光刻胶液制备方法及使用该光刻胶液的光刻胶膜技术

提供一种光刻胶液制备方法，该方法既可降低光刻胶液输送成本，又可避免使用按原样直接连接至现有ＬＣＤ面板生产线的高价小型专用容器，并由此可以在总体上减少光刻胶液的供给成本。在该光刻胶液制备方法中，测定调合罐内液体的浓度或粘度中的至少一种，基于该测定结果通过调节原料液和溶剂的注入量而进行稀释控制，同时将通过稀释控制而得到的产品用光刻胶液在缓冲槽中贮存一定时间使其稳定化。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光刻胶液制备方法以及使用该光刻胶液的光刻胶膜。更具体地，涉及由高浓度的原料液得到规定浓度的产品用光刻胶液的光刻胶液制备方法以及使用所得光刻胶液的光刻胶膜。
技术介绍
在彩色电视机、个人电脑、弹球盘游戏台等液晶显示器面板(以下，称为LCD面板)中，由薄膜晶体管(以下，称为TFT)液晶方式形成的TFT液晶显示器正成为主流。该TFT液晶显示器应用了称为有源矩阵方式的技术，其以搭载了薄膜晶体管的阵列基板和用于着色的滤色片基板为中心而构成，并且具有在这两块基板之间封有液晶材料的液晶单元。阵列基板和滤色片基板的制备步骤中，例如通过在基板上涂布光刻胶液后，曝光，显影等，在基板上形成光刻胶膜。特别地，在滤色片基板的制备步骤中，需要使用黑色和3原色的颜色光刻胶液，并分别对每种颜色反复进行涂布光刻胶液，曝光，显影等步骤。然而，为了使LCD面板的发色性和对比度均一并且画质良好，优选上述阵列基板和滤色片基板没有斑点·条纹等。因而，在基板上均一地涂布光刻胶液是很重要的。其中，作为在基板上均一地涂布光刻胶液的方法，可以采用使用旋涂机的旋涂法(参见特许文献1)。所谓旋涂法，是通过在制备装置上固定基板，在该固定的基板的中心部分滴入光刻胶液，然后高速水平旋转基板，利用产生的离心力在基板上分散光刻胶液的方法。根据旋涂法，即使具有高粘性的光刻胶液，也可以均一地涂布。此外，随着近年来LCD面板的大型化，使基板旋转的旋涂法在其装置向旋涂机的大型化适应方面产生了困难。此外，从旋转时从基板洒落的光刻胶液很多，以及在涂布后需要进行冲洗边缘和洗涤端面的端面处理等观点考虑，期望不旋转基板的非旋转而进行的涂布装置。为了满足这些要求，提出了不旋转基板的非旋转而进行的涂布机。本装置是一边使基板上方的狭缝喷嘴移动，一边从狭缝喷嘴向基板表面供给光刻胶液的机器，其称为狭缝涂布机(参见特许文献2)。由于狭缝涂布机的出现，解决了旋涂机中存在的上述课题，并使大型LCD面板的制备变得容易。特许文献1特开2002-196322号公报特许文献2特开2001-062370号公报专利技术要解决的问题在通过以往的旋涂机而进行的光刻胶液涂布中，由于和离心力保持均衡，所以光刻胶液的固体量通常为25％-30％左右。通过旋涂机进行的光刻胶液涂布，由于伴随着高速水平旋转，所以在光刻胶液固体量少(即低粘度)的情况下，从基板上洒落的光刻胶液很多。另一方面，通过狭缝涂布机，由于可以不伴随旋转而进行涂布，所以更换为光刻胶液固体量低的光刻胶液。即使是低粘度的光刻胶液，也可以在基板上均一涂布。然而，对于以往的光刻胶液，在光刻胶液生产现场的工厂中生产高浓度的原料液后，进行高浓度原料液的灵敏度调节，接着，稀释调节至每种产品不同的预期浓度，结果可以将所得规定光刻胶成分浓度的光刻胶液输送至LCD面板的制备现场。并且，通常在将产品用光刻胶液交给LCD面板等的制造商时，使用高价的小型专用容器。该小型专用容器可以按原样直接连至LCD面板生产线，并且处理简便，此外，还有向光刻胶液中混入异物的危险性小的优点。该小型专用容器价格高，所以通常在将光刻胶液交给制造商后，在制造商处回收使用过的容器，进行清扫等处理之后，再次进行光刻胶液的充填，并可以作为所谓的循环容器使用。这种小型的专用容器，不仅其购入费用高，而且容器管理和回收方面的麻烦和费用也是必然的，结果导致光刻胶液产品的成本很高。此外，小型专用容器在输送的时候，在卡车等中空间占有率特别大而其输送量小，因此从空间占有率方面其输送费也增大了。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种光刻胶液制备方法，其既可以降低光刻胶液输送成本，又可以避免使用按原样直接连接至现有LCD面板生产线的高价小型专用容器，并可以减少光刻胶液的供给总成本。