【技术实现步骤摘要】
本技术一般涉及气相沉淀。更具体地，本技术涉及一种用于气相沉淀中的真空控制系统。
技术介绍
1、在气相沉淀过程中，通常需要真空泵提供真空环境并以蝶阀来控制反应腔的腔体内的压力，使其保持在一个稳定的设定压力下，以确保产品的制程工艺顺利完成。然而，真空泵在这一过程中若突然停机，会导致真空泵管道压力突然回升到大气状态，此时反应腔内压力低于真空泵管道压力，气流由真空泵端到反应腔端，且真空泵管道内大量粉尘会倒灌到反应腔内，对反应腔等造成污染。由此，不仅会导致制程工艺中断，甚至导致处于制程工艺中的产品(例如晶片)报废，进而影响整个生产效益以及带来巨大的经济损失。
技术实现思路
1、为了至少解决如上所提到的一个或多个技术问题，本技术在多个方面中提出了能够有效减少真空泵停机导致气流倒灌污染反应腔的情况的发生的方案。
2、在第一方面中，本技术提供一种用于气相沉淀中的真空控制系统，包括：真空泵，所述真空泵基于外部的三相供电电缆供电工作；反应腔，所述反应腔与所述真空泵连接，且所述反应腔与所述真空泵之间设置有气体管道；真空阀，所述真空阀设置在所述气体管道上；电磁阀、与所述真空阀连接，用于控制所述真空阀的开启或关闭；所述电磁阀与所述真空阀之间设置有第一压缩干燥空气cda气管通道以及第二cda气管通道，其用于控制cda气体从所述第一cda气管通道或所述第二cda气管通道进入所述真空阀以使所述真空阀关闭或开启；电路开关器件，连接于所述电磁阀，用于控制电磁阀的开启或关闭；开关控制电路，连接于所述电路开关
3、在一些实施例中，所述开关控制电路在所述任一相电缆失去电流信号时生成用于指示所述真空泵停机的第一驱动信号，所述开关控制电路在所述任一相电缆中存在电流信号时生成用于指示所述真空泵运行的第二驱动信号；其中，所述电路开关器件在所述第一驱动信号作用下触发所述电磁阀中的磁铁与衔铁分离，以使所述电磁阀控制所述cda气体从所述第一cda气管通道进入所述真空阀而关闭所述真空阀，所述电路开关器件在所述第二驱动信号作用下触发所述电磁阀中的磁铁与衔铁吸合，以使所述电磁阀控制所述cda气体从所述第二cda气管通道进入所述真空阀而开启所述真空阀。
4、在一些实施例中，其中所述开关控制电路包括：升压变压器，所述升压变压器的初级接入所述任一相电缆，其中所述升压变压器被配置为在其初级无电流信号输入时，输出所述第一驱动信号；或者，所述升压变压器被配置为在其初级有电流信号输入时，输出所述第二驱动信号。
5、在一些实施例中，所述升压变压器被配置为在其初级有电流信号输入时，其次级输出第二交流信号；所述开关控制电路还包括：整流滤波电路，所述整流滤波电路的输入端连接至所述升压变压器的次级，且所述整流滤波电路的输出端连接所述电路开关器件，其中所述整流滤波电路配置为对所述第二交流信号进行整流滤波处理，以得到所述第二驱动信号。
6、在一些实施例中，所述第一驱动信号为0v电压，所述第二驱动信号为所述电路开关器件的工作电压。
7、在一些实施例中，其中所述整流滤波电路包括全波整流电路，所述全波整流电路用于将所述升压变压器的次级输出的交流信号转变为直流信号。
8、在一些实施例中，其中所述整流滤波电路还包括滤波电容，其连接至所述全波整流电路的输出端，且用于对所述全波整流电路输出的直流信号进行滤波处理。
9、在一些实施例中，其中所述开关控制电路还包括：稳压器件，其连接至所述全波整流电路的输出端，用于对所述全波整流电路输出的直流信号进行稳压处理。
10、在一些实施例中，其中所述电路开关器件包括：继电器，其中所述继电器包括线圈组件和开关组件，其中所述开关组件设置在所述电磁阀的阀门控制回路中，所述线圈组件连接至所述开关控制电路的输出端。
11、在一些实施例中，其中所述电磁阀的阀门控制回路还配置为接收外部发送的阀门开启信号，并在所述开关组件闭合时，保持所述阀门控制回路处于导通状态，或者在所述开关组件断开时，保持所述阀门控制回路处于断开状态。
