下载蒸发源遮挡装置和蒸镀设备的技术资料

文档序号:26841159

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本发明提供一种蒸发源遮挡装置和蒸镀设备。该遮挡装置包括升降固定机构和遮挡机构,升降固定机构活动连接遮挡机构,升降固定机构用于固定蒸发源并带动蒸发源升降运动;遮挡机构用于随着蒸发源的升起而开启,以使蒸发源暴露,还用于随着蒸发源的降落而关闭,以...
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