【技术实现步骤摘要】
蒸镀源及具有该蒸镀源的蒸镀设备
本公开涉及显示器
，尤其涉及一种蒸镀源及具有该蒸镀源的蒸镀设备。
技术介绍
近年随着移动消费电子产品的不断更新换代，带动了上游AMOLED显示行业的迅速发展。在AMOLED显示领域，材料蒸镀是较为核心的一段工艺。蒸镀是指在高真空环境下对镀膜材料进行加热，使其升华并在基板上成膜。现有量产的蒸镀设备一般都使用线性蒸镀源。然而，线性蒸镀源装填材料工序繁琐，在加热过程中，材料的升温降温速率难以控制。所述
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本公开的目的在于提供一种蒸镀源和具有该蒸镀源的蒸镀设备，以提高蒸镀薄膜的均匀性，提升材料装填的便捷度。为实现上述技术目的，本公开采用如下技术方案：根据本公开的第一个方面，提供一种蒸镀源，包括至少两个蒸镀源单体，所述蒸镀源单体包括：气流平衡件，所述气流平衡件为内部中空的空心结构；喷嘴，所述喷嘴连接于所述气流平衡件的一侧；
【技术保护点】
1.一种蒸镀源，其特征在于，包括至少两个蒸镀源单体，所述蒸镀源单体包括：/n气流平衡件，所述气流平衡件为内部中空的空心结构；/n喷嘴，所述喷嘴连接于所述气流平衡件的一侧；/n坩埚，所述坩埚可拆卸连接于所述气流平衡件的另一侧，所述坩埚为顶部开口的中空结构，所述中空结构形成填料腔，所述气流平衡件连通所述喷嘴的开口端与所述填料腔；/n所述至少两个蒸镀源单体水平并排排列。/n
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀源，其特征在于，包括至少两个蒸镀源单体，所述蒸镀源单体包括：
气流平衡件，所述气流平衡件为内部中空的空心结构；
喷嘴，所述喷嘴连接于所述气流平衡件的一侧；
坩埚，所述坩埚可拆卸连接于所述气流平衡件的另一侧，所述坩埚为顶部开口的中空结构，所述中空结构形成填料腔，所述气流平衡件连通所述喷嘴的开口端与所述填料腔；
所述至少两个蒸镀源单体水平并排排列。
2.根据权利要求1所述的蒸镀源，其特征在于，所述气流平衡件包括两端端口密封且内部中空的横杆，所述喷嘴连接于所述横杆的一侧侧壁，所述坩埚的顶部开口端可拆卸连接于所述横杆的另一侧侧壁，所述横杆连通所述喷嘴的开口端与所述填料腔。
3.根据权利要求2所述的蒸镀源，其特征在于，所述气流平衡件还包括第一连接部和第二连接部，所述喷嘴通过所述第一连接部与所述横杆连通，所述坩埚通过所述第二连接部与所述横杆连通。
4.根据权利要求1所述的蒸镀源，其特征在于，所述空心...
【专利技术属性】
技术研发人员：李玉峰，徐飞，
申请(专利权)人：中山凯旋真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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