下载载盘及具有其的镀膜装置的技术资料

文档序号:41286875

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本发明公开了一种载盘及具有其的镀膜装置,载盘应用于镀膜装置中,包括:支撑组件,支撑组件包括下支撑件、上支撑件和绝缘件,上支撑件设置于下支撑件的上方并与下支撑件间隔设置,上支撑件的底部设有上安装槽,下支撑件的顶部设有与上安装槽相对设置的下安装...
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