【技术实现步骤摘要】
蒸发源遮挡装置和蒸镀设备
本专利技术属于太阳能电池制备
，具体涉及一种蒸发源遮挡装置和蒸镀设备。
技术介绍
在薄膜太阳能电池的制备工艺中，通过溅射获得的背金属电极膜层结构存在着膜层应力较大的问题，通过蒸发镀膜方式获得的背金属电极膜层可以有效的控制膜层应力。蒸发镀膜工艺一般分为三个阶段：升温阶段、恒温阶段、降温阶段，为了确保蒸镀的均匀性，多采用在恒温阶段进行蒸镀，而在升温阶段和降温阶段需要避免被镀基片暴露在蒸发区内。目前多采用在升温阶段和降温阶段，使被镀基片远离蒸镀区域的方法。然而此方法会使蒸发物镀在工艺腔室内壁，影响腔室洁净度。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术中的问题，提供一种蒸发源遮挡装置和蒸镀设备。该遮挡装置不仅能避免蒸发源的蒸发物镀在工艺腔室内壁，从而确保了腔室的洁净度；同时还能避免暴露在蒸发区内的被镀基片在升温阶段和降温阶段被镀膜，从而使被镀基片在升温阶段和降温阶段也能暴露在蒸发区内。本专利技术提供一种蒸发源遮挡装置，包括升降固定机构和遮挡机构，所述升降固定机构活动连接...
【技术保护点】
1.一种蒸发源遮挡装置，其特征在于，包括升降固定机构(1)和遮挡机构(2)，所述升降固定机构(1)活动连接所述遮挡机构(2)，所述升降固定机构(1)用于固定蒸发源(3)并带动所述蒸发源(3)升降运动；所述遮挡机构(2)用于随着所述蒸发源(3)的升起而开启，以使所述蒸发源(3)暴露，还用于随着所述蒸发源(3)的降落而关闭，以使所述蒸发源(3)被遮挡。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种蒸发源遮挡装置，其特征在于，包括升降固定机构(1)和遮挡机构(2)，所述升降固定机构(1)活动连接所述遮挡机构(2)，所述升降固定机构(1)用于固定蒸发源(3)并带动所述蒸发源(3)升降运动；所述遮挡机构(2)用于随着所述蒸发源(3)的升起而开启，以使所述蒸发源(3)暴露，还用于随着所述蒸发源(3)的降落而关闭，以使所述蒸发源(3)被遮挡。
2.根据权利要求1所述的蒸发源遮挡装置，其特征在于，所述升降固定机构(1)包括第一固定部(10)、第二固定部(11)和空心板(12)，所述第一固定部(10)与所述第二固定部(11)活动连接，所述第二固定部(11)用于固定所述蒸发源(3)的底部；所述第二固定部(11)能沿所述第一固定部(10)的延伸方向往复移动，以带动所述蒸发源(3)升降；
所述空心板(12)连接所述第一固定部(10)，所述空心板(12)上开设有通孔(120)，且所述空心板(12)上在对应所述通孔(120)的位置设置有第一筒体(13)，所述第一筒体(13)的中心轴与所述通孔(120)的中心轴重合；
所述蒸发源(3)贯穿所述通孔(120)且部分位于所述第一筒体(13)内。
3.根据权利要求2所述的蒸发源遮挡装置，其特征在于，所述遮挡机构(2)包括第二筒体(20)和遮板(21)，所述第二筒体(20)嵌套于所述第一筒体(13)内，所述第一筒体(13)的与所述空心板(12)相接触的底部设置有限位槽，所述第二筒体(20)的底端内嵌于所述限位槽中，所述蒸发源(3)位于所述第二筒体(20)内，所述蒸发源(3)与所述第二筒体(20)之间通过第一连接件(22)活动连接，在所述第一连接件(22)的活动连接作用以及所述第二固定部(11)带动所述蒸发源(3)的升降作用下，所述第二筒体(20)能相对所述第一筒体(13)转动；
所述遮板(21)设置于所述第一筒体(13)和所述第二筒体(20)的远离所述空心板(12)的顶端，所述遮板(21)与所述第一筒体(13)之间通过第二连接件(23)活动连接，所述遮板(21)与所述第二筒体(20)之间通过第三连接件(24)活动连接，所述遮板(21)能在所述第二连接件(23)和所述第三连接件(24)的活动连接作用以及所述第二固定部(11)带动所述蒸发源(3)的升降作用下开启或关闭，以对所述蒸发源(3)进行暴露或遮挡。
技术研发人员：苏艳波，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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