提供一种既可以使光刻胶液输送成本降低，又可以避免使用按原样直接连接至现有ＬＣＤ面板生产线的昂贵的小型专用容器，并由此可以在总体上减少光刻胶液的供给成本的光刻胶液供给装置。在光刻胶液供给装置中，测定调合罐内液体的浓度和粘度中的至少一种，基于该测定结果通过调节原料液和溶剂的注入量而进行稀释控制，同时将通过稀释控制而得到的产品用光刻胶液在缓冲槽中贮存一定时间而使其稳定化。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光刻胶液供给装置、以及用于得到该光刻胶液供给装置的改造套件。更具体地，涉及用于由高浓度的原料液得到规定浓度的产品用光刻胶液，并供给该产品用光刻胶液的装置以及用于得到该光刻胶液供给装置的改造套件。
技术介绍
在彩色电视机、个人电脑、弹球盘游戏台等液晶显示器面板(以下，称为LCD面板)中，由薄膜晶体管(以下，称为TFT)液晶方式形成的TFT液晶显示器正成为主流。该TFT液晶显示器应用了称为有源矩阵方式的技术，其具有搭载了薄膜晶体管的阵列基板和用于着色的滤色片基板，并且具有在这两块基板之间封有液晶材料的液晶单元。在阵列基板和滤色片基板中，例如通过在基板上涂布光刻胶液后，曝光，显影等，而在基板上形成光刻胶膜。特别地，在滤色片基板的制造过程中，需要使用黑色和3原色的颜色光刻胶液，并分别对每种颜色反复进行涂布光刻胶液，曝光和显影等过程。然而，为了使LCD面板的发色性和对比度均一并且画质良好，优选上述阵列基板和滤色片基板没有斑点和条纹等。因而，在基板上均一地涂布光刻胶液是很重要的。其中，作为在基板上均一地涂布光刻胶液的方法，可以采用使用了旋涂机的旋涂法(参见特许文献1)。所谓旋涂法，是通过在制造装置上固定基板，在该固定的基板的中心部分滴入光刻胶液，然后高速水平旋转基板，并利用离心力在基板上分散光刻胶液的方法。根据旋涂法，即使具有高粘性的光刻胶液，也可以进行均一的涂布。此外，随着近年来LCD面板的大型化，在旋涂法中，由于作为使基板旋转装置的旋涂机不适应大型化的发展，所以使均一的涂布变得困难。此外，旋转时从基板洒落的光刻胶液很多，以及在涂布后需要进行冲洗边缘和洗涤端面的端面处理等观点考虑，期望不旋转基板的非旋转方式的涂布装置。相对于这些要求，提出了不旋转基板的非旋转方式的涂布机。本装置是一边使基板上方的狭缝喷嘴移动，一边从狭缝喷嘴向基板表面供给光刻胶液的机器，其称为狭缝涂布机(参见特许文献2)。由于狭缝涂布机的出现，解决了旋涂机中存在的上述问题，并使大型LCD面板的制造变得容易。特许文献1特开2002-196322号公报特许文献2特开2001-062370号公报专利技术要解决的课题在以往的旋涂机进行的光刻胶液涂布中，由于和离心力保持均衡，通常使光刻胶液的固体量为25％-30％左右。通过旋涂机进行的光刻胶液涂布，由于伴随着高速水平旋转，所以在光刻胶液固体量少(即低粘度)的时候，从基板上洒落的光刻胶液很多。另一方面，在狭缝涂布机中，由于可以不伴随旋转而进行涂布，所以逐渐使用固体量低的光刻胶液。即使是低粘度的光刻胶液，也可以在基板上进行均一涂布。然而，光刻胶液固体量低，导致了光刻胶液输送量的增大。也就是说，在狭缝涂布机用的光刻胶液中需要提高溶剂的配合量，因此，作为光刻胶液总体的输送量变大了。输送量的增大反映为原来输送费的增加，其结果使光刻胶液产品成本提高。此外，通常在将产品用光刻胶液交付给LCD面板等的制造商时，使用昂贵的小型专用容器。该小型专用容器可以按原样直接连至LCD面板生产线，并且处理简便，此外，还有向光刻胶液中混入异物的危险性小的优点。该小型专用容器，由于价格高所以通常在将光刻胶液交付给制造商，在制造商处使用完成以后将其回收，进行清扫等处理之后，再次进行光刻胶液的充填，可以作为所谓的循环容器使用。这种小型的专用容器，不仅其购入费用高，而且由于容器管理和回收方面的麻烦及费用问题，导致光刻胶液产品的成本很高。此外，小型专用容器在输送的时候，由于其在卡车等的空间占有率特别大而使其输送量小，所以在空间占有率方面增加了输送费。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种光刻胶液供给装置，其既可降低光刻胶液输送成本，又可避免使用按原样直接连接至现有LCD面板生产线的昂贵的小型专用容器，并由此可以在总体上减少光刻胶液的供给成本。用于解决课题的方法本专利技术者为了解决上述问题，着眼于按原样输送高浓度光刻胶液，以及且在LCD面板等的制造现场，有必要将不同预期浓度的产品用光刻胶液进行稳定后向每个产品供给，反复进行了积极研究。