一种封装结构的制作方法技术

技术编号:26795383 阅读:28 留言:0更新日期:2020-12-22 17:12
本发明专利技术公开了一种封装结构的制作方法,包括以下步骤:步骤S1:将从晶圆厂出来的晶圆通过晶圆研磨设备进行背面研磨,来减薄晶圆达到封装需要的厚度;磨片时,需要在晶圆的正面贴胶带保护电路区域同时研磨背面;研磨之后,去除胶带,测量晶圆的厚度;减薄后的芯片贴在一个带有金属环的薄膜上,送到划片机进行划片;步骤S2:划片完成后,将晶圆安装粘贴在蓝膜上,使得晶圆即使被切割开后也不会散落;通过晶圆切割将整片晶圆切割成一个个独立的芯片;本发明专利技术,成本低廉,能够大大提高经济效益;同时,在封装的过程中,硅片打磨效果好,能够有效降低粉尘污染;而且,通过对封装结构进行了加工处理,能够大大提高封装结构整体质量。

【技术实现步骤摘要】
一种封装结构的制作方法
本专利技术涉及芯片封装
,具体为一种封装结构的制作方法。
技术介绍
芯片在加工完成后,由于芯片体积小且薄,如果不在外施加保护,会被轻易的刮伤损坏,而且,因为芯片的尺寸微小,不易以人工安置在电路板上;封装是指将芯片上的电路管脚,用导线接引到外部接头处,以便与其它器件连接;封装后的产品叫做封装结构;现有技术中的封装结构的制作方法,在加工的过程中,生产成本较高,从而导致经济效益低;而且,封装结构的成品表面存在毛刺等瑕疵结构,容易对封装结构的整体质量造成影响;同时,硅片在打磨的过程中,会产生大量粉尘污染,清洁不便,因此,设计一种封装结构的制作方法是很有必要的。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种封装结构的制作方法,工艺简单,成本低廉,能够大大提高经济效益;同时,在封装的过程中,硅片打磨效果好,能够有效降低粉尘污染;而且,通过对封装结构进行了加工处理,能够大大提高封装结构整体质量。本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现:一种封装结构的制作方法,包括以下步骤:<br>步骤S1:将从本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种封装结构的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:/n步骤S1:将从晶圆厂出来的晶圆通过晶圆研磨设备进行背面研磨,来减薄晶圆达到封装需要的厚度;磨片时,需要在晶圆的正面贴胶带保护电路区域同时研磨背面;研磨之后,去除胶带,测量晶圆的厚度;减薄后的芯片贴在一个带有金属环的薄膜上,送到划片机进行划片;/n步骤S2:划片完成后,将晶圆安装粘贴在蓝膜上,使得晶圆即使被切割开后也不会散落;通过晶圆切割将整片晶圆切割成一个个独立的芯片,并对晶圆进行水洗,晶圆水洗主要清洗切割时产生的各种粉尘,使得芯片被清洁;清洁完成后,在显微镜下进行芯片的外观检查,是否有出现废品;/n步骤S3:将芯片固定于封装基板或引脚...

【技术特征摘要】
1.一种封装结构的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤S1:将从晶圆厂出来的晶圆通过晶圆研磨设备进行背面研磨,来减薄晶圆达到封装需要的厚度;磨片时,需要在晶圆的正面贴胶带保护电路区域同时研磨背面;研磨之后,去除胶带,测量晶圆的厚度;减薄后的芯片贴在一个带有金属环的薄膜上,送到划片机进行划片;
步骤S2:划片完成后,将晶圆安装粘贴在蓝膜上,使得晶圆即使被切割开后也不会散落;通过晶圆切割将整片晶圆切割成一个个独立的芯片,并对晶圆进行水洗,晶圆水洗主要清洗切割时产生的各种粉尘,使得芯片被清洁;清洁完成后,在显微镜下进行芯片的外观检查,是否有出现废品;
步骤S3:将芯片固定于封装基板或引脚架芯片的承载座上,选择合适的玻璃胶粘接剂后,将玻璃胶粘接剂涂覆在引脚架芯片的承载座上的表面,在上玻璃胶时,应当加热至玻璃熔融温度,使得芯片粘结在引脚架芯片的承载座上,上胶完成后对芯片进行固化处理,通过固化设备加热到175-185℃,保温30-45min;
步骤S4:固化完成后,将半导体裸芯片焊区与微电子封装的I/O引线或基板上的金属布线焊区用金属细丝连接起来,采用热超声波键合的方法进行键合连接,键合完成后,将芯片进行成型处理,;
步骤S5:使得芯片与引线框架包装起来,将芯片放置于模具中,并对模具进行预成型块预加热处理,预加热完成后,将模具放入转移成型机,使得塑封料挤压到浇道,再注入模腔,通过固化、保压、顶杆顶出处理后,将成型后的封装结构放入固化炉固化;
步骤S6:将固化完成后的封装结构进行去毛刺处理,用介质去飞边毛刺时,是将颗粒状的塑料球研磨料与高压空气一起冲洗封装结构;在去飞边毛刺过程中,介质会将框架引脚的表面轻微擦磨,这将有助于焊料和金属框架的粘连;毛刺去除完成后,对引脚进行上焊锡处理,上焊锡处理完成后,对封装结构进行切筋成型处理,从而完成封装结构的制备。


2.根据权利要求1所述的封装结构的制作方法,其特征在于,所述步骤S1中,晶圆研磨设备包括工作台(1)、防护板(2)、机箱(3)、转动组件(4)、研磨组件(5)、清洁组件(6)和支撑架(7),所述工作台(1)的顶部一侧以及两端边缘位置处均通过螺栓固定安装有防护板(2),所述工作台(1)的底部端面通过螺栓固定安装有机箱(3),所述机箱(3)的内部一侧设置有清洁组件(6),所述工作台(1)的顶部端面一侧设置有研磨组件(5),所述工作台(1)的顶部端面中央设置有转动组件(4),所述机箱(3)的底部端面四周均通过焊接固定安装有支撑架(7);
所述研磨组件(5)包括电动气缸(51)、活塞推架(52)、安装底板(53)、研磨电机(54)、研磨轴(55)、研磨盘(56)和研磨片(57),两个所述电动气缸(51)分别通过螺钉固定安装在工作台(1)的顶部端面一侧,所述电动气缸(51)的顶部均通过活塞杆连接安装有活塞推架(52),所述活塞推架(52)的一侧端面通过螺钉固定安装有安装底板(53),所述安装底板(53)的端面中央固定通过螺栓固定安装有研磨电机(54),所述研磨电机(54)的底部一端连接安装有研磨轴(55),所述研磨轴(55)的...

【专利技术属性】
技术研发人员:黄晓波
申请(专利权)人:安徽龙芯微科技有限公司
类型:发明
国别省市:安徽;34

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