【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种抽真空设备，具体涉及一种用于复合集流体生产的薄膜抽真空设备。
技术介绍
1、目前，在复合集流体生产工艺中，薄膜来料时薄膜中会携带水汽、杂质气体等。在真空溅射镀膜过程中，水汽、杂质气体残留会导致薄膜溅镀层附着力下降，影响镀膜品质。为了提高真空溅射镀膜的品质，目前做法是在真空溅镀设备中进行薄膜抽真空，但是这种工艺方式使设备利用率降低15％，成本昂贵，经济性不好。
2、现有工艺是在真空溅射设备中进行薄膜抽真空，因为设备真空腔室很大，对薄膜抽真空的效果不是很理想，效率低下。另外，真空镀膜设备价格非常昂贵，每天几个小时用来做薄膜抽真空，设备投资回报率低。
3、因此，申请人设计了一种用于复合集流体生产的薄膜抽真空设备来解决上述问题。
4、应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本技术的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本技术的
技术介绍
部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。
技术实现思路
1、为克服上述现有技术中的不足，本技术的目的在于提供一种用于复合集流体生产的薄膜抽真空设备。
2、为达到以上目的及其他相关目的，本技术提供的技术方案是：一种用于复合集流体生产的薄膜抽真空设备，包括设备本体，还包括：
3、抽真空腔室，所述抽真空腔室嵌设在所述设备本体上；
4、腔室门，所述腔室门转动设置在所述抽真空腔室的一侧，用于打开或闭合所述抽真空腔室；
5、主动轴，所述主动轴设置在所述设备本体上，所述主动轴与驱动装置传动相连；
6、从动轴，所述从动轴与所述主动轴传动相连，所述从动轴设置在所述抽真空腔室内，用于绕设所述薄膜；
7、分子泵，所述分子泵设置在所述设备本体上，所述分子泵与所述抽真空腔室连通设置，用于抽取所述抽真空腔室内的气体；
8、操作界面，所述操作界面设置在所述设备本体上。
9、本方案中，设备主要抽真空腔室、腔室门、plc操作界面、分子泵、驱动装置、传动结构等组成；在设备上设置了抽真空腔室，腔室门可以通过控制系统控制启动和关闭，便于取放薄膜，抽真空腔室配置分子泵负责抽真空，薄膜在抽真空作业时，由驱动装置通过从动轴带动薄膜旋转，保证作业效果。
10、进一步的，所述抽真空腔室设置有若干个且均布设置在所述设备本体相对的两个侧面上。
11、本方案中，设置多个独立的抽真空腔体，可以将不同薄膜分别放置在一个独立的抽真空腔体内进行对应的操作，操作方便，灵活性好，适用于多样化生产。
12、进一步的，同侧的所述抽真空腔室上下层叠设置。
13、本方案中，将抽真空腔室上下层叠设置，可以排布紧凑，减小整个设备的体积，减少设备占用空间。
14、进一步的，所述主动轴与一主动齿轮相连，所述从动轴与一从动齿轮相连，所述主动齿轮与所述从动齿轮啮合设置。
15、本方案中，主动轴与从动轴采用齿轮啮合的方式传动，传动精度好，可以保证准确的传动比；传动效率较高；工作可靠，使用寿命长。
16、进一步的，各所述抽真空腔室均设置一个所述分子泵。
17、本方案中，在各个抽真空腔室的外部连接一个分子泵，保证了薄膜原料中的水汽、杂质气体等的排出效率。
18、进一步的，所述抽真空腔室内设置有用于支撑所述从动轴的支撑架。
19、本方案中，在抽真空腔室内设置支撑架来支撑从动轴，可以使得从动轴转动更加稳定，保证薄膜原料中的水汽、杂质气体等的排出。
20、进一步的，所述设备本体设置在一安装底座上。
21、本方案中，将设备本体设置在安装底座上，可以避免设备本体直接接触地面，防水防潮，保证清洁。
22、进一步的，所述从动轴为气涨轴。
23、本方案中，采用气涨轴收卷薄膜，待薄膜原料中的水汽、杂质气体排除后，可以对卷材的松紧度起到调节作用。
24、进一步的，所述驱动装置为伺服电机。本方案中，采用伺服电机作为驱动装置来驱动从动轴，可以随时把信号传递给控制系统，同时把控制系统给出的信号来修正自己的运转，精度高，运行平稳。
25、由于上述技术方案的运用，本技术与现有技术相比具有的有益效果是：
26、本技术设计的薄膜抽真空设备，可以脱离溅镀设备，独立对薄膜进行抽真空作业，不再影响溅镀设备的利用率；而且真空腔室的尺寸只需按照薄膜尺寸设计，大大提升了腔室内抽真空的效率，设备小型化，投资少；设备结构简单、维护和使用方便；设备可以多腔室设置，适用于多样化生产。
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1.一种用于复合集流体生产的薄膜抽真空设备，包括设备本体(1)，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种用于复合集流体生产的薄膜抽真空设备，其特征在于：所述抽真空腔室(2)设置有若干个且均布设置在所述设备本体(1)相对的两个侧面上。
3.根据权利要求2所述的一种用于复合集流体生产的薄膜抽真空设备，其特征在于：同侧的所述抽真空腔室(2)上下层叠设置。
4.根据权利要求1所述的一种用于复合集流体生产的薄膜抽真空设备，其特征在于：所述主动轴(4)与一主动齿轮(9)相连，所述从动轴(5)与一从动齿轮(10)相连，所述主动齿轮(9)与所述从动齿轮(10)啮合设置。
5.根据权利要求2所述的一种用于复合集流体生产的薄膜抽真空设备，其特征在于：各所述抽真空腔室(2)均设置一个所述分子泵(7)。
6.根据权利要求1所述的一种用于复合集流体生产的薄膜抽真空设备，其特征在于：所述抽真空腔室(2)内设置有用于支撑所述从动轴(5)的支撑架(11)。
7.根据权利要求1所述的一种用于复合集流体生产的薄膜抽真空设备，其特征在于
8.根据权利要求1所述的一种用于复合集流体生产的薄膜抽真空设备，其特征在于：所述从动轴(5)为气涨轴。
9.根据权利要求1所述的一种用于复合集流体生产的薄膜抽真空设备，其特征在于：所述驱动装置为伺服电机。
...【技术特征摘要】
1.一种用于复合集流体生产的薄膜抽真空设备，包括设备本体(1)，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种用于复合集流体生产的薄膜抽真空设备，其特征在于：所述抽真空腔室(2)设置有若干个且均布设置在所述设备本体(1)相对的两个侧面上。
3.根据权利要求2所述的一种用于复合集流体生产的薄膜抽真空设备，其特征在于：同侧的所述抽真空腔室(2)上下层叠设置。
4.根据权利要求1所述的一种用于复合集流体生产的薄膜抽真空设备，其特征在于：所述主动轴(4)与一主动齿轮(9)相连，所述从动轴(5)与一从动齿轮(10)相连，所述主动齿轮(9)与所述从动齿轮(10)啮合设置。
5.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：张亮，陈建康，武俊伟，翁伟嘉，
申请(专利权)人：江苏英联复合集流体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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