【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种将光致抗蚀剂材料涂覆在衬底上的装置,所述装置包括:具有一个以上装入喷嘴的喷嘴支架的盖子;设置在所述盖子下面以引导溶剂至溶剂排出构件的溶剂管道;供应溶剂到所述溶剂管道中的溶剂供应口;设置在所述喷嘴下面并构造成收集由溶剂供应口供应的溶剂和防止粉末形成在盖子或喷嘴或两者之上的第一溶剂收集器;以及连接到所述溶剂管道以收集从所述溶剂管道接收的溶剂的第二溶剂收集器,其中所述溶剂供应口设置为相比所述第二溶剂收集器更靠近所述第一溶剂收集器。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:郑宪录,金熙星,
申请(专利权)人:海力士半导体有限公司,
类型:发明
国别省市:KR[韩国]
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