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防蚀双层减反射膜制造技术

技术编号:2684345 阅读:226 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种防雾多层减反射膜,其特征是采用HfO-[2]或Y-[2]O-[3]或94-80%重量比的HfP-[2]与4-20%重量比的Y-[2]O-[3]作为高折射率的多层减反射膜。采用本发明专利技术可避免与含Pb,Ba,Cd成分的光学玻璃发生化学反应而发雾,膜层坚硬牢固,光学特性稳定,重复性好,制备工艺简单,容易移植,HfO-[2],Y-[2]O-[3]材料价廉易于从市场获得。(*该技术在2009年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学中的多层减反射膜。任何光学和激光仪器都离不开减反射膜,否则将因透过光能量低,背景杂散光强而使仪器无法工作。传统的减反射膜都是单层MgF2,它的效率比较低,对折射率为1.52的K,玻璃,单面反射率在可见光区只能从4.2%下降到1.8%左右。因此,近些年来,要求用多层膜来取代单层膜,因为多层减反射膜可使可见光区的残余反射率降低到0.3%以下。多层(主要是双层)减反射膜内层常用高折射率的氧化物膜(如ZrO2、TiO2、Ta2O3等),但是这些材料与含Pb、Cd、Ba的光学玻璃(包括BaK、ZK、LaK、KF、QF、F、BaF、ZBaF、ZF等绝大部分玻璃)会发生化学反应。如折射率为1.9的材料通常利用ZrO2,而折射率为2.3的材料常选用TiO2和Ta2O3。这些材料在加热蒸发过程中会发生分解,因而在膜层中存在着金属离子或低价氧化物离子,这些离子与玻璃中的Pb、Cd、Ba等离子发生交换,并与空气中的水汽、CO2等反应生成酸性碳酸化合物或碱性氢氧化物,使玻璃产生腐蚀而失透。本专利技术的目的是为克服上述发雾现象,提供一种防雾多层减反射膜,在不增加任何工艺复杂性的前提下避本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防雾多层减反射膜,其特征在于采用HfO↓[2]或Y↓[2]O↓[3]或HfO↓[2]与Y↓[2]O↓[3]的混合料作为高折射率的多层减反射膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:顾培夫何孟权
申请(专利权)人:浙江大学
类型:发明
国别省市:33[中国|浙江]

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