下载一种用于面蒸发源的冷却缓存室及驱动方法的技术资料

文档序号:26753362

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本发明公布一种用于面蒸发源的冷却缓存室及驱动方法,包括CDA系统、冷却室、冷却装置和可伸缩夹持装置;所述CDA系统通过通入管道连接所述冷却室,所述CDA系统用于通入压缩气体来对金属薄片降温;所述冷却室还设置有排出管道,所述排出管道用于排出C...
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