一种用于面蒸发源的冷却缓存室及驱动方法技术

本发明专利技术公布一种用于面蒸发源的冷却缓存室及驱动方法，包括CDA系统、冷却室、冷却装置和可伸缩夹持装置；所述CDA系统通过通入管道连接所述冷却室，所述CDA系统用于通入压缩气体来对金属薄片降温；所述冷却室还设置有排出管道，所述排出管道用于排出CDA系统通入的压缩气体；所述冷却室设置有阀门，所述可伸缩夹持装置和所述冷却装置设置在所述冷却室中；所述可伸缩夹持装置用于夹取金属薄片到冷却装置上；所述冷却装置包括下冷却板，所述下冷却板用于承载金属薄片并对其冷却上述技术方案可以确保蒸镀膜层的厚度和膜层的均匀性，而且还可以延长金属薄片的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种用于面蒸发源的冷却缓存室及驱动方法
本专利技术涉及蒸镀
，尤其涉及一种用于面蒸发源的冷却缓存室及驱动方法。
技术介绍
有机发光二极管(简称OLED)在固体照明等领域具有广阔的应用前景，已有的OLED显示装置一般是采用真空蒸镀的方式成膜，面蒸发源的研究开发为真空蒸镀工艺的蒸发源开发锦上添花。面蒸发源蒸镀的步骤是在真空环境下，首先在面源蒸镀腔中用点/线/面蒸发源将金属薄片蒸镀上有机材料薄膜，如图3中的a所示。然后在面源倒置腔中把镀上有机薄膜的金属薄片进行倒置，如图3中的b所示。之后传送到蒸发源蒸镀腔，蒸发源蒸镀腔的腔体中有先从基板装载腔和遮罩保存腔传送过来的基板和遮罩板，继而加热镀上有机材料的金属面薄片，使有机物蒸气通过遮罩板蒸镀到基板上，如图3中的c所示。最后将金属薄片传送到冷却室进行冷却，如图3中的d序号所示。蒸镀好的金属薄片送到基板保存腔，如图3中的e所示。在金属薄片(如基板、晶圆等)镀上蒸镀材料后，一般采用快速冷却方法来冷却金属薄片，即用水冷板直接对金属薄片进行冷却。在申请号为CN201710201664.8，名称本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于面蒸发源的冷却缓存室，其特征在于，包括CDA系统、冷却室、冷却装置和可伸缩夹持装置；/n所述CDA系统通过通入管道连接所述冷却室，所述CDA系统用于通入压缩气体来对金属薄片降温；/n所述冷却室还设置有排出管道，所述排出管道用于排出CDA系统通入的压缩气体；/n所述冷却室设置有阀门，所述可伸缩夹持装置和所述冷却装置设置在所述冷却室中；/n所述可伸缩夹持装置用于夹取金属薄片到冷却装置上；/n所述冷却装置包括下冷却板，所述下冷却板用于承载金属薄片并对其冷却。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于面蒸发源的冷却缓存室，其特征在于，包括CDA系统、冷却室、冷却装置和可伸缩夹持装置；
所述CDA系统通过通入管道连接所述冷却室，所述CDA系统用于通入压缩气体来对金属薄片降温；
所述冷却室还设置有排出管道，所述排出管道用于排出CDA系统通入的压缩气体；
所述冷却室设置有阀门，所述可伸缩夹持装置和所述冷却装置设置在所述冷却室中；
所述可伸缩夹持装置用于夹取金属薄片到冷却装置上；
所述冷却装置包括下冷却板，所述下冷却板用于承载金属薄片并对其冷却。


2.根据权利要求1所述的一种用于面蒸发源的冷却缓存室，其特征在于，还包括上冷却板和升降机构；
所述上冷却板和所述下冷却板平行，所述上冷却板和所述下冷却板包括冷却管道。


3.根据权利要求2所述的一种用于面蒸发源的冷却缓存室，其特征在于，所述冷却管道包括第一管道和第二管道，所述第二管道中冷却液的种类不同于所述第一管道中冷却液的种类。


4.根据权利要求3所述的一种用于面蒸发源的冷却缓存室，其特征在于，所述第一管道中冷却液为水。


5.根据权利要求3所述的一种用于面蒸发源的冷却缓存室，其特征在于，所述第一管道为多个，所述第二管道为多个：
所述第一管道和所述第二管道交替排布。


6.根据权利要求1所述的一种用于面蒸发源的...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄逸臻，张梦姿，孙玉俊，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35