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本发明涉及一种蒸镀设备，更具体的说是一种防止堵塞的蒸镀设备，包括蒸镀箱机构、真空防堵机构、清淤机构，设备能够进行夹紧基片并进行蒸镀，设备能够过滤，设备能够便于清理滤网，设备能够清理的彻底，所述的蒸镀箱机构与真空防堵机构相连，真空防堵机构与清...
该专利属于山东海耀电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东海耀电子科技有限公司授权不得商用。

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