用于解决问题的方法本专利技术者为了解决上述课题，着眼于按原样输送高浓度光刻胶液，并且在LCD面板等制备现场，必须稳定化后向每个产品供给不同浓度的预期浓度的产品用光刻胶液，并反复进行了积极研究。其结果发现，通过测定调合罐里液体浓度和/或粘度，基于该测定结果通过调节原料液和溶剂的注入量而进行稀释控制，同时将通过稀释控制而得到的产品用光刻胶液在缓冲槽中贮存一定时间使其稳定化，可以解决上述问题，并最终完成本专利技术。更具体地，本专利技术提供如下方法。(1)一种光刻胶液制备方法，通过向高浓度的原料液中加入溶剂而稀释至预期浓度，从而得到规定浓度的产品用光刻胶液。该方法包括混合搅拌前述高浓度原料液和前述溶剂以得到混合液的混合搅拌步骤；取出一部分前述混合液，测定该取出的混合液的光刻胶成分的浓度或粘度中的至少一种，将其返回至前述混合液中的浓度·粘度测定步骤；基于前述浓度·粘度测定步骤中得到的浓度或粘度中的至少一种的测定值，一边监视前述原料液或前述溶剂的混合量，一边将该混合液调节至预期浓度的调节步骤；和将在前述调节步骤中已调节至预期浓度的混合液贮存一定时间以使浓度稳定下来而形成产品用光刻胶液的浓度稳定化步骤。根据(1)的光刻胶液制备方法，通过向高浓度原料液中加入溶剂，可以精确地稀释至预期浓度，同时得到性质稳定的规定浓度的产品用光刻胶液。因此，例如，在LCD面板等的制备现场施行本专利技术光刻胶液制备方法，在该制备现场中，交付高浓度的光刻胶液而不是稀释后的低浓度产品用光刻胶液，由此可以谋求输送量的减小化。此外，如果在LCD面板等的制备现场施行(1)的光刻胶液制备方法，则由于输送高浓度的原料液，所以可以避免使用按原样直接连接至现有LCD面板生产线的小型专用容器。因此，如果用大型容器输送高浓度原料液，则减少了高价小型专用容器的购买费用以及该容器管理和回收方面的麻烦和费用，同时减少了输送中的空间占有率。此外，对于(1)的光刻胶液制备方法，取出一部分原料液和溶剂的混合液，测定该取出液体光刻胶成分的浓度和/或粘度，基于该测定结果可以进行原料液和溶剂补加量的调节。因此，无论使用的高浓度原料液浓度如何，都可以精确供给每种产品预期的产品用光刻胶液。此外，(1)的光刻胶液制备方法，通过将由调节步骤调节至预期浓度的混合液贮存一定时间而使其浓度稳定下来。因此，即使在制造批次之间使用不一致的原料液的时候，也可以维持目标产品用光刻胶液的规定浓度，并保持一定的质量。(2)根据(1)所述的光刻胶液制备方法，其中前述浓度·粘度测定步骤中的浓度测定是通过使用声波分析器或近红外分光分析器中的至少一种而进行的。(2)的光刻胶液制备方法中浓度测定步骤通过使用作为浓度检测器的声波分析器和/或近红外分光分析器而测定光刻胶成分的浓度。通过声波分析器和/或近红外分光分析器，可以容易地进行作为液体中固体成分的光刻胶成分和溶剂的判别。(3)根据(1)或(2)所述光刻胶液制备方法，其进一步包含，通过溶剂溶解(1)或(2)所述光刻胶液制备方法中的任意步骤所产生的前述高浓度原料液的固化物，并将其加入至前述混合液中的洗涤步骤。由于原料液光刻胶成分浓度高，因此在原料液输送管线中有原料液的固化物容易粘附的倾向。根据(3)的光刻胶液制备方法，由溶剂溶解原料液形成的固化物并除去，同时将其加入至混合液中。因此，防止了由原料液的固化物而引起的管线等的堵塞，并由此可以减少定期清洗原料液输送管线的工作，并可以实现连续运转。此外，由于溶解原料本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光刻胶液制备方法，通过向高浓度的原料液中加入溶剂而稀释至预期浓度，从而得到规定浓度的产品用光刻胶液，该方法包括如下步骤：　　　　混合搅拌所述高浓度原料液和所述溶剂以得到混合液的混合搅拌步骤；　　　　取出一部分所述混合液，测定该取出的混合液的光刻胶成分的浓度或粘度中的至少一种后，将取出的混合液返回至所述混合液中的浓度.粘度测定步骤；　　　　基于所述浓度.粘度测定步骤中得到的浓度或粘度中的至少一种的测定值，一边监视所述原料液或所述溶剂的混合量，一边将该混合液调节至预期浓度的调节步骤；　　　　将在所述调节步骤中已调节至预期浓度的混合液贮存一定时间以使浓度稳定下来而形成产品用光刻胶液的浓度稳定化步骤。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：森尾公隆，青木知三郎，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]