放射线敏感性树脂组合物,液晶显示面板用间隔体及其形成方法,和液晶显示面板技术

本发明专利技术提供一种拥有足够的流程余裕（Ｐｒｏｃｅｓｓ　　Ｍａｒｇｉｎ），可以在１，５００Ｊ／ｍ↑［２］以下的曝光量之下得到形状完美以及足够厚度的间隔体，并持有根据压缩载荷的高度柔软性，以及优越的附着性，耐磨擦性，耐热性等，并可以形成剥离液耐受性优越的显示面板用间隔体的放射线敏感性树脂组合物。作为适用于液晶显示面板用间隔体的放射线敏感性树脂组合物，含有（Ａ）（ａ１）含乙烯性不饱和羧酸以及／或者含乙烯性不饱和羧酸酐与（ａ２）其他含乙烯性不饱和之化合物的共聚物，（Ｂ）（ｂ１）３官能以上的（甲基）丙烯酸酯类以及（ｂ２）该（ｂ１）以外的以其他含乙烯性不饱和之化合物为主要成分的聚合性化合物，以及（Ｃ）放射线敏感性聚合引发剂。

【技术实现步骤摘要】
,液晶显示面板用间隔体及其形成方法,和液晶显示面板的制作方法
本专利技术涉及放射线敏感性组合物，液晶显示面板用间隔体，液晶 显示面板用间隔体的形成方法，以及液晶显示面板，更具体而言，涉 及到作为使用于液晶显示面板以及触摸面板等的显示面板的间隔体的 形成时所使用的材料而非常适宜的，由该组 合物形成的液晶显示面板用间隔体，该液晶显示面板的形成方法，以 及具备该间隔体而形成的液晶显示面板。
技术介绍
一直以来的液晶显示面板是使用拥有固定的粒子直径的玻璃珠或塑料珠等的间隔体粒子来维持2片基板间的间隙(液晶槽的间隙)之 间有一定距离。然而由于这些间隔体粒子在玻璃基板等的透明基板上 无规则的散乱的原因，在像素形成区域中如果存在间隔体粒子，就会 发生间隔体粒子的被映出的现象，以及射入光受到散乱的影响，产生 液晶显示面板的对比度下降的问题。因此，为解决这些问题，被采用的是使用光蚀刻技术来形成间隔 体的方法。这种方法是将在基板上涂布，介 由所定的(光刻)掩膜在紫外线下瀑光后显影，形成了点状以及条紋状的 间隔体，并且可以只在^f象素形成区域以外的所定位置形成间隔体，从 而基本地解决了上述问题。近年来，从提高液晶显示元件的大面积化和提高生产性的观点出 发，基样玻璃基板的大型化(例如1,500 x 1，800mm，甚至1,870 x 2，200 mm程度)日趋前进。但是， 一直以来的基板尺寸，与(光刻)掩膜尺寸 相比基板的尺寸小的原因，可以以一次性爆光方式应对，但是在大型 基板的情况之下，制作与该极板相同程度的(光刻)掩膜尺寸是几乎不可 能，因而很难以一次性膝光方式应对。因此，作为能够对应大型基板的爆光方式，有人提倡使用步进式 膝光方式。然而，使用步进式膝光方式的话，由于对于一片基板要进行数次膝光，在每次曝光时，由于核对位置以及步间移动都需要时间，与一次性曝光方式相比，其总处理能力(throughput )低下就成了问题。 另外，在一次性睬光方式，3，000 J/m2的啄光量是可能的。然而， 步进式膝光方式需要把每一次的曝光量降低，使用一直以来的使用于 形成间隔体的放射线敏感性组合物，要以1,500 J/m2以下的膝光量来完 成足够的间隔体形状以及达到足够的膜厚是十分困难的。这里，为解决这些问题，本专利申请人，已经在专利文献1中， 明确指出了可以带来能忠实的再现高感度掩模图形的设计尺寸，并与 基板的附着性优越，以1，500 J/n^以下的膝光量也可以形成足够的间隔 体，甚至压缩强度以及耐摩擦性等也都十分优越的显示面板用间隔体 的放射线敏感性组合物。1日本专利特开加05 - !227525号公报但是，近年来，从提高生产型的观点来看，导入了在貼合液晶面 板玻璃之前，在玻璃表面上垂流液晶材料的工序技术"ODF(OneDrop Fill)法"。使用这种手法，可以节约大量的时间.例如，使用一直以来的方 法，在作为30英寸的面板，填充液晶时需要大约5天时间，而导入 ODF法的话仅仅需要2个小时就可以完成，可以大幅度提高生产性。一直以来的贴合方式，将TFT阵列和彩色滤光片贴合时，由于施加栽荷，因其栽荷而间隔体均等地受押，从而维持了间隔体高度的均 一性。但是使用ODF法，由于最初只用根据基板的重量而产生的栽荷 与大气压来进行贴合，与过去的方法相比初期的贴合栽荷较小。因此， 即使用较小的栽荷来押间隔体，因受到均等的押力，体现高度的均一 性而被重视。为此，间隔体的柔软性成了必要因素。间隔体的高度不 均一的话，就无法维持液晶槽的间隙的均一性，成了液晶槽(cell)内 发生间隙，显示不平整的原因。因此，根据压缩载荷的拥有高度柔软 性的间隔体材料成了必要因素。另外，关于间隔体的形状，膜厚控制性的要求值，近年来变得越 来越严格，并留下了在形成间隔体的时候，因流程的变动而造成的形 状，膜厚的变动，随着组合物溶液的经时变化的形状，膜厚的稳定性 的问题。而且，使用于近年的液晶显示面板制造的放射线敏感性树脂 组合物，由于保存期间，使用中时组合物中的成分结晶化等而发生异物并造成污染装置的问题正在严重，从而减少这种问题的放射线敏感 性树脂组合物被众所盼望。
