腔体组件和硅片加工设备制造技术

本实用新型专利技术提出了一种腔体组件和硅片加工设备，其中，腔体组件包括：腔体，具有开口；阀板，设于开口处，阀板的一端与腔体铰接；驱动缸，一端与阀板铰接；驱动缸底座，固定设置，驱动缸的另一端和驱动缸底座铰接，其中，驱动缸通过伸缩驱动阀板转动。通过本实用新型专利技术的技术方案，有效地减少了阀板开关的部件，简化了结构，缩短了阀板开关的时间，还提升了对阀板的压紧力，有利于提升密封效果，降低驱动力。

【技术实现步骤摘要】
腔体组件和硅片加工设备
本技术涉及真空设备
，具体而言，涉及一种腔体组件和一种硅片加工设备。
技术介绍
在真空设备中，真空门阀多为主运动垂直升降，副运动水平运动的插板阀结构。该结构在开关门的时候，需要两步动作，耗费更多时间，增加了设备的时间节拍，降低了生产效率，且该结构为实现副运动的水平运动，需要专门制造额外的结构，增加了装置的复杂性。另一些真空设备，阀板为翻板式结构，该结构带有一根主轴，阀板通过连接块与主轴相连接，驱动装置通常为气缸，通过铰链结构将气缸的直线运动，转化为主轴的圆周运动，这种结构中，需要主轴带动阀板，且采用连接块连接阀板，该配合不宜设置为完全刚性连接，影响密封效果，一些真空设备中设置为柔性可调结构，但是安装较为复杂，且在使用一段时间后，有移位的风险，影响密封效果。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。有鉴于此，本技术的一个目的在于提供一种腔体组件。本技术的另一个目的在于提供一种硅片加工设备。为了实现上述目的，本技术第一方面的技术方案提供了一种腔体组件，包括：腔体，具有开口；阀板，设于开口处，阀板的一端与腔体铰接；驱动缸，一端与阀板铰接；驱动缸底座，固定设置，驱动缸的另一端和驱动缸底座铰接，其中，驱动缸通过伸缩驱动阀板转动。在该技术方案中，阀板设置在腔体的开口处并与腔体铰接，驱动缸推动阀板转动时，不再需要对位即可直接打开或关闭开口，即阀板只需要在原地转动即可实现开口的启闭，减少了动作的数量和动作行程，有利于大幅提升腔体的开门、关门时间，从而缩短非工艺时间，有利于提升生产效率，且阀板直接和腔体铰接，阀板的转动通过驱动缸直接驱动，中间部件少，结构简单，易于装配，且由于驱动缸的一端和阀板铰接，驱动缸伸长驱动阀板关闭开口时，具有一定的推力作用，还可以压紧阀板，提升密封效果；另外，阀板铰接在腔体上，即便长时间使用，也不会发生移位，有利于保持密封效果。在上述技术方案中，腔体组件还包括：阀板底座；多组第一安装孔，设于阀板上，阀板底座通过一组第一安装孔与阀板可装卸地连接；驱动缸的一端与阀板底座铰接。在上述技术方案中，腔体组件还包括：第一转轴，与阀板底座固定连接；杆端关节轴承，杆端关节轴承的一端与第一转轴转动连接；驱动缸包括相互伸缩配合的缸体和缸杆，杆端关节轴承的另一端与缸杆栓接。在上述任一项技术方案中，腔体组件还包括：框架，腔体设于框架的顶部，驱动缸底座设于框架的侧部；框架上设有多组第二安装孔，驱动缸底座通过一组第二安装孔可装卸地设于框架上。在上述技术方案中，腔体组件还包括：第二转轴，驱动缸和驱动缸底座通过第二转轴转动连接。在上述技术方案中，腔体组件还包括：位置传感器，设于腔体或框架上，位置传感器用于感应阀板的启闭状态和/或阀板的开度。在上述任一项技术方案中，驱动缸包括气缸、液压缸、电动缸中的任意一种。在上述任一项技术方案中，腔体组件还包括：密封件，阀板和/或腔体的开口位置处设有密封件。在上述技术方案中，腔体的开口端设有燕尾槽，密封件设于燕尾槽内。本技术第二方面的技术方案提供了一种硅片加工设备，包括：工艺腔体，适于为硅片提供工艺处理空间；上述第一方面中任一项技术方案的腔体组件，腔体组件的腔体与工艺腔体相连，腔体适于为硅片提供装卸和/或加工空间，腔体的开口适于供硅片进出腔体。在该技术方案中，通过采用上述任一项技术方案的腔体组件，从而具有了上述技术方案的全部有益效果，在此不再赘述；腔体适于为硅片提供装卸和/或加工空间，开口适于供硅片进出腔体，即通过开口连通了外部大气环境和腔体的内部空间，由于腔体组件的阀板可以快速启闭，即缩短了开门和关门的动作时间，这样可以减少进入腔体内的外部空气，从而有利于提升腔体的保温效果和腔体内的洁净程度，从而减少腔体内的载板的热量损失，提升载板的温度稳定性，还可以提升载板的洁净度，减少污染，进而提升硅片加工质量的稳定性和可靠性。本技术的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本技术的实践了解到。附图说明图1是本技术的一个实施例的腔体组件的侧视结构示意图；图2是本技术的另一个实施例的腔体组件的侧视结构示意图；图3是本技术的另一个实施例的腔体组件的主视结构示意图；图4是本技术的一个实施例的腔体组件的俯视结构示意图；图5是本技术的一个实施例的腔体组件的受力分析示意图。其中，图1至图5中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：10腔体，100密封件，102合页，1020合页主，1022合页副，12阀板，120阀板底座，122第一安装孔，124第一位置传感器，14驱动缸，140缸体，142缸杆，144第一转轴，146第二转轴，16驱动缸底座，18鱼眼接头，20框架，200第二安装孔。具体实施方式为了可以更清楚地理解本技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本技术进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。下面参照图1至图5描述本技术的一些实施例。如图1至图5所示，根据本技术提出的一个实施例的腔体组件，包括腔体10、阀板12、驱动缸14和驱动缸底座16。具体地，腔体10具有开口；阀板12设于开口处，阀板12的一端与腔体10铰接；驱动缸14的一端与阀板12铰接，驱动缸14的另一端和驱动缸底座16铰接，且驱动缸底座16固定设置，其中，驱动缸14通过伸缩驱动阀板12转动。在该实施例中，阀板12设置在腔体10的开口处并与腔体10铰接，驱动缸14推动阀板12转动时，不再需要对位即可直接打开或关闭开口，即阀板12只需要在原地转动即可实现开口的启闭，减少了动作的数量和动作行程，有利于大幅提升腔体10的开门、关门时间，从而缩短非工艺时间，有利于提升生产效率，且阀板12直接和腔体10铰接，阀板12的转动通过驱动缸14直接驱动，中间部件少，结构简单，易于装配，且由于驱动缸14的一端和阀板12铰接，驱动缸14伸长驱动阀板12关闭开口时，具有一定的推力作用，还可以压紧阀板12，提升密封效果；另外，阀板12铰接在腔体10上，即便长时间使用，也不会发生移位，有利于保持密封效果。在上述实施例中，腔体组件还包括：阀板底座120；多组第一安装孔122，设于阀板12上，阀板底座120通过一组第一安装孔122与阀板12可装卸地连接；驱动缸14的一端与阀板底座120铰接。在该实施例中，阀板12上设置多组第一安装孔122，使得阀板底座120可以在多组第一安装孔122中选择一组与阀板12连接，也可以选择另外一组第一安装孔122与阀板1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种腔体组件，其特征在于，包括：/n腔体，具有开口；/n阀板，设于所述开口处，所述阀板的一端与所述腔体铰接；/n驱动缸，一端与所述阀板铰接；/n驱动缸底座，固定设置，所述驱动缸的另一端和所述驱动缸底座铰接，/n其中，所述驱动缸通过伸缩驱动所述阀板转动。/n

