带有双万向架的MEMS镜子结构及单一万向架铰合件制造技术

一种圆形镜子（１２），其对向部分利用复合式纵向铰合件（４０）和（４２）按照与中心轴位置（３６）和（３７）偏移的方式连接到万向架（４４）。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于平行板静电操作的带有双万向架的微机械加工的镜子结构，所述镜子结构包括：嵌设有静电电极的微镜子阵列的衬底；在所述衬底的所述阵列中的镜子；环绕所述镜子的万向架；以及多个折叠式纵向万向架铰合件结构，从而多个 扭转铰合件元件按照平行于各个所述铰合件结构的转动轴线的方向布置，所述折叠式纵向万向架铰合件结构设置在万向悬架环的四个位置上，第一对所述折叠式纵向万向架铰合件结构将所述镜子连接到所述万向架，而第二对所述折叠式纵向万向架铰合件结构将所述衬底连接到所述万向架。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：布赖恩P斯泰克，威廉C班亚伊，
申请(专利权)人：格雷姆格拉斯网络公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]