【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种化学增幅型抗蚀剂膜的图案化用有机系处理液,其中碳数22以下的烷基烯烃含量为1ppm以下,且Na、K、Ca、Fe、Cu、Mg、Mn、Li、Al、Cr、Ni及Zn的金属元素浓度均为5ppm以下。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:山中司,川本崇司,
申请(专利权)人:富士胶片株式会社,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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