【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及泵体，具体涉及一种多制冷机低温泵。
技术介绍
1、低温泵作为一种利用低温表面吸附气体分子以实现真空环境的设备，通过将内部温度降低到极低水平，使得气体分子在接触到低温表面时被冷凝或吸附，从而有效地从系统中移除这些气体，广泛应用于真空镀膜、半导体刻蚀和离子注入、高能物理、空间环境模拟等领域。
2、传统的低温泵中通常配备有单个制冷机，通过该制冷机对制冷机位于冷伞中的冷头进行冷却，从而降低泵内部温度，确保达到所需的真空度。然而，低温泵的抽速、抽气容量等性能跟制冷机的制冷功率有直接关系。对于大口径低温泵而言，传统的制冷机由于功率限制，导致低温泵的抽速、吸附量有限，降温和再生时间较长，难以满足一些高端应用对快速降温、高效抽气的需求。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种多制冷机低温泵，从而解决由于制冷机功率限制，导致大口径低温泵的抽速、吸附量有限，降温和再生时间较长的问题。
2、为了解决上述技术问题，本专利技术提供如下技术方案：一种多制冷机低温泵，包括泵...
【技术保护点】
1.一种多制冷机低温泵，其特征在于，包括泵壳(1)，所述泵壳(1)内设有屏蔽罩(2)，所述屏蔽罩(2)内设有冷凝吸附组件(3)，所述低温泵还包括至少两组制冷机(4)，所述制冷机(4)均设有第一冷头(41)、以及第二冷头(42)，所述第一冷头(41)与同一个屏蔽罩(2)导热连接，且所述第二冷头(42)与同一个冷凝吸附组件(3)导热连接。
2.根据权利要求1所述的一种多制冷机低温泵，其特征在于，所述冷凝吸附组件(3)包括若干层冷伞叶片(31)，以及设在相邻冷伞叶片(31)之间的导热支撑件(32)，所述冷伞叶片(31)与导热支撑件(32)上均设有吸附层(33)，...
【技术特征摘要】
1.一种多制冷机低温泵，其特征在于，包括泵壳(1)，所述泵壳(1)内设有屏蔽罩(2)，所述屏蔽罩(2)内设有冷凝吸附组件(3)，所述低温泵还包括至少两组制冷机(4)，所述制冷机(4)均设有第一冷头(41)、以及第二冷头(42)，所述第一冷头(41)与同一个屏蔽罩(2)导热连接，且所述第二冷头(42)与同一个冷凝吸附组件(3)导热连接。
2.根据权利要求1所述的一种多制冷机低温泵，其特征在于，所述冷凝吸附组件(3)包括若干层冷伞叶片(31)，以及设在相邻冷伞叶片(31)之间的导热支撑件(32)，所述冷伞叶片(31)与导热支撑件(32)上均设有吸附层(33)，若干层所述冷伞叶片(31)从上到下分为上层伞片(311)、中层伞片(312)、下层伞片(313)，所述下层伞片(313)开有避让口(3131)，所述第二冷头(42)能够穿过避让口(3131)从而与中层伞片(312)相连接。
3.根据权利要求2所述的一种多制冷机低温泵，其特征在于，所述第二冷头(42)与中层伞片(312)之间均设有冷伞导热片(5)。
4.根据权利要求2所述的一种多制冷机低温泵，其特征在于，所述导热支撑件(32)为支撑环，位于中层伞片(312)与下层伞片(313)之间的支撑环设置在避让口(3131)处以供第二冷头(42)穿过支撑环，所述导热支撑件(32)上的吸附层(33)包括若干设在支撑环外侧壁的柱状椰壳活性炭(331)。
5.根据权利要求2所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：余彦飞，李晓刚，胡湘娥，吴溢华，陈洁心，陈进文，
申请(专利权)人：中山凯旋真空科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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