方向溅出，射落到试样的表面，于是在试样表面上形成一层均匀的薄膜，现有离子溅射镀膜机大多都是单基板镀膜，生产效率低，基板加热不均匀，导致镀膜质量不佳，因此，针对上述问题提出一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机，包括底座和箱体，所述底座上端面固定连接有箱体，所述箱体上端面固定连接有固定箱，所述箱体下端面内侧固定连接有支撑架，所述支撑架上端面固定连接有转动装置，所述固定箱上端面内侧左侧固定连接有升降电机，所述升降电机主轴末端固定连接有螺旋杆，所述螺旋杆下端面固定连接有支撑杆，所述支撑杆下端面与固定箱转动连接，所述螺旋杆右侧滑动连接有滑动杆，所述滑动杆右端面固定连接有转动环，所述转动环内侧固定连接有转动杆，所述转动环上下两侧均设有限位环，所述限位环内侧均与转动杆固定连接，位于下方的所述限位环下方设有转动齿轮，所述转动齿轮内侧与转动杆固定连接，所述转动齿轮下方设有滑动架，所述滑动架内侧与转动杆固定连接，所述滑动架下方设有顶环，所述顶环内侧与转动杆固定连接，所述滑动架右端面与固定箱滑动连接，所述滑动架上端面固定连接有调节电机，所述调节电机主轴末端固定连接有调节齿轮，所述调节齿轮外侧与转动齿轮啮合。
[0007]优选的，所述调节电机右侧设有限位柱，所述限位柱外侧与滑动架滑动连接，所述限位柱下端面与固定箱固定连接。
[0008]优选的，所述转动杆外侧与固定箱滑动连接，所述转动杆下端面固定连接有红外线加热管。
[0009]优选的，所述转动装置包括固定壳和转动电机，所述固定壳下端面与支撑架固定连接，所述固定壳内侧中央固定连接有转动电机，所述转动电机主轴末端固定连接有主动
齿轮，所述主动齿轮外侧啮合有均匀分布的从动齿轮，所述从动齿轮内部中央均固定连接有转动轴，所述转动轴下端面与固定壳滚动连接，所述转动轴上端面均固定连接有固定台。
[0010]优选的，所述固定壳内侧开设有均匀分布的齿牙，所述固定壳通过齿牙与从动齿轮啮合。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、本技术中，通过设置的固定壳、转动电机、主动齿轮、从动齿轮、转动轴和固定台，通过设置的六个从动齿轮可以带动转动轴转动，从而带动固定台上方的基板转动，这种设置可以使正电荷的离子均匀轰击阴极表面，使阴极表面材料原子化，从而在试样表面上形成一层均匀的薄膜，保证镀膜质量，同时这种设置可以一次加工多个试样，大大提高了工作效率；
[0013]2、本技术中，通过设置的升降电机、转动环、转动杆、转动齿轮、滑动架、调节齿轮和红外线加热管，通过升降电机的转动可以带动红外线加热管移动，从而控制与基板的间距，从而控制温度，而设置的调节电机可以带动红外线加热管转动，转动的方式可以使加热管对基板表面进行均匀加热，保证其镀膜质量。
附图说明
[0014]图1为本技术整体结构示意图；
[0015]图2为本技术固定箱剖视图；
[0016]图3为本技术转动装置结构示意图。
[0017]图中：1-底座、2-箱体、3-转动装置、301-固定壳、302-转动电机、303-主动齿轮、304-从动齿轮、305-转动轴、306-固定台、4-固定箱、5-升降电机、6-螺旋杆、7-滑动杆、8-支撑杆、9-转动环、10-限位环、11-转动杆、12-转动齿轮、13-滑动架、14-顶环、15-调节电机、16-调节齿轮、17-限位柱、18-红外线加热管、19-支撑架。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：
[0020]一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机，包括底座1和箱体2，底座1上端面固定连接有箱体2，箱体2上端面固定连接有固定箱4，箱体2下端面内侧固定连接有支撑架19，支撑架19上端面固定连接有转动装置3，固定箱4上端面内侧左侧固定连接有升降电机5，升降电机5主轴末端固定连接有螺旋杆6，螺旋杆6下端面固定连接有支撑杆8，支撑杆8下端面与固定箱4转动连接，这种设置保证螺旋杆6转动带动滑动杆7上下移动，螺旋杆6右侧滑动连接有滑动杆7，滑动杆7右端面固定连接有转动环9，转动环9内侧固定连接有转动杆11，转动环9上下两侧均设有限位环10，限位环10的设置实现对转动环9的限位，避免其与转动杆11转动获知移动，保证在滑动杆7可以带动转动环9和转动杆11上下移动，限位环10内侧均与转动杆11固定连接，位于下方的限位环10下方设有转动齿轮12，转动齿轮12内侧与转动杆
11固定连接，转动齿轮12下方设有滑动架13，滑动架13内侧与转动杆11固定连接，滑动架13下方设有顶环14，顶环14对滑动架13起到一个支撑作用，避免其变形，顶环14内侧与转动杆11固定连接，滑动架13右端面与固定箱4滑动连接，滑动架13上端面固定连接有调节电机15，调节电机15主轴末端固定连接有调节齿轮16，调节齿轮16外侧与转动齿轮12啮合。
[0021]调节电机15右侧设有限位柱17，限位柱17外侧与滑动架13滑动连接，限位柱17下端面与固定箱4固定连接，限位柱17的设置保证滑动架13稳定上下移动，转动杆11外侧与固定箱4滑动连接，转动杆11下端面固定连接有红外线加热管18，转动装置3包括固定壳301和转动电机302，固定壳301下端面与支撑架19固定连接，固定壳301内侧中央固定连接有转动电机302，转动电机302主轴末端固定连接有主动齿轮303，主动齿轮303外侧啮合有均匀分布的从动齿轮304，从动齿轮304内部中央均固定连接有转动轴305，转动轴305本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机，包括底座(1)和箱体(2)，其特征在于：所述底座(1)上端面固定连接有箱体(2)，所述箱体(2)上端面固定连接有固定箱(4)，所述箱体(2)下端面内侧固定连接有支撑架(19)，所述支撑架(19)上端面固定连接有转动装置(3)，所述固定箱(4)上端面内侧左侧固定连接有升降电机(5)，所述升降电机(5)主轴末端固定连接有螺旋杆(6)，所述螺旋杆(6)下端面固定连接有支撑杆(8)，所述支撑杆(8)下端面与固定箱(4)转动连接，所述螺旋杆(6)右侧滑动连接有滑动杆(7)，所述滑动杆(7)右端面固定连接有转动环(9)，所述转动环(9)内侧固定连接有转动杆(11)，所述转动环(9)上下两侧均设有限位环(10)，所述限位环(10)内侧均与转动杆(11)固定连接，位于下方的所述限位环(10)下方设有转动齿轮(12)，所述转动齿轮(12)内侧与转动杆(11)固定连接，所述转动齿轮(12)下方设有滑动架(13)，所述滑动架(13)内侧与转动杆(11)固定连接，所述滑动架(13)下方设有顶环(14)，所述顶环(14)内侧与转动杆(11)固定连接，所述滑动架(13)右端面与固定箱(4)滑动连接，所述滑动架(13)上端面固定连接有调节电机(15)，所述调节电机(15)主轴末端固定连接有调节齿轮(16)，所述调节齿轮...
【专利技术属性】
技术研发人员：乔建栋，黄坚，常洪兴，徐胜，
申请(专利权)人：杰莱特苏州精密仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。