技术实现思路
本专利技术的课题是提供一种，其拥有足够的流程余裕(Process Margin )，以1,500 J/m2以下的瀑光量，可以得 到形状完美以及足够厚度的间隔体，并持有根据压缩栽荷的高度柔软 性，以及优越的附着性，耐磨擦性，耐热性等，并可以形成剥离液耐 受性优越的显示面板用间隔体。根据本专利技术，第一，上述课題通过完成。 该组合物其特征在于含有；(A) (al)含乙烯性不饱和羧酸以及/或者含乙烯性不饱和羧酸 酐与(a2)其他含乙烯性不饱和化合物的共聚物。(B) (bl) 3官能以上的(甲基)丙烯酸酯类以及(b2)该(bl) 以外的以其他含乙烯性不饱和化合物为主要成分的聚合性化合物，以 及(C) 放射线敏感性聚合引发剂。在这里，作为(bl) 3官能以上的(甲基)丙烯酸酯类优选使用二 季戊四醇六丙烯酸酯，还有，作为(b2)其他含乙烯性不饱和化合物 优选使用(a )多官能异氰酸醱化合物和(P )分子内含有一个羟基 的(甲基)丙烯酸酯化合物以及(Y )多元醇反应而得到的重量平均分 子量为15， OOO以下的多官能氨基甲酸乙醱丙烯酸酯。第二，根据本专利技术，上述课题在于(C)放射线敏感性聚合引发剂， 通过至少有一种为O-酰基肟型聚合引发剂的放射线敏感性树脂组合 物而完成。第三，根据本专利技术，上述课题通过使用由上述放射线敏感性树脂 组合物形成的，用于制成液晶显示面板用间隔体的放射线敏感性树脂 组合物(以下，称为「液晶显示面板用间隔体用放射线敏感性树脂组 合物J )而完成。第四，根据本专利技术，上述课题通过由液晶显示面板用间隔体用放 射线敏感性树脂组合物所形成的液晶显示面板用间隔体而完成。第五，根据本专利技术，上述课题通过液晶显示面板用间隔体的形成方法来完成。其特征在于至少含有下记顺序的下记工序。(一) 在基板上形成上述的涂膜的工序。(二) 对该涂膜的至少一部分进行膝光的工序。(三) 对膝光后的该涂膜进行显影的工序。(四) 对显影后的该涂膜进行加热的工序。 本专利技术的，能够以高感度，忠实的再现掩模图形的设计尺寸，并其与基板的附着性优越，以1，500 J/m2以下的 曝光量可以制成形状和膜厚都足够的间隔体，而且强度，耐热性也十 分优越，而且在低膝光量区域中间个体的形状，膜厚的控制性都优越， 保存期间中以及使用中不易产生异物。附图说明图1表示的是在弹性恢复率的评价中负荷时及去荷时的栽荷一 变形量曲线。具体实施方式以下就本专利技术进行详细说明。 -(A)共聚物-(A)共聚物可通过上述(al)成分以及(a2)成分于溶剂中，在 聚合引发剂的存在下发生游离基聚合来制造。构成(A)共聚物的各成分当中，作为(al)含乙烯性不饱和羧酸 以及/或者含乙烯性不饱和羧酸Sf (以下将这些统称为(al)不饱和羧 酸系单体。1)，例如，可举出丙烯酸，甲基丙烯酸，丁烯酸，2-甲基 丙烯酰氧基乙基琥珀酸，2-甲基丙烯酰氧乙基六氢酞酸等的一羧酸 类；马来酸，富马酸，柠康酸，中康酸，衣康酸等的二羧酸类；上述 二羧酸的酸酐类等。这些(al)不饱和羧酸系单体当中，从共聚合反本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种放射线敏感性树脂组合物，其特征在于，含有（Ａ）（ａ１）含乙烯性不饱和羧酸以及／或者含乙烯性不饱和羧酸酐与（ａ２）其他含乙烯性不饱和化合物的共聚物，（Ｂ）（ｂ１）３官能以上的（甲基）丙烯酸酯类以及（ｂ２）该（ｂ１）以外以其 他含乙烯性不饱和化合物为主要成分的聚合性化合物，以及（Ｃ）放射线敏感性聚合引发剂。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：浜口仁，一户大吾，久间俊平，西尾寿浩，
申请(专利权)人：JSR株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]