【技术特征摘要】
1.一种腔体组件，其特征在于，包括：
腔体，具有开口；
阀板，设于所述开口处，所述阀板的一端与所述腔体铰接；
驱动缸，一端与所述阀板铰接；
驱动缸底座，固定设置，所述驱动缸的另一端和所述驱动缸底座铰接，
其中，所述驱动缸通过伸缩驱动所述阀板转动。


2.根据权利要求1所述的腔体组件，其特征在于，还包括：
阀板底座；
多组第一安装孔，设于所述阀板上，所述阀板底座通过一组所述第一安装孔与所述阀板可装卸地连接；
所述驱动缸的一端与所述阀板底座铰接。


3.根据权利要求2所述的腔体组件，其特征在于，还包括：
第一转轴，与所述阀板底座固定连接；
杆端关节轴承，所述杆端关节轴承的一端与所述第一转轴转动连接；
所述驱动缸包括相互伸缩配合的缸体和缸杆，所述杆端关节轴承的另一端与所述缸杆栓接。


4.根据权利要求1-3中任一项所述的腔体组件，其特征在于，还包括：
框架，所述腔体设于所述框架的顶部，所述驱动缸底座设于所述框架的侧部；
所述框架上设有多组第二安装孔，所述驱动缸底座通过一组所述第二安装孔可装卸地设于所述框架...

【专利技术属性】
技术研发人员：伍波，梁建军，候岳明，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44