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蒸发源遮挡装置和蒸镀设备制造方法及图纸
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下载蒸发源遮挡装置和蒸镀设备的技术资料
文档序号:26841159
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本发明提供一种蒸发源遮挡装置和蒸镀设备。该遮挡装置包括升降固定机构和遮挡机构,升降固定机构活动连接遮挡机构,升降固定机构用于固定蒸发源并带动蒸发源升降运动;遮挡机构用于随着蒸发源的升起而开启,以使蒸发源暴露,还用于随着蒸发源的降落而关闭,以...
该专利属于东泰高科装备科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东泰高科装备科技有限公司授权不得商用。
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