蒸发源的加热装置和蒸镀设备制造方法及图纸

本申请属于蒸镀技术领域，涉及一种蒸发源的加热装置和蒸镀设备。该蒸发源的加热装置，包括：加热箱体，所述加热箱体具有容纳腔室，用于容纳蒸发源，至少部分所述加热箱体设有热传递部，用于使所述热传递部与蒸发源之间发生热传递；加热件，设置于所述加热箱体，用于产生热辐射；温控机构，设置于所述加热箱体，并与所述加热件电连接，用于监测蒸发源的温度和控制加热件产生的热量。本申请提供的蒸发源的加热装置，结构简单，使用方便，能够实现对于蒸发源温度的准确实时的监控，提高蒸发源的蒸镀质量。

【技术实现步骤摘要】
蒸发源的加热装置和蒸镀设备
本申请属于蒸镀
，具体涉及一种蒸发源的加热装置和蒸镀设备。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)器件具有更轻薄、亮度高、功耗低、响应快、清晰度高等诸多优点，可广泛应用于各种终端设备的显示领域或照明领域。当前，OLED器件常用的制作方法包括蒸镀、喷墨打印、热转印等多种方式。其中，蒸镀工艺是在一定的真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料熔化(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸汽，然后凝结在基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。对于蒸镀工艺而言，用于蒸发材料的蒸发源是其核心。现有的OLED蒸镀机的蒸发源装置，一般包括盛放有机材料或金属材料的坩埚和对坩埚加热的加热器件。在蒸镀工艺中，将待蒸镀材料放入蒸镀坩埚内，对坩埚进行加热，蒸镀材料受热汽化后在基板上沉积。在加热蒸发阶段，蒸发温度是主要作用因素之一，要保证薄膜质量就需要精确控制蒸发温度，若温度精确度控制不高，则可能导致膜均一性差等问题，会影响薄膜的质量，影响器件发光。然而，现有蒸发源(蒸镀源)的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸发源的加热装置，其特征在于，包括：/n加热箱体，所述加热箱体具有容纳腔室，用于容纳蒸发源，至少部分所述加热箱体设有热传递部，用于使所述热传递部与蒸发源之间发生热传递；/n加热件，设置于所述加热箱体，用于产生热辐射；/n温控机构，设置于所述加热箱体，并与所述加热件电连接，用于监测蒸发源的温度和控制加热件产生的热量。/n

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源的加热装置，其特征在于，包括：
加热箱体，所述加热箱体具有容纳腔室，用于容纳蒸发源，至少部分所述加热箱体设有热传递部，用于使所述热传递部与蒸发源之间发生热传递；
加热件，设置于所述加热箱体，用于产生热辐射；
温控机构，设置于所述加热箱体，并与所述加热件电连接，用于监测蒸发源的温度和控制加热件产生的热量。


2.根据权利要求1所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述温控机构包括控制器和多组温度传感器，多组所述温度传感器分别设置于所述加热箱体的不同位置，所述控制器分别与所述温度传感器和所述加热件电连接。


3.根据权利要求1所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述加热箱体包括底壁和多个侧壁，多个所述侧壁和底壁围构形成容纳腔室；
所述温控机构包括多组温度传感器，多组所述温度传感器分别设置于多个所述侧壁的不同位置。


4.根据权利要求3所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述侧壁包括平行设置的第一侧壁和第二侧壁，平行设置的第三侧壁和第四侧壁；
所述温度传感器为至少四组，四组所述温度传感分别设置于所述第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁的内侧。


5.根据权利要求4所述的蒸发源的加热装置，其特征在于，所述加热箱体...

【专利技术属性】
技术研发人员：轩景泉，林文晶，钱海涛，马晓宇，彭勃，
申请(专利权)人：上海升翕光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31