一种防止堵塞的蒸镀设备制造技术

本发明专利技术涉及一种蒸镀设备，更具体的说是一种防止堵塞的蒸镀设备，包括蒸镀箱机构、真空防堵机构、清淤机构，设备能够进行夹紧基片并进行蒸镀，设备能够过滤，设备能够便于清理滤网，设备能够清理的彻底，所述的蒸镀箱机构与真空防堵机构相连，真空防堵机构与清淤机构相连。

【技术实现步骤摘要】
一种防止堵塞的蒸镀设备
本专利技术涉及一种蒸镀设备，更具体的说是一种防止堵塞的蒸镀设备。
技术介绍
在蒸镀的过程中，真空泵与蒸镀空间的连接处常常会设置一层滤网，传统的固定滤网容易发生堵塞，且不易更换、清理，所以设计了这种防止堵塞的蒸镀设备。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供一种防止堵塞的蒸镀设备，设备能够进行夹紧基片并进行蒸镀，设备能够过滤，设备能够便于清理滤网，设备能够清理的彻底。为解决上述技术问题，本专利技术涉及一种蒸镀设备，更具体的说是一种防止堵塞的蒸镀设备，包括蒸镀箱机构、真空防堵机构、清淤机构，设备能够进行夹紧基片并进行蒸镀，设备能够过滤，设备能够便于清理滤网，设备能够清理的彻底。所述的蒸镀箱机构与真空防堵机构相连，真空防堵机构与清淤机构相连。作为本技术方案的进一步优化，本专利技术一种防止堵塞的蒸镀设备所述的蒸镀箱机构包括带支腿座、钳锅接线柱、蒸镀箱本体、闸门、阶梯槽、限位杆、弹簧、光孔、阶梯滑动座、带限位头方柱、带圆孔固定座、方孔、带限位柱滑动块、弹簧、联轴器、伺服电机、连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防止堵塞的蒸镀设备，包括蒸镀箱机构（1）、真空防堵机构（2）、清淤机构（3），其特征在于：所述的蒸镀箱机构（1）与真空防堵机构（2）相连，真空防堵机构（2）与清淤机构（3）相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种防止堵塞的蒸镀设备，包括蒸镀箱机构（1）、真空防堵机构（2）、清淤机构（3），其特征在于：所述的蒸镀箱机构（1）与真空防堵机构（2）相连，真空防堵机构（2）与清淤机构（3）相连。


2.根据权利要求1所述的一种防止堵塞的蒸镀设备，其特征在于：所述的蒸镀箱机构（1）包括带支腿座（1-1）、钳锅接线柱（1-2）、蒸镀箱本体（1-3）、闸门（1-4）、阶梯槽（1-5）、限位杆（1-6）、弹簧（1-7）、光孔（1-8）、阶梯滑动座（1-9）、带限位头方柱（1-10）、带圆孔固定座（1-11）、方孔（1-12）、带限位柱滑动块（1-13）、弹簧（1-14）、联轴器（1-15）、伺服电机（1-16）、连接弯管（1-17）、钳锅（1-18）、双向丝杠（1-19）、夹紧座（1-20）、卡槽（1-21）、防偏柱（1-22），清淤杆与蒸镀箱本体（1-3）相连，钳锅接线柱（1-2）与蒸镀箱本体（1-3）相连，闸门（1-4）与蒸镀箱本体（1-3）相铰接，闸门（1-4）上设有阶梯槽（1-5），阶梯槽（1-5）与阶梯滑动座（1-9）滑动连接，阶梯滑动座（1-9）上设有光孔（1-8），光孔（1-8）与限位杆（1-6）滑动连接，限位杆（1-6）设置在阶梯槽（1-5）内并与闸门（1-4）相连，弹簧（1-7）套在限位杆（1-6）上，弹簧（1-7）两端抵在阶梯滑动座（1-9）、闸门（1-4）上，阶梯滑动座（1-9）与带限位头方柱（1-10）相连，带限位头方柱（1-10）与方孔（1-12）滑动连接，方孔（1-12）设置在带限位柱滑动块（1-13）上，带限位柱滑动块（1-13）与带圆孔固定座（1-11）滑动连接，带圆孔固定座（1-11）设置在蒸镀箱本体（1-3）上，弹簧（1-14）套在带限位头方柱（1-10）上，弹簧（1-14）抵在带限位柱滑动块（1-13）、带限位头方柱（1-10）上，双向丝杠（1-19）与伺服电机（1-16）通过联轴器（1-15）相连，双向丝杠（1-19）与蒸镀箱本体（1-3）的连接方式为轴承连接，连接弯管（1-17）与蒸镀箱本体（1-3）相连且相连通，钳锅（1-18）与钳锅接线柱（1-2）相连，双向丝杠（1-19）与夹紧座（1-20）螺纹连接，夹紧座（1-20）上设有卡槽（1-21），防偏柱（1-22）与夹紧座（1-20）滑动连接，防偏柱（1-22）与蒸镀箱本体（1-3）相连。


3.根据权利要求1所述的一种防止堵塞的蒸镀设备，其特征在于：所述的真空防堵机构（2）包括基座（2-1）、真空泵（2-2）、带孔弯臂（2-3）、液压缸（2-4）、带孔支撑（2-5）、连接管A（2-6）、圆筒（2-7）、带法兰连接管（2-8）、带支腿异形座（2-9）、带内螺纹盖（2-10）、带法兰管A（2-11）、出风管（2-12）、风箱（2-13）、联轴器I（2-14）、风轮电机（2-15）、连接风管（2-16）、清理出口（2-17）、方孔I（2-18）、带内螺纹盖I（2-19）、带中空腔内活动座（2-20）、内活动槽（2-21）、弹簧A（2-22）、限位柱（2-23）、限位柱配合孔（2-24）、带限位孔活动滤板（2-25）、连通口（2-26）、液压杆I（2-27）、带轴风轮（2-28）、备用滤孔（2-29），基座（2-1）与带支腿座（1-1）相连，基座（2-1）与真空泵（2-2）相连，真空泵（2...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔元武，
申请(专利权)人：山东海耀电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37