其结果发现，通过测定调合罐内液体浓度和粘度中的至少一种，以及基于该测定结果通过调节原料液和溶剂的注入量而进行稀释控制，同时将通过稀释控制而得到的产品用光刻胶液在缓冲槽中贮存一定时间而使其稳定化，可以解决上述问题，并最终完成了本专利技术。更具体地，本专利技术提供了如下装置。(1)一种光刻胶液供给装置，用于通过向高浓度的原料液中加入溶剂而稀释至预期浓度，从而得到规定浓度的产品用光刻胶液，并供给该产品用光刻胶液的光刻胶液，该光刻胶液供给装置具有导入前述高浓度原料液的导入部，混合搅拌向该导入部分导入的前述原料液和前述溶剂的混合搅拌部，和供给通过在该混合搅拌部中混合搅拌并调节浓度所得到的产品用光刻胶液的供给部，在前述混合搅拌部中，设置了贮存前述原料液和前述溶剂的混合液并混合搅拌的调合罐，该调合罐具有注入前述原料液和前述溶剂的注入部，和取出一部分在前述调合罐中贮存的液体将其返回调合罐的部分液体循环移送部，前述部分液体循环移送部具有检测器和流量调节器，所述检测器为测定取出的液体中光刻胶成分的浓度的浓度检测器和测定取出的液体中光刻胶成分的粘度的粘度检测器中的至少一种，所述流量调节器基于上述浓度检测器和粘度检测器中的至少一种检测器的测定值调整前述注入部中前述原料液和前述溶剂注入量，前述供给部具有接收由前述流量调节器稀释控制为预期浓度的前述调合罐内的产品用光刻胶液并使其贮存一定时间的产品用光刻胶液缓冲槽。(1)的光刻胶液供给装置，可以通过向高浓度原料液中加入溶剂而稀释至预期浓度，得到规定浓度的产品用光刻胶液，并供给该产品用光刻胶液。因此，根据本专利技术的(1)，在本专利技术光刻胶液供给装置的设置场所中，交付高浓度的光刻胶液本身而不用低浓度的产品用光刻胶液，因此可以谋求输送量的减小化。此外，由于输送高浓度的原料液，所以可以避免使用按原样直接连接至现有LCD面板生产线的小型专用容器。因此，如果用可以在(1)的光刻胶液供给装置中配管的大型容器输送，则可以减少高价小型专用容器的购买费用以及管理和回收该容器方面的麻烦和费用，同时可以减少输送中的空间占有率。此外，取出一部分贮存在调合罐中的液体，并用浓度检测器测定取出的液体光刻胶成分的浓度和/或用粘度检测器测定取出的液体光刻胶成分的粘度，可以基于该测定结果进行原料液和溶剂补加量的调节。因此，无论导入至光刻胶液供给装置的高浓度原料液浓度如何，都可以精确供给每种产品预期的产品用光刻胶液。此外，因为由原料液和溶剂注入量的调节而进行稀释控制的规定浓度的产品用光刻胶液在缓冲槽中贮存了一定时间，所以可以使产品用光刻胶液的浓度稳定化。因此，即使在原料液的制备批次之间有不一致的时候，也可以维持目标产品用光刻胶液的规定浓度。(2)根据(1)所述的光刻胶液供给装置，其中设置了多个调合罐。(2)的光刻胶液供给装置具有多个调合罐。因而，根据本专利技术的(2)，可以在调合罐中储备混合液，所以产品用光刻胶液缓冲槽内的光刻胶液即使因使用而减少，也可以很容易地进行供给。此外，即使在一个调合罐因故障或清洗工作等而无法使用时，也可以通过使用其它调合罐而使光刻胶液供给装置运行。(3)根据(1)或(2)所述的光刻胶液供给装置，其中前述调本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种光刻胶液供给装置，用于通过向高浓度的原料液中加入溶剂而稀释至预期浓度，从而得到规定浓度的产品用光刻胶液，并供给该产品用光刻胶液，所述光刻胶液供给装置具有下述部分：导入所述高浓度原料液的导入部；混合搅拌导入至该导入部的所述原料液和所述溶剂的混合搅拌部；供给在该混合搅拌部中混合搅拌并调节浓度而得到的产品用光刻胶液的供给部；在所述混合搅拌部中，设置了贮存所述原料液和所述溶剂的混合液并混合搅拌的调合罐，该调合罐具有注入所述原料液和所述溶剂的注入部；取出一部分在所述调合罐中贮存的液体，将其返回到调合罐的部分液体循环移送部；所述部分液体循环移送部具有检测器和流量调节器，所述检测器为测定取出的液体中光刻胶成分的浓度的浓度检测器和测定取出的液体中光刻胶成分的粘度的粘度检测器中的至少一种，所述流量调节器基于所述浓度检测器和粘度检测器中的至少一种检测器的测定值，调整所述注入部的所述原料液和所述溶剂的注入量；所述供给部具有接收由所述流量调节器稀释控制为预期浓度的所述调合罐内的产品用光刻胶液，并将其贮存一定时间的产品用光刻胶液缓冲槽。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：森尾公隆，青木知三郎，长谷川透，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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