12、通过如上所提供的用于气象沉淀中的真空控制系统，本技术实施例能够通过真空控制系统中新增设的电路开关器件、开关控制电路与真空控制系统中的其他部件之间相配合，使得开关控制电路能够根据真空泵的供电电缆中是否有电流信号来确定真空泵是否停机，并在真空泵停机时通过电路开关器件快速控制真空泵关闭，以阻值气流从真空泵端流向反应腔，从而减少真空泵停机导致气流倒灌污染反应腔的情况的发生。由此，可有效降导致处于制程工艺中的产品的报废率，确保整个生产效益以及避免造成经济损失。
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1.一种用于气相沉淀中的真空控制系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于气相沉淀中的真空控制系统，其特征在于，所述开关控制电路在所述任一相电缆失去电流信号时生成用于指示所述真空泵停机的第一驱动信号，所述开关控制电路在所述任一相电缆中存在电流信号时生成用于指示所述真空泵运行的第二驱动信号；
3.根据权利要求2所述的用于气相沉淀中的真空控制系统，其特征在于，其中所述开关控制电路包括：
4.根据权利要求3所述的用于气相沉淀中的真空控制系统，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的用于气相沉淀中的真空控制系统，其特征在于，所述第一驱动信号为0v电压，所述第二驱动信号为所述电路开关器件的工作电压。
6.根据权利要求5所述的用于气相沉淀中的真空控制系统，其特征在于，其中所述整流滤波电路包括全波整流电路，所述全波整流电路用于将所述升压变压器的次级输出的交流信号转变为直流信号。
7.根据权利要求6所述的用于气相沉淀中的真空控制系统，其特征在于，其中所述整流滤波电路还包括滤波电容，其连接至所述全波整流电路的输出端，
8.根据权利要求6所述的用于气相沉淀中的真空控制系统，其特征在于，其中所述开关控制电路还包括：
9.根据权利要求1～8中任一项所述的用于气相沉淀中的真空控制系统，其特征在于，其中所述电路开关器件包括：
10.根据权利要求9所述的用于气相沉淀中的真空控制系统，其特征在于，其中所述电磁阀的阀门控制回路还配置为接收外部发送的阀门开启信号，并在所述开关组件闭合时，保持所述阀门控制回路处于导通状态，或者在所述开关组件断开时，保持所述阀门控制回路处于断开状态。
...【技术特征摘要】
1.一种用于气相沉淀中的真空控制系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于气相沉淀中的真空控制系统，其特征在于，所述开关控制电路在所述任一相电缆失去电流信号时生成用于指示所述真空泵停机的第一驱动信号，所述开关控制电路在所述任一相电缆中存在电流信号时生成用于指示所述真空泵运行的第二驱动信号；
3.根据权利要求2所述的用于气相沉淀中的真空控制系统，其特征在于，其中所述开关控制电路包括：
4.根据权利要求3所述的用于气相沉淀中的真空控制系统，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的用于气相沉淀中的真空控制系统，其特征在于，所述第一驱动信号为0v电压，所述第二驱动信号为所述电路开关器件的工作电压。
6.根据权利要求5所述的用于气相沉淀中的真空控制系统，其特征在于，其中所述整流滤波电路包括全波整流电...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴天亮，张文平，李秉隆，王勇，
申请(专利权)人：湖南三安半导体有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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