【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能光伏，特别涉及一种载盘及具有其的镀膜装置。
技术介绍
1、随太阳能光伏产业的发展、真空镀膜工艺的探索，对装载基片的载盘的要求也大大提高。传统的载盘一般使用不锈钢材质制作，在承载基片进行镀膜时，由于一些靶材的材质具有导电性，镀在硅片和载盘上的导电膜有与靶材及其护罩产生打弧而导致基片损坏的风险。
2、为了避免在镀导电膜于基片上时产生打弧而损坏基片，一般都选择在载盘上增加绝缘垫，隔开基片与载盘，从而使得基片与镀膜腔隔开，但是，绝缘垫容易被镀上膜失去绝缘作用，可靠性较低，使用寿命短。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种可靠性较高、使用寿命较长的载盘。
2、本专利技术还提出一种具有上述载盘的镀膜装置。
3、根据本专利技术第一方面实施例的载盘，应用于镀膜装置中，包括：支撑组件，所述支撑组件包括下支撑件、上支撑件和绝缘件，所述上支撑件设置于所述下支撑件的上方并与所述下支撑件间隔设置，所述上...
【技术保护点】
1.一种载盘，应用于镀膜装置中，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的载盘，其特征在于，所述上安装槽的侧壁和所述下安装槽的侧壁均与所述绝缘件的四周的侧壁相间隔。
3.根据权利要求2所述的载盘，其特征在于，所述上安装槽的顶壁的四周边缘设有上隔离槽，所述下安装槽的底壁的四周边缘设有与所述上隔离槽相对设置的下隔离槽，所述绝缘件的顶部遮挡所述上隔离槽的槽口的一部分并与所述上隔离槽的顶壁相间隔，所述绝缘件的底部遮挡所述下隔离槽的槽口的一部分并与所述下隔离槽的底壁相间隔。
4.根据权利要求1所述的载盘，其特征在于，所述绝缘件通过第一螺钉与...
【技术特征摘要】
1.一种载盘，应用于镀膜装置中，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的载盘，其特征在于，所述上安装槽的侧壁和所述下安装槽的侧壁均与所述绝缘件的四周的侧壁相间隔。
3.根据权利要求2所述的载盘，其特征在于，所述上安装槽的顶壁的四周边缘设有上隔离槽，所述下安装槽的底壁的四周边缘设有与所述上隔离槽相对设置的下隔离槽，所述绝缘件的顶部遮挡所述上隔离槽的槽口的一部分并与所述上隔离槽的顶壁相间隔，所述绝缘件的底部遮挡所述下隔离槽的槽口的一部分并与所述下隔离槽的底壁相间隔。
4.根据权利要求1所述的载盘，其特征在于，所述绝缘件通过第一螺钉与所述下支撑件固定连接，且所述第一螺钉与所述上支撑件相间隔。
5.根据权利要求1所述的载盘，其特征在于，所述绝缘件通过第二螺钉与所述上支撑件固定连接，且所述第二螺钉与所述下支撑件相间隔。...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈麒麟，陈厚膜，房声海，王应斌，张凡，满小花，谭小华，李国庆，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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