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防蚀双层减反射膜制造技术
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文档序号:2684345
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本发明公开了一种防雾多层减反射膜,其特征是采用HfO-[2]或Y-[2]O-[3]或94-80%重量比的HfP-[2]与4-20%重量比的Y-[2]O-[3]作为高折射率的多层减反射膜。采用本发明可避免与含Pb,Ba,Cd成分的光学玻璃